サポート
高解像・高精細
卓越した分解能と高解像・高精細画像
さまざまなサンプルに対しての対応力、汎用性に優れ、正確な3D測定が可能なため、品質保証と工程管理において信頼性があるデータを提供します。
卓越した平面分解能
| 波長405nmの紫色レーザーとLEXT専用高NAレンズの採用により、従来の光学顕微鏡、白色干渉計や、一般的な赤色レーザーを採用しているレーザー顕微鏡では捉えられない微細なパターンや欠陥を鮮明に捉えることが可能です。 | |
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赤色タイプ | 紫色（バイオレット）タイプ | |
視野の全領域を正しく捉える
一般の対物レンズは収差の影響で周辺部が正確に測定できませんが、LEXT専用対物レンズは収差を抑えているため、周辺部も正確に測定できます。 |
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新開発MEMSスキャナー
 | 独自のMEMSスキャナーにより、従来は実現できなかったスキャン軌跡の歪みと光学収差のきわめて少ないXYスキャンを実現します。 |
4K スキャンテクノロジー
| X方向に従来比4倍の4,096画素でスキャンする4Kスキャンテクノロジーを搭載しました。これにより、解像度だけでなく、高さ方向の信頼性も向上しています（S/N比2倍向上）。OLS5000は、画像補正なしに、ほぼ垂直の斜面形状と微小段差を検出可能です。 |
ありのままの形状を捉えられる
| 従来のレーザー顕微鏡では、平滑化などの一般的な画像処理によりノイズを除去したため、ノイズだけでなく正しく測定された細かな凹凸までもが失われることがありました。 |
3D高分解能測定を実現するためのさらなる技術
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本ページの記載内容および精度保証値は、当社指定の条件での特性および値です。詳細は取扱説明書をご確認ください。
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