AL120ウェハローダは小径から200mmまでのウェハサイズに対応した、シリコン・化合物ウェハをカセットから顕微鏡ステージに搬送する装置です。極薄化するウェハも対応して、ウェハの安全・効率搬送で半導体後工程での歩留まり、生産性向上に貢献します。
200mmウエハ専用タイプ、200mm/150mm兼用タイプ、150mmタイプ(150mm以下のウエハに対応)の3種類を用意しています。さらに検査内容に応じてミクロ検査専用モデル「Lタイプ」とミクロ・マクロ検査兼用モデル「LMBタイプ」から選択できます。
ウエハサイズ・厚さ対応表
高まる薄ウエハ工程ニーズに応えて、AL120-LMB-90には90umの薄さのウエハまでをカセット25枚のウエハを搬送できる新型アームを搭載しています。
オプションの「AL120 RS232C 通信ユニット」を利用することにより、AL120の外部制御が可能です。また、付属のDLLを使用することにより、アプリケーションソフトを簡単に作成できます。
AL120は、明視野、暗視野、微分干渉(DIC)、近赤外線(near-IR)、深紫外線(DUV)など多様な観察法において優れた画像の分解能と鮮明さを実現する、ウエハ検査専用顕微鏡オリンパスMXシリーズに対応しています。電動のターレットと開口絞りが連動して、各対物レンズに対して最適な照度とコントラストを調整します。ご希望により、他の機種への対応も可能です。
ウエハローダ AL120 仕様*1 | ||||||||
200mm専用タイプ | 200mm / 150mm兼用タイプ | 150mmタイプ | ||||||
AL120-
LMB8- 90 |
AL120-
LMB86- 180 |
AL120-
L86- 180 |
AL120-
LMB86 |
AL120-
L86 |
AL120-
LMB6- 150 |
AL120-
L6- 150 | ||
対応ウエハサイズ(SEMI規格) | 200mm | 200mm / 150mm |
150mm /
125mm / 100mm | |||||
対応ウエハ厚み(最小) | 90µm | 180µm | 400µm | 150µm | ||||
適合カセット*2 | SEMI規格25枚(26枚)カセット | |||||||
カセット数 | 1 | |||||||
検査モード | 全数検査、抜取検査 | |||||||
搬送シーケンス | ミクロ(顕微鏡)検査 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
表面マクロ検査 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
裏面マクロ検査 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
再裏面マクロ検査 | ○ | ○ | ○ | |||||
オリフラ位置(90°毎)設定方式 | 非接触(オリフラ/ノッチ) | 非接触(オリフラ) | ||||||
外部制御*3 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | |
適合顕微鏡 | オリンパス半導体検査顕微鏡MX61シリーズ | |||||||
寸法(mm) |
本体のみ:640(W)×620(D)×378(H)
顕微鏡を含む:1100(W) |
本体のみ:570(W)×620(D)×400(H)
顕微鏡を含む:980(W) | ||||||
質量(kg)(本体のみ) | 44 | 44 | 41 | 44 | 41 | 40 | 37 | |
ユーティリティ(電源・真空) |
AC100V~120V、1A、またはAC220V~240V、0.5A
50/60Hz、-67~-80kPa、20Liter/min以上 |
*1 搬送可否の確認は、搬送予定の全ての厚さのウエハにて動作確認をさせて頂く必要がございます。
*2 10種類まで登録可能
*3 オプション , 対応OSはWindows7(32bit/64bit)
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