概要

目的に合わせてフィットする測定顕微鏡測定サンプルが小さくても、大きくても。測定内容がシンプルでも、複雑でも。測定者が初めて使う人でも、使いなれた人でも。「あなた」の測定に「フィット」する測定顕微鏡。それがオリンパスのSTM7シリーズです。製品紹介ビデオを見る

目的に合わせてフィットする
測定顕微鏡

測定サンプルが小さくても、大きくても。測定内容がシンプルでも、複雑でも。測定者が初めて使う人でも、使いなれた人でも。「あなた」の測定に「フィット」する測定顕微鏡。それがオリンパスのSTM7シリーズです。

製品紹介ビデオを見る

STM7

顕微鏡としての観察性能最先端の光学顕微鏡に搭載されるUIS2無限遠補正光学系を採用。高解像・高コントラスト、収差を徹底的に排除した観察像が微細で高精度な測定をサポートします。

顕微鏡としての観察性能

最先端の光学顕微鏡に搭載されるUIS2無限遠補正光学系を採用。高解像・高コントラスト、収差を徹底的に排除した観察像が微細で高精度な測定をサポートします。

^{STM7-LF FEM解析}	測定値の信頼性を高める石定盤ベースの台座ステージには測定精度を追究した、石定盤ベースの高剛性・高耐震性台座を採用しました。重量のある安定したフレームボディが、誤差の少ないサブミクロンの高精度測定を実現しています。

STM7-LF FEM解析

^{STM7-LF FEM解析}

測定値の信頼性を高める石定盤ベースの台座

ステージには測定精度を追究した、石定盤ベースの高剛性・高耐震性台座を採用しました。重量のある安定したフレームボディが、誤差の少ないサブミクロンの高精度測定を実現しています。

使い易く高精度な3軸測定を提供モノづくりの微細化・精密化が進むなか、XYの平面測定にとどまらず、高精度なZ測定が必要とされています。測定顕微鏡のために追従式によるオートフォーカスを実現したオリンパスは、高さ測定のパイオニアとして、その性能にさらに磨きをかけています。

使い易く高精度な3軸測定を提供

モノづくりの微細化・精密化が進むなか、XYの平面測定にとどまらず、高精度なZ測定が必要とされています。測定顕微鏡のために追従式によるオートフォーカスを実現したオリンパスは、高さ測定のパイオニアとして、その性能にさらに磨きをかけています。

_{オリンパス（株）試験評価センターではILAC-MRA校正認定機関（JCSS, JAB）から認定された校正証明書を発行しています。} _{トレーサビリティー体系図は発行時の状況および、国や地域によって記載内容が変わります。また、STM7の校正作業に使用するサンプルはそれぞれの国や地域で校正されます。詳細についてはオリンパスにお問い合わせ下さい。}	国際規格のトレーサビリティ体系オリンパスの測定顕微鏡は厳格なトレーサビリティーの基に精度管理されています。設置場所での校正についても、オリンパスがサポートいたします。オリンパスではILAC-MRA校正認定機関（JCSS、JAB）から認証された校正証明書を発行しています。

STM7の校正作業

_{オリンパス（株）試験評価センターではILAC-MRA校正認定機関（JCSS, JAB）から認定された校正証明書を発行しています。}
_{トレーサビリティー体系図は発行時の状況および、国や地域によって記載内容が変わります。また、STM7の校正作業に使用するサンプルはそれぞれの国や地域で校正されます。詳細についてはオリンパスにお問い合わせ下さい。}

国際規格のトレーサビリティ体系

オリンパスの測定顕微鏡は厳格なトレーサビリティーの基に精度管理されています。設置場所での校正についても、オリンパスがサポートいたします。オリンパスではILAC-MRA校正認定機関（JCSS、JAB）から認証された校正証明書を発行しています。

推奨組み合わせ

全機種0.1um読みの３軸測定に対応した
５つのモデル

手動モデル			電動モデル

STM7-SF	STM7-MF	STM7-LF	STM7-MFA	STM7-LFA

STM7-CS100 ^{ステージ：100mm x 100mm}	STM7-CS200 ^{ステージ：200mm x 200mm}	STM7-CS300 ^{ステージ：300mm x 300mm}	STM7-CS200 ^{ステージ：200mm x 200mm}	STM7-CS300 ^{ステージ：300mm x 300mm}

