OLYMPUS CIX100
概要
OLYMPUS CIX100は高い信頼性と高速性を両立したコンタミネーション解析の専用システムです。工業規格に沿った顕微鏡検査や検査結果のレビュー、レポート出力が、オペトレ不要な簡単操作で行えます。
コンタミネーション解析専用システムCIX100：
顕微鏡検査のワークフローを工業規格に沿ってトータルにサポート
自動車などの安全性や耐久性、品質向上に伴いコンタミ管理の重要度が増しています。フィルターでろ過した付着異物を従来の計量 (重量法) のみで評価するだけでは、製品の機能や性能、信頼性のキーとなるパーツやユニット、液体の品質を管理することは難しくなってきています。
最近は顕微鏡などで捉えた微小異物を粒子としてカウントし、クラス分類の結果を基に分析する『顕微鏡法』の必要性が高まっています。この手法は既に各種の工業規格で、検査条件やクラス分類の方法が明示されており、検出粒子の数などによって工程管理が行えます。さらに、より厳密なコンタミネーション管理や問題の原因特定には、粒子サイズの分布や組成などの解析も求められます。高い信頼性と高速性を両立したCIX100を使えば工業規格に沿った顕微鏡検査や検査結果のレビュー、レポート出力が、オペトレ不要な簡単操作で行えます。
コンタミネーション解析の標準プロセス：準備（ステップ1～3）および調査（ステップ4～6）
信頼性
| 微細なコンタミを見逃さない光学性能と作業性を追求したソフトウェア。CIX100はあらゆる工業規格に対応し、高速かつ安定した検査結果を得ることができる、コンタミネーション解析の専用システムです。
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操作性
| 検査プロセスに特化したユーザーインターフェース。サンプルをセットしたら顕微鏡に触れる必要がなく、検査開始から異物のレビュー、レポート出力までソフトウェアだけで最小限の操作で行えます。
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高速性
| 圧倒的なスピードで高感度検出。金属・非金属を1スキャンで高精度に分類します。高い信頼性を維持した検査結果がスキャン中でも逐次更新される機能によって早期の合否判定もできるので、検査全体の効率化を図ることが可能です。
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レビュー
| CIX100でスキャンしたサンプルはデータに自動保存され検出したコンタミネーションをライブラリ表示、結果のレビューを行うができます。また、同じサンプルを別の工業規格で評価したい場合は、画面上で規格を変更するだけで結果出力が可能です。
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レポート
| 各種の工業規格に対応。検査やレビュー、レポート出力で規格に沿った結果が得られます。さらに一度検査した画像があれば検査条件や規格の設定を変更し、複数の検査結果やレポートを出力することも簡単に行えます。
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信頼性
微細なコンタミを見逃さない光学性能と作業性を追求したソフトウェア
CIX100はあらゆる工業規格に対応し、高速かつ安定した検査結果を得ることができる、コンタミネーション解析の専用システムです。
- コンタミネーション解析に専用設計された筐体により高い光学性能を実現
- コンタミネーション解析用のアルゴリズムにより粒子を逃さず検出
- 粒子標準デバイスを用いた使用前の日常点検が可能
- 従来の円形メンブレンフィルターに加え長方形のサンプルに対応
| 1. 保護カバー |
豊富なサンプルホルダーでシステムの汎用性を向上
円形、長方形のサンプルホルダーに対応しています。メンブレンフィルター用ホルダーは直径25mm、47mmおよび55mm、背景色は黒もしくは白をお選びいただけます。また、テープリフトサンプリング用のホルダー、金属工学アプリケーション用の表面が平らなホルダー、パーティクルトラップ用のホルダーをご利用できます。
背景色が白と黒の直径25mm（左）、47mm（中）、55mm（右）のメンブレンフィルター用の円形サンプルホルダー
パーティクルトラップ用サンプルホルダー |
テープリフトサンプリング用サンプルホルダー |
バッチスキャン後に複数のサンプルを直接確認
CIX100では、複数のサンプルを一度に検査するバッチモードをご用意しています。バッチモードでは、各サンプルに対して同じ検査設定または、個別に設定できます。検査後に各サンプルの結果を個別に確認、レポート作成も可能です。
高い再現性と繰り返し性を実現
| CIX100システムは使い方が簡単なので、経験の浅い検査官でも信頼性の高いデータが得られます。 この図は、工程性能指数（PPk）を使用して測定安定性と繰り返し性を検証することで、CIX100の精度を示します。同一サンプルを5倍と10倍の倍率で10回測定し、標準サイズクラスの粒子数を抽出しました。図は、クラスE（50～100 μm）に対するCpkとPpkの評価を示します。 |
高い光学性能
| CIXが採用した工業顕微鏡の筐体は実体顕微鏡とは異なり、計測に適した高解画像の撮像が可能なだけでなく、ピント位置がずれた時に測定結果がばらつかない光学系を搭載しています。さらに、高品質UIS2対物レンズや高解像度カメラ、光学コンポーネントなどの組み合わせによって高品質の検査画像を得られます。 |
検査結果の安定性を実現
| ステージ上にセットできる粒子標準デバイスを用いた定期確認で検査結果の安定性を実現します。 |
検査条件の設定ミスを防止
| 光路の補正、電動レボルバー、そしてカメラをカバーで保護することにより、望ましくないズレを防止します。保護カバーによってシステム間で機差がない調整されたカメラに触れることがないため、誤った補正を防止して高い再現性を維持します。 |
操作性
検査プロセスに特化したユーザーインターフェース
ウィンドウにタスクバーのないフルスクリーン表示により、最大スペースが得られることでオペレーターの操作効率が高まります。 | コンタミ解析専用システムのCIX100は検査プロセスの検査前準備～検査～結果レビューといったワークフロー全体で快適な操作環境を提供することが出来ます。サンプルをセットした後は、本体に触れることなく画面のガイダンスに従って操作するだけでフィルター全体の検査が完了します。
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直感的なインターフェース
| 説明なしでも使いやすいユーザーインターフェースにより、不慣れなオペレーターでも数クリックで完全な検査が可能。毎日の検査と処理の時間を最小限に抑えられます。 |
キャリブレーション
| 必要最小限の設定で定期校正を実施することができます。また、前回の実施時期が表示されているので、定期校正を忘れることを防止します。 |
充実した顕微鏡モード
CIX100はコンタミネーション解析だけでなく、デジタルマイクロスコープのアプリケーションに使用することもできます。
粒子解析（切断法）、 粒子解析（計数法）、鋳鉄解析、最悪視野の非金属介在物解析、レイヤー厚計測、アルミニウムDAS（デンドライトアームスペーシング）測定、 フェーズ分析、 気孔率解析、皮膜厚さ測定など、オプションで幅広いマテリアルソリューションを提供します。
保存と共有
 | すべてのデータは自動的に保存されます。アーカイブされたすべての標本、その関連データ、レポートに直接アクセスして、編集や情報の配布ができます。 |
必要な作業に集中できるユーザー管理機能
CIX100では３つレベルのユーザー権限を管理できます。システム管理者はオペレーターレベルに応じて必要な機能を自由に割り当てることができます。パワーユーザーにはほぼすべてのシステム設定にアクセスできる権限を持たせたり、経験の少ないユーザーには基本的なワークフローにしかアクセスさせない、といったことも可能です。オペレーターは迷ったり、誤っりすることなく必要な機能の操作に集中できるので、検査作業自体の生産性が高められるだけでなく、作業者のレベルによらず信頼性のに高い検査結果を得ることができます。
左：システムを熟知したパワーユーザー向け設定例 (ハードウェア再調整、ユーザー権限設定以外の操作が可能)
右：ルーチン作業を行うオペレーター向けの設定例
タッチパネルに対応
| CIX100ソフトウェアはボタンが大きく、効率的なタッチパネルでの作業に適しています。 |
検査条件の設定ミスを防止
| 検査で使用するすべてのパラメーターを指定します。このパラメーターには、粒子の特徴づけのルールや粒子群とタイプの設定などが含まれます。 |
高速性
圧倒的なスピードで高感度検出
検査領域全体のオーバービューや判定結果の表示など検査中に必要な情報が一目瞭然に確認できます。 | CIX100は高い光学技術とハイスピードな電動ステージ、コンタミネーション解析専用のアルゴリズムなどにより、検査基準の厳しい工業規格でも高速かつ安定した検査結果を得ることができます。さらに検査によるステージ動作中でも、コンタミ解析結果がリアルタイムで反映されます。そのため検査の途中にNGとなった場合は途中で検査を終了し、次のサンプルに交換することで検査全体の効率化を図ることが可能です。
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1度のスキャンでさまざまな異物を
波長分離と色検出に基づく新しい偏光方法により、1度のスキャンで高い反射率の粒子 (金属) と低い反射率の粒子 (非金属) を検出します。CIX100はこの手法を使って従来の検査システム（インスペクターシリーズ）に比べて2倍の速さでスキャンを完了させることができます。更に異なる条件で2回スキャンする為に行う、偏光素子の設定変更が不要なので繰り返しの変更操作に伴う累積誤差や単純なオペレーションミスなどで検査結果がばらつくことは一切ありません。
1:従来の方法、2:CIX100独自の新方式 (1-1:非金属粒子、1-2：金属粒子、2:2種類の粒子を同時検出)
リアルカラーでの観察画像
リアルカラー画像モードにより、粒子が実際に何であるかが判断しやすくなります。反射粒子は偏光で青く見えますが、このモードを用いることで、 粒子が金属であるかの確認が可能になり、粒子の種類について適切で有効な解析が行えます。
| 検出および解析時に表示される粒子。 |
| レビューモード中に見られる粒子。 |
オーバービュー表示で検出粒子を確認
| 標本のオーバービュー画像は、その標本の検査開始時に作成され、フィルター全体が低い倍率で表示されます。オーバービュー画像により、検査の開始前にフィルターのカバレージや粒子のクラスタリングを識別できます。 |
検査条件の表示
| 工業規格や社内の業務標準などを含めた検査条件を表示します。 |
検査結果表示
| クラス分類ごとに検出した粒子が設定した合否判定閾値を超えているか検査中に確認できます。 |
スキャン範囲を超えた粒子も検出可能
CIX100は大きな粒子の画像を自動的に再構築できます。 | 工業規格に準拠して2.5μm～最大42mmの範囲で、最小および最大粒子をライブで処理およびクラス分類します。 |
検査の残り時間
| 検査処理の終了までの残り時間を表示します。 |
レビュー
直感操作と多彩な機能で効率的にレビューできます
粒子と分類テーブル、全体のCCC (Component Cleanliness Code) コード、粒子の位置、使用されている規格が 1つのビューに表示されます。 | CIX100でスキャンしたサンプルはデータに自動保存され検出したコンタミネーションをライブラリ表示、結果のレビューを行うができます。また、同じサンプルを別の工業規格で評価したい場合は、画面上で規格を変更するだけで結果出力が可能です。
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詳細な解析が可能
例えば反射する粒子や反射しない粒子など、あらゆる種類の粒子を大きい順に並べて表示します。 | 検査処理で取得した各粒子の画像を選択するだけで、高さ計測結果が分かる自動計測モードやフィルターの基準面からフォーカス移動を行い粒子のピント位置を指定するマニュアル計測モードでも計測可能です。 |
スピーディーな解析
| 粒子の位置、サムネイル、データが相互にリンクしているため、さまざまな角度からアプローチできます。 |
統計解析
| 検査データを基に統計管理を行うことで分析結果の傾向把握ができます。 |
スナップショットと簡易計測
| 任意の粒子の画像を撮影することができ、画面内で簡易計測ができます。 |
簡単なデータレビュー
あらゆる種類の粒子（反射粒子や非反射粒子）を大きい順に並べて、画像を表示できます。 | コンタミネーションのサムネイル画像は、それぞれの位置や寸法にリンクしているため便利です。サムネイルを選択すると、自動的にそのコンタミネーションに飛ぶことができます。 |
信頼性の高い結果
選択した規格に応じて、クラス分類と粒子の表に結果が一覧表示されます。 | 選択した規格と粒子データに応じて、クラス分類と粒子の表に結果がそれぞれ一覧表示されます。 |
対応する工業規格の一覧
CIX100は以下の工業規格に沿った検査が可能です。
ASTM E1216-11:2016
ISO 4406:2021
ISO 4407:1999
ISO 4407:2002 [Cumulative and Differential]
ISO 11218:1993
ISO 12345:2013
ISO 14952:2003
ISO 16232-10:2007 (A, N, and V)
ISO 16232:2018 (A, N, and V)
ISO 21018:2008
DIN 51455:2015 [70%and 85%]
NAS 1638:1964、NF E 48-651:1986
NF E 48-655:1989
SAE AS4059:2011
VDA 19.1:2015 (A, N, and V)
VDA 19.2:2015
VDI 2083-21
レビュー結果表示
| 選択した規格に準拠してライブで計算され、全体のコンタミネーション解析結果が表示されます。 |
レビュー条件の選択
| 結果はマウスをクリックするだけで、あらゆる規格に合わせて再計算できます。 |
迅速で簡単な画像編集機能
オペレーターは自分の検査データを簡単に編集できます。削除、分割、統合などのパワフルなソフトウェアツールにより、簡単にデータの編集ができます。
高さ計測でさらに詳細な解析が可能
検査処理で取得した各粒子の画像を選択するだけで、高さ計測結果が分かる自動計測モードやフィルターの基準面からフォーカス移動を行い粒子のピント位置を指定するマニュアル計測モードでも計測可能です。
社内の業務標準にも柔軟に対応
社内の業務標準に従った評価に必要な条件を簡単に作成＆登録できます。レビュー時には、工業規格を含めた複数の基準で評価することも簡単です。
レポート
規格に準拠したレポート出力や先進のデータ共有
工業規格や社内の業務標準に準拠したレポート | CIX100はドイツ、フランスを含めた各種グローバルな工業規格に対応したレポート作成が可能です。社内の業務標準に対応するためのカスタマイズや多拠点の共有だけでなくなども容易なテンプレートを利用したレポート作成も可能です。また、過去に検査した結果データの検索、再レビューやそれに伴うレポートの再編集なども簡単な操作で行うことができます。
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工業規格や社内の業務標準に準拠したレポート
既に作成済みの添付テートリストから選択するだけ | OLYMPUS CIX100のスマートで洗練されたレポート作成ツールでは、初期設定のテンプレートを利用することによって経験の浅いオペレーターでも短時間でプロ仕様のレポートを作成できます。利用可能なすべてのテンプレートが明確に表示されます。 |
効率的なレポート作成
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複数の出力フォーマットを選択可能
サポートされる出力フォーマットには、MS Word、PDF、Excelなどがあります。 | レポートのエクスポートもマウスをクリックするだけで簡単です。オペレーターは用途や必要性に合わせて、MS WordやPDFのフォーマットなどレポートのエクスポートを選べます。 |
プロセスモニタリングにも利用
| プロセスのモニタリングや結果の再確認など検査データやレポートは一定期間、保存する必要があります。CIX100はこれらのデータを圧縮して保存できるのでより長い期間システム内にデータを保持できます。 |
サンプル情報
| レポートには検査条件やサンプルの情報など必要なデータを出力することができます。 |
工業規格に準拠
| レポートには、工業規格に準拠したクラス分類に基づいた検出粒子数など詳細結果の出力も可能です。 |
見やすいページレイアウト
| 直観的なページレイアウトで印刷や電子データのレビューも効率的です。検出した粒子は大きい順に並べて出力されます。 |
仕様
ハードウェア
| 顕微鏡本体 | OLYMPUS CIX100 | 電動フォーカス |
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| 照明 |
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| 撮像素子 |
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| サンプルのサイズ |
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| レボルバー | 電動タイプ | 電動レボルバー |
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| ソフトウェア制御 |
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| ステージ | 電動X・Yステージ | 電動X・Yステージ |
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| ソフトウェア制御 |
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| サンプルホルダー | サンプルホルダー |
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| 粒子標準デバイス（PSD） |
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| ステージインサート | 2ポジションのステージインサート |
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| コントローラー | ワークステーション | 高性能のプリインストールワークステーション |
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| 拡張ボード |
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| 言語選択 |
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| タッチパネルディスプレイ | 23型、スリムスクリーン |
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| 電源 | 定格 |
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| 消費電力 |
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| 図面 | 寸法（W×D×H） | 約1300 mm × 800 mm × 510 mm | |
| 重量 | 44 kg | ||
システム環境条件
| 通常使用 | 温度 | 10 °C～35 °C |
| 湿度 | 30～80% | |
| 安全規制 | 環境 | 屋内使用 |
| 温度 | 5 °C～40 °C（41 °F～104 °F） | |
| 湿度 |
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| 高度 | 最高2,000 m | |
| 水平度 | 最大±2° | |
| 電源および電圧安定度 | ±10% | |
| 汚染度（IEC60664） | 2 | |
| 過電圧カテゴリ（IEC60664） | II |
ソフトウェア
| ソフトウェア | CIX-ASW-V1.5 |
| |||
| 言語 | GUI |
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| オンラインヘルプ |
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| ライセンス管理 |
| ||||
| ユーザー管理 |
| ||||
| ライブ画像 | カラーモード表示 |
| |||
| ウィンドウフィット方法 |
| ||||
| ライブ検出 |
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| ライブ分類 |
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| 顕微鏡モード |
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| 画像取得と手動計測 | ユーザースナップショットの収集 |
| |||
| 手動計測 |
| ||||
| ハードウェア制御 | 電動X・Yステージ |
| |||
| 電動レボルバー |
| ||||
| 電動フォーカス |
| ||||
| チェックシステム | システム検証 |
| |||
| 選択可能な対物レンズ |
| ||||
| 工業用清浄度の規格 | 対応規格 |
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| VDA19:2016に準拠 |
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| 粒子群の識別 |
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| 規格のカスタマイズ |
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| 検査設定 |
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| 粒子のタイル表示ビュー | ナビゲートしやすいよう、検出された粒子をタイル表示 |
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| 全メンブレンの保存 | フィルターのすべてを保存 |
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| データエクスポート | データの保存 |
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| 統計解析 | 複数のサンプルについての統計解析（内蔵SQCツール） |
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| 粒子の編集 | 修正プロセス時に粒子を編集可能 |
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| レポートシステム | Microsoft Word 2019を使用して、専門的な解析レポートを作成可能 |
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オプションソリューションCIX-S-HM
| 高さ計測 | 選択した粒子について自動または手動の高さ計測 |
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環境法と規制
| ヨーロッパ | Low Voltage Directive 2014/35/EU |
| EMC Directive 2014/30/EU | |
| RoHS Directive 2011/65/EU | |
| REACH Regulation No. 1907/2006 | |
| Packaging and Packaging Waste Directive 94/62/EC | |
| WEEE Directive 2012/19/EU | |
| Machinery Directive 2006/42/EC | |
| アメリカ合衆国 | UL 61010-1:2010 Edition 3 |
| FCC 47 CFR Part15 SubPartB | |
| カナダ | CAN/CSA-C22.2 (No. 61010-1-12) |
| オーストラリア | Radio communications Act 1992、Telecommunications Act 1997 |
| Regulation on Energy conservation AS/NZS 4665-2005 | |
| 日本 | 電気用品安全法（PSE） |
| 韓国 | Electrical Appliances Safety Control Act |
| Regulation on Energy Efficiency Labeling and Standards | |
| Regulations for EMC and Wireless Telecommunication (Notice 2913-5) | |
| 中国 | 中国RoHS |
| 中国PL法 | |
| Regulation for Manuals |
