概要
ニーズにお応えするカスタマイズソリューション
当社の使命のひとつは、お客様のワークフローを最適化するカスタマイズ検査ソリューションを提供することです。 | 多様な製品ラインアップを活用し、カスタマイズされたハードウェア/ソフトウェア検査ソリューションをご提供します。 ご紹介する顕微鏡製品には、検査可能なサンプルの幅を大幅に拡げることができるものも含まれています。 また、ハードウェア/ソフトウェアシステムについてお客様と直接、協力体制を築きながら、自動検査システム構築のお手伝いをします。 |
ターゲットソリューションカスタマイズソリューションで検査の可能性を広げましょう。 |
| カスタマイズのプロセス当社の製品にお探しのものが見つからない場合でも、多くのご提案をご用意しています。カスタマイズ機能を機器に追加すれば、お客様の用途に固有の検査課題を迅速かつ効果的に対応できます。 下のフォームからカスタマイズ要件をお送りいただければ、当社エンジニアがソリューションについてご連絡差し上げます。 |
工業用レーザー顕微鏡
従来型を超える機能大型サンプルや重いサンプル向けにLEXT™ OLS5100レーザー走査型顕微鏡の先進機能をすべて搭載 |
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LEXT™ OLS5100レーザー走査型顕微鏡は、優れた精度と光学性能をスマートツールに組み合わせ、使いやすいシステムになっています。 カスタマイズソリューショングループによるターゲット製品は、OLS5100システムの先進機能を広範なコンポーネントに使用できるように設計されています。 |
OLS5100をカスタマイズ
- 重荷重ステージ
- 大型ブリッジスタンド
- 高安定ワークステーション
- 安定した石天板スタンド
- アクティブ防振デスクトップユニット
- 環境管理ボックス
- カスタム固定具
- 回転式真空ウェハホルダー
- 回転式ウェハホルダー
- ネジ穴固定具
OLS5100-TMレーザー走査型顕微鏡：大型サンプルのナノスケール測定を実現
OLS5100には、大型の電子部品（シリコンウェハやPCBなど）から自動車部品を含む重いコンポーネントまで、ナノスケール測定を可能にするカスタマイズオプションがいくつもあります。以下のオプションが含まれます。
- 大型サンプルや重いサンプルの検査向けに最大300 × 300 mmの電動ステージ
- 最大荷重30 kgのステージ
- さまざまな高さのサンプルを容易に測定できる手動のZ移動
OLS5100大型ブリッジスタンド：特大サンプル測定向けの高い安定性シリコンウェハ、電子部品、大型自動車部品などの部品の高分解能検査では、安定性が重要な要素になります。カスタマイズ可能な大型ブリッジスタンドは、LEXT OLS5100顕微鏡で行う測定の精度と正確さを確保する設計になっています。以下の機能があります。
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カスタマイズ可能な高安定ワークステーション：測定精度を最大化電子部品などのサンプルのナノスケール検査時に最適な測定精度を実現するには、外部振動の影響を最小限に抑える機器が必要です。 当社の高安定ワークステーションは、精密なナノスケール検査を可能にします。ワークステーションの構成は以下のとおりです。
これらのワークステーションコンポーネントは、完全なターンキーソリューションのカスタマイズに使用することも、必要に応じて個別に購入することもできます。 |
安定した石天板スタンド：最適な作業環境電子部品やその他の対象物のナノスケール検査を実施する場合、最適精度を得るための環境条件を満たすのは困難なことがあります。 石天板スタンドを使用すると、信頼性に優れた高分解能の測定値を確実に取得できます。
アクティブ防振ユニットは検査ニーズに応じて、顕微鏡スタンドにシームレスに一体化することも（非常に小型のソリューション）、防振デスクトップユニットを装着することも可能 |
アクティブ防振デスクトップユニット：高精度のために小さな振動を排除ウェハ検査など、ナノスケールの分解能が求められるアプリケーションでは、軽い足音や小さな雑音でさえ測定精度に影響する場合があります。 アクティブ防振デスクトップユニットは外部振動を排除するために設計され、安定性と測定精度を向上させる機能を複数備えています。
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環境管理ボックス：クリーンルーム検査用の強力なツール顕微鏡の遮へいにより、測定精度を高める周囲の作業環境を提供し、標準的なLEXTシステムの使用時に操作音を低減します。ユーザーが遮へいによって効率的な検査ワークフローを維持できるように、環境管理ボックスには革新的な設計上の特長がいくつもあります。
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微孔真空チャック：繊細なサンプルに最適な固定法RFIDフィルム、ソーラーパネル、シリコンウェハなどの薄い柔軟なものを正確に検査するには、均一なつかむ力がありサンプル変形を最小限に抑えるサンプルホルダーが必要です。 微孔真空チャックでは、検査時に繊細なサンプルの平坦さと完全性が維持されます。これは、吸引の穴や溝ではなく、微小孔を使用した均一な吸引によるものです。
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回転式真空ウェハホルダー：安定した確実なウェハ固定効率的なシリコンウェハ検査のために、サンプルホルダーは、サンプルナビゲーションが容易で固定が安定していなければなりません。 真空ウェハホルダーには、ウェハ検査ワークフローを合理化する特長がたくさんあります。
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回転式ウェハホルダー：ウェハ検査の合理化回転式ウェハホルダーは、真空吸引が必要でない場合のサンプル固定用に、単純で経済的な代替方法となります。
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ネジ穴固定具：カスタム固定具で簡単検査カスタム固定具は、検査時にパイプ、キューブ、その他の不規則な形の対象物を保持する際によく必要になります。 68個の均一に分布したM3ネジ穴を備え、150 mm × 110 mm × 5.5 mmを測定可能で、ネジ穴を使用した挿入によって幅広いカスタム形状に対応し、多様なサンプルの固定を実現 |
アプリケーションノート重要な自動車部品の領域粗さ測定の自動化内燃機関部品は、最適なエンジン性能を得るため、厳格な公差と正確な表面仕上げ基準に従って製造する必要があります。 LEXT™ OLS5100 3Dレーザー走査型顕微鏡は、高精度で非接触の表面粗さ測定を実施できます。そのため、自動車部品の品質管理に最適です。 |