全モデルの仕様比較表をみる

	STM7-SF	STM7-MF	STM7-LF	STM7-MFA	STM7-LFA
Z軸駆動方式	手動		手動	電動
標準
オプション
_{測定対物レンズ} 明視野
_{フォーカスナビゲーター} STM7-FN
_{オートフォーカス} STM7-AF	－		－
_{測定支援ソフトウェア} STM7-BSW
_{測定支援ソフトウェア} ^{（貼合わせ・拡張焦点）} STM7-ASW-ME

観察方法

BF: 明視野
DF: 暗視野
DIC: 微分干渉
POL: 偏光

: オプション

対応・操作性

サンプルにフィットするステージ

従来のお困り事

測長ストロークが足りないので、大型サンプルを測定することができない
Y方向の測長ストロークがX方向よりも短いためにサンプルを回転させて測定しなければならず、手間がかかる
測長可能範囲が狭いため、複数のサンプルをステージに並べて一度に測定することができない

STM7が解決します

ユニークな正方形ストロークのステージを4タイプ用意しました。小型から大型サンプルまで、大きさに合わせて選択できます。クラッチ方式の採用により粗微動をすばやく切り換えることができます
Ｘライン上やＹライン上のスピーディなステージ送り、ＸＹ平面上の自在なステージ送りが可能になります
正方形ストロークの300mmステージなら、300mmウエハやプリント基板などの大型サンプルも、X軸とY軸の測長ストロークが同じなので向きを変えずに測定できます

最大測長ストローク300mm x 300mm

ユニークな正方形ストロークのステージを3タイプ用意しました。小型から大型サンプルまで、大きさに合わせて選択できます。

STM7-CS100

_STM7-CS100
^{100 mm x 100 mm}

STM7-CS200

_STM7-CS200
^{200 mm x 200 mm}

STM7-CS300

_STM7-CS300
^{300 mm x 300 mm}

一台の顕微鏡で測定対物レンズ、金属対物レンズに対応

従来のお困り事

ほとんどの測定顕微鏡は測定対物レンズ専用、もしくは金属対物レンズ専用で、1台で幅広い観察の要求に応えてくれる測定顕微鏡がなかった

STM7が解決します

測定対物アダプタで測定対物レンズ、レボルバで金属対物レンズの使用が可能。一台の測定顕微鏡で測定対物光学系、金属対物光学系に対応できます。段差の大きな測定か、広範囲か微小領域の測定か、観察方法をどうするかなど様々なニーズにSTM7が柔軟に対応します

測定対物レンズサンプルと対物レンズの接触を気にせずに、凹凸の大きいサンプルも安心してピント合わせができる作動距離が極めて長い対物レンズです。倍率が低いので、一度に広い範囲を観察することができます。

測定対物レンズ

サンプルと対物レンズの接触を気にせずに、凹凸の大きいサンプルも安心してピント合わせができる作動距離が極めて長い対物レンズです。倍率が低いので、一度に広い範囲を観察することができます。

測定対物レンズ

サンプル

^{明視野画像}	^{暗視野画像}	金属対物レンズ光学顕微鏡と同様の高倍率・高解像度観察が可能になります。明視野のほかに暗視野、微分干渉、偏光観察に対応できます。対物レンズについてさらに詳しく

明視野画像

^{明視野画像}

暗視野画像

^{暗視野画像}

金属対物レンズ

光学顕微鏡と同様の高倍率・高解像度観察が可能になります。明視野のほかに暗視野、微分干渉、偏光観察に対応できます。

対物レンズについてさらに詳しく

操作性を大きく向上させる革新的なオペレーションユニット

従来のお困り事

機能を追加すると操作部が転々と散らばって、効率的な測定ができない。操作にも迷う
操作部や電源部が本体周辺に散らかっていて、貴重な作業空間が確保できない

STM7が解決します

ほとんどの測定顕微鏡の操作は手元のオペレーションユニットで完結するため効率的な測定が可能になります
様々な機能を追加しても本体の周辺には1つの操作部と1つの電源部。机上の作業空間も広く確保できます

