Точность

Фиолетовый лазер с длиной волны 405 нм и специальные светосильные объективы позволяют рассмотреть сложные рельефы и обнаружить мелкие дефекты, невидимые для обычных оптических микроскопов, интерферометров белого цвета и микроскопов, использующих красный лазер.

Красный (658 нм: 0,26 мкм, плоские и объемные образцы)

Фиолетовый (405 нм: 0,12 мкм плоские и объемные образцы)

Специальные объективы LEXT способны с высокой точностью выполнять измерения на периферийных зонах, которые зачастую искажаются.

Обычные объективы

Объективы LEXT

Новый МЭМС-сканер позволяет выполнять высокоточное двухплоскостное (X-Y) сканирование с низким уровнем искажений развертки и минимальными оптическими аберрациями.

Технология сканирования 4K поддерживает разрешающую способность 4 096 пикселей — в 4 раза больше, чем в предыдущей модели — по оси X.
Микроскоп OLS5000 может выявлять почти вертикальные уклоны, а также мельчайшие возвышения без необходимости коррекции изображения. 

Поскольку традиционные лазерные микроскопы используют стандартные методы обработки изображения (например, сглаживание для устранения шума), иногда вместе с шумом могут быть удалены точно измеренные незначительные перепады высоты.
Микроскоп OLS5000 использует алгоритм Smart Judge Olympus для автоматического выявления только достоверных данных, обеспечивая таким образом точность измерений без потери данных о перепадах высоты. 

• Пиковый алгоритм
• Двойная конфокальная система
• Гарантия измерения уровня шума Sq
• Точность и повторяемость результатов измерений
• Гибридный алгоритм сравнения с образцом
• Гибридный механизм гашения вибраций
• HDR-сканирование