半導体、FPD等を効率よく検査できる顕微鏡システムです。サンプルの大きさにより最適なシステムが選択でき、大型化する半導体ウエハやFPDガラス基板を検査するために最大12インチx14インチの大型ステージを搭載できる顕微鏡システムです。
顕微鏡に専用デジタルカメラを取り付けることにより、観察像をライブ表示し、画像の取得が可能となります。また画像解析ソフトウエアを使用することにより、画像処理、計測、解析、レポート作成までのすべての作業をきめ細かくサポートします。
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