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あるエンジン部品メーカーから、表面粗さ測定ワークフローを改善するための要件が伝えられました。Evidentはそのメーカーと協力して、LEXT顕微鏡を使用した高度な自動化カスタムソリューションを構築しました。 完成したソリューションでは、以下の作業が完全に自動化されました。
このワークフローを自動化したことで、生産性が大きく向上し、オペレーターによるエラーが減りました。 さらに、精密測定を管理された環境条件下で行う必要がありました。このため、局所温度と暗振動を自動的に記録し、MESサーバーに保存する必要もありました。Evidentはこの機能を確実にシステムに組み込みました。 |
デジタルマイクロスコープ
従来型を超える機能より大きいサンプルからのより深い洞察 |
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DSX1000デジタルマイクロスコープは、先進機能と使いやすさを組み合わせて、検査ワークフローを合理化します。 カスタマイズソリューショングループによるターゲット製品は、大型で背の高いサンプルの検査向けに設計されており、信頼性の高い欠陥解析のために強化されたイメージング機能の数々を提供します。 |
正立フレーム大型サンプルの高倍率測定 カスタマイズされたDSX1000正立フレームは、大型サンプルや重いサンプルを正確に計測可能です。 |
蛍光ズームヘッド蛍光でさらに詳細に観察 検査時に欠陥がより明らかになります。シリコンウェハの重要な寸法の測定や、回路基板のはんだ付けの亀裂検出などの用途があります。 |
チルトフレーム大型サンプルをさまざまな角度で精密測定 チルトフレームが検査を効率化し、大型サンプルに対する観察力を強化します。 |
製品ハイライトセグメント化されたLED照明リング：詳細な近接3D検査法医学書類検査、亀裂検出、塗装やワニスの検査などの検査アプリケーションは、さまざまな光の波長を利用して改善できます。 |
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カスタマイズソリューショングループは、検査時にサンプルを微細に観察するため、DSX1000マイクロスコープ用のセグメント化されたLED照明リングを開発しました。
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Semiconductor Microscopes
Capability Beyond the ConventionalUnlock the full potential of an automated semiconductor inspection with custom microscope hardware and software. |
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The MX63 and MX63L semiconductor microscope systems offer quality observations for up to 300 mm wafers, flat panel displays, printed circuit boards, and other large samples. These ergonomic and user-friendly systems feature a modular design for diverse applications. To streamline your inspection, the MX63 series can be customized with:
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Customize Your Semiconductor Microscope |
Full MotorizationDiscover our motorized X-Y stages and Z-axis for automated semiconductor inspection. |
Enhanced ImagingUse transmitted IR light for inspection through silicon samples, such as chip damage inspection and short circuit detection. |
Custom Sample HoldersChoose from a range of sample holders that can be customized for specific applications. |
Customized Software to Optimize Your Inspection WorkflowsMaximize all the advantages of a motorized stage with customized software solutions. Our PRECiV™ software can be customized for your specific workflow. |
For example, the Navigate on Wafer customized solution offers a multiposition measurement workflow. Watch the video to learn how this solution defines the wafer layout and navigates to various points on the wafer for imaging. |
Contact Us to Discuss Your Requirements |
光学顕微鏡
従来型を超える機能大型サンプル検査用の多用途スタンド |
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光学顕微鏡は品質管理に用いられるほか、新開発された材料、電子機器、金属、および化学製品を詳細に検査する目的で使用されます。 実体顕微鏡は、人間工学に基づいた快適な操作性で鮮明な立体視を可能にします。 光学顕微鏡および実体顕微鏡用にカスタマイズされたスタンドは、高い安定性を実現し測定精度向上をもたらし、電動Zドライブは大型サンプルの検査を合理化します。 |
BXFMブリッジスタンド大型部品検査用の安定したスタンド 大型サンプルや背の高いサンプルの検査には、大きく安定したスタンドと、手動または電動のZドライブや、高速焦準などの柔軟なオプションが必要です。 当社のBXFMブリッジスタンドは、大型サンプル検査に適した強力なソリューションです。 |
単一柱スタンド大型サンプル検査に合わせて簡単調節 さまざまなサイズのサンプルを測定する場合、顕微鏡の高さをすぐに調節できることが、効率的な検査にとって重要です。 |
アプリケーションノート最大数の測定値を最短時間で取得
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