半導体/FPD検査顕微鏡

半導体、FPD等を効率よく検査できる顕微鏡システムです。サンプルの大きさにより最適なシステムが選択でき、大型化する半導体ウエハやFPDガラス基板を検査するために最大12インチｘ14インチの大型ステージを搭載できる顕微鏡システムです。

MX63 / MX63L

MX63/MX63Lは最大300mmサイズのウエハや液晶パネル、電子基板などのサンプルが検査できる大型の顕微鏡です。さまざまなアプリケーションに対応するモジュールを組み合わせることでお客様に最適なシステムを提供することができます。さらにOLYMPUS Stream画像解析ソフトウェアと組み合わせることで観察からレポート作成までのシームレスなワークフローを提供します。

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AL120

AL120ウエハローダは小径から200mmまでのウエハサイズに対応した、シリコン・化合物ウエハをカセットから顕微鏡ステージに搬送する装置です。極薄化するウエハも対応して、ウエハの安全・効率搬送で半導体後工程での歩留まり、生産性向上に貢献します。

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AL120-12

AL120-12はFOUPオープナー（Load Port）対応とFOSB対応の2種類をラインアップに持つ300mmウエハローダです。ウエハ条件（薄ウエハ、反ウエハ）に影響されない搬送を実現し、後工程の本質を追及した高い信頼性と安全性を提供します。

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デジタルカメラ、ソフトウエアソリューション

顕微鏡に専用デジタルカメラを取り付けることにより、観察像をライブ表示し、画像の取得が可能となります。また画像解析ソフトウエアを使用することにより、画像処理、計測、解析、レポート作成までのすべての作業をきめ細かくサポートします。

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OLYMPUS Stream

OLYMPUS Streamは、製造現場の検査員、品質管理のエキスパート、大学などの研究者の方々が行う、計測やレポート用に適した鮮明な画像を取得するためのさまざまなステップをサポートします。

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顕微鏡用デジタルカメラ

オリンパス顕微鏡との組み合わせに最適設計されたデジタルカメラです。顕微鏡観察像をライブ表示し、デジタル保存することができます。画素数やPCコントローラの有無、簡易計測の可否など、さまざまなタイプから選択することが可能です。

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工業用顕微鏡 半導体/FPD検査顕微鏡

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