オペレーションユニット STM7は様々な機能を追加しても、１つのオペレーションユニットで、カウンタリセット、調光、焦準、AFなど測定顕微鏡のほとんどの操作が可能になります。自由に配置して片手で快適に操作してください。	^{手動操作用ハンドスイッチ：STM7-HS}	^{電動操作用コントローラ：STM7-MCZ}

オペレーションユニット

STM7は様々な機能を追加しても、１つのオペレーションユニットで、カウンタリセット、調光、焦準、AFなど測定顕微鏡のほとんどの操作が可能になります。自由に配置して片手で快適に操作してください。

手動操作用ハンドスイッチ：STM7-HS

^{手動操作用ハンドスイッチ：STM7-HS}

電動操作用コントローラ：STM7-MCZ

^{電動操作用コントローラ：STM7-MCZ}

コントロールユニット

各ユニットの電源、通信を1台のコントロールボックスに集約できます。フォーカスナビゲータなど様々なオプション機能を追加しても広い作業空間を確保できます。

Z軸は手動タイプと電動タイプをラインアップ

ピント合わせのための上下動操作は、手動タイプと電動タイプが用意されています。ステージサイズに左右されることなく、サンプルや測定内容に応じて好みのモデルを選択できます。すべてのフレームにZ軸のリニアスケールが内蔵され、3軸測定に対応します。

手動Z軸タイプ

コストパフォーマンスに優れたスタンダードタイプ。使い慣れたハンドル操作で、スピーディに上下動作を行うことができます。様々な高さのサンプルを測定するユーザーに向いています。

電動Z軸タイプ

手元のオペレーションユニットでピント合わせや高さ測定が行えるため、操作性が大幅に向上し、作業時の疲労も大幅に軽減されます。手動同様の粗微動ハンドルにより、使い慣れた感触で操作ができます。電動Z軸タイプはオートフォーカスユニットの搭載が可能です。

観察・測定の効率性を大きく向上するライトマネージャー

従来のお困り事

従来の測定顕微鏡に採用のアナログのボリューム調整では、設定した明るさを定量的に把握できなかった。同じ照明条件での測定ができないため、測定値のバラツキに繋がることもあった
従来の測定顕微鏡では、対物レンズを切り換えるたびに照明の明るさを調整する必要があるため、非効率であった

STM7が解決します

STM7は明るさを定量的に把握できるので、常に同じ条件で観察・測定できます
コードレボルバと組み合わせてライトマネジャーを用いれば、対物レンズを切り換える毎に設定しておいた照明方法や明るさに自動調整されます。都度の手間がかからず効率的です

明るさを定量的に把握できるデジタル表示 STM7は、測定値のバラツキに繋がる照明の明るさをデジタルに表示します。明るさを定量的に把握することができるので、常に同じ照明条件で観察することが可能です。

明るさを定量的に把握できるデジタル表示

STM7は、測定値のバラツキに繋がる照明の明るさをデジタルに表示します。明るさを定量的に把握することができるので、常に同じ照明条件で観察することが可能です。

明るさを定量的に把握できるデジタル表示

^{5x 明るさ50}	^{20x 明るさ70}	^{100x 明るさ120}	対物切換時の明るさ調整不要コードレボルバとの組合せではライトマネージャーが使用できます。対物レンズ毎に照明の方法と明るさを登録でき、測定時は対物レンズの切り換えに連動して自動的に照明方法・明るさが調整されます。倍率を切り換える度に行っていた明るさ調整をする必要がなくなります。

5x 明るさ50

^{5x 明るさ50}

20x 明るさ70

^{20x 明るさ70}

100x 明るさ120

^{100x 明るさ120}

対物切換時の明るさ調整不要

コードレボルバとの組合せではライトマネージャーが使用できます。対物レンズ毎に照明の方法と明るさを登録でき、測定時は対物レンズの切り換えに連動して自動的に照明方法・明るさが調整されます。倍率を切り換える度に行っていた明るさ調整をする必要がなくなります。

使いやすい位置にカウンタを配置して、測定結果や装置の状態を素早くチェック

従来のお困り事

照明などの状態や測定数値は、個別のユニットを確認しなければならず、作業が煩雑になっていた

STM7が解決します

STM７のカウンタ表示部は、設定した顕微鏡状態を測定値と一緒に表示。状態を一目で把握できます

現在の設定状態が一目で確認できるカウンタカウンタには装置の状態を示すインジゲータが付属しているので、現在の装置の設定状態を簡単に認識することができます。 0.1μm/1μmの最少表示桁数の切り換えやmm、μm、inch、milの表示単位切り換えが行えます。	^{本体取付時}

現在の設定状態が一目で確認できるカウンタ

カウンタには装置の状態を示すインジゲータが付属しているので、現在の装置の設定状態を簡単に認識することができます。 0.1μm/1μmの最少表示桁数の切り換えやmm、μm、inch、milの表示単位切り換えが行えます。

本体取付時

^{本体取付時}

^{机上配置時}	カウンタは取り外して自由に配置可能カウンタは本体に設置することも、机上に配置することもでき、状況に応じて自由な配置が可能になりました。立ったまま測定する場合は本体側面の観察位置とほぼ同じ高さの見やすい位置にカウンタを配置。デジタルカメラを介したモニタ上での観察・測定を行う場合や、Z電動モデルを使用する場合は、カウンタやオペレーションユニットを机上において、椅子に座りながら作業することができます。

机上配置時

^{机上配置時}

カウンタは取り外して自由に配置可能

カウンタは本体に設置することも、机上に配置することもでき、状況に応じて自由な配置が可能になりました。立ったまま測定する場合は本体側面の観察位置とほぼ同じ高さの見やすい位置にカウンタを配置。デジタルカメラを介したモニタ上での観察・測定を行う場合や、Z電動モデルを使用する場合は、カウンタやオペレーションユニットを机上において、椅子に座りながら作業することができます。

高さ測定

目視での高さ測定を素早く、シンプルに、より正確に行えるフォーカスナビゲータ

従来のお困り事

目視による高さ測定では、オペレータレベルでのバラツキが結果に現れる。測定に時間もかかり、非効率である

STM7が解決します

オペレータによる高さ測定結果のバラツキを抑えることができるフォーカスナビゲータは測定時間も短縮でき、効率的な高さ測定を行うことができます

再現性に優れたシンプルで精確なフォーカスシステム視野内にパターンを投影し、上下パターンのズレを合わせることで、繰り返し性の良い高さ測定が可能になります。通常の目視による高さ測定では、ピントが合っているように見えても僅かな誤差が生じます。フォーカスナビゲータは指標を合わせる測定をするので、オペレータによる測定結果のバラツキを抑えることができます。STM7はプリズムによる上下の像がズレる方式ではなく投影された指標のみがズレるので、見やすくピント合わせが容易です。

再現性に優れたシンプルで精確なフォーカスシステム

視野内にパターンを投影し、上下パターンのズレを合わせることで、繰り返し性の良い高さ測定が可能になります。通常の目視による高さ測定では、ピントが合っているように見えても僅かな誤差が生じます。フォーカスナビゲータは指標を合わせる測定をするので、オペレータによる測定結果のバラツキを抑えることができます。STM7はプリズムによる上下の像がズレる方式ではなく投影された指標のみがズレるので、見やすくピント合わせが容易です。

より高速で正確な高さ測定に貢献するオートフォーカスユニット

従来のお困り事

目視による測定では、高さ測定の結果がオペレータによってバラつく
マニュアルでの高さ測定では「ステージを動かしハンドルでピントを合わせる」の繰り返し作業が必要。測定時間が掛かり非効率
ボンディング用ワイヤのように微細な対象物の場合、ピント合わせが難しい

STM7が解決します

オートフォーカスユニットを使用する事で、誰が測定しても精度が高い値が得られます
常に自動でピントを合わせてくれるTRACKモードを選択すれば、短時間で効率的な高さ測定を実現します。またXY測定の際もピント合わせが不要になるので効率的に作業ができます
100×対物レンズ使用時でのレーザーのスポット径がø1μmと小さいため、極めて微細なものに局所的にオートフォーカスすることができます

再現性、合焦スピードに優れた専用オートフォーカスユニット

STM7専用オートフォーカスユニットの開発により、オペレータの経験に関わらず、短時間で高精度な高さ測定が可能になります。反射アクティブﾞ・共焦点方式は、サンプルの傾き・表面の粗さ等に対しても安定した合焦が得られます。レーザーのスポットが小さいので、ボンディングワイヤのような極めて微細なものや微小領域に局所的にオートフォーