정확한 이미징
고해상도, 고정밀 이미징
다양한 샘플 타입에서도 정확한 3D 측정을 수행할 수있는 시스템으로 품질 보증(Quality Assurance) 및 공정 제어(Process Control)를 위한 신뢰할 수 있는 데이터를 제공합니다
탁월한 평면 분해능
| 405nm의 바이올렛 레이저와 높은 N.A의 전용 대물렌즈로 일반 광학 현미경, 백색광 간섭계 또는 레드 레이저 기반 현미경이 감지하지 못하는 미세한 패턴과 결함까지 관찰할 수 있습니다. | |
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Red 타입 (658 nm: 0.26 μm 선폭) | Violet 타입 (405 nm: 0.12 μm 선폭) | |
균일한 측정 값
전용 LEXT 대물렌즈는 주변 영역을 정확하게 측정할 수 있습니다. |
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새롭게 개발된 MEMS 스캐너
 | 새로은 MEMS 스캐너는 스캔 트레이스 왜곡이 낮고 광수차가 최소화된 정확한 X-Y 스캔을 수행합니다. |
4K 스캔 기술
| 4K 스캔 기술은 X축 방향에서 일반 시스템보다 4배 많은 4,096 픽셀을 스캔합니다. |
실제 형상 관찰
| 기존 레이저 현미경은 노이즈 제거를 위해 평활화(smoothing)와 같은 표준 이미지 처리 기법을 사용하므로 정확하게 측정된 높이의 미세한 불규칙성 데이터가 노이즈와 함께 제거 되는 경우가 있습니다. |
기타 고해상도 측정 기술들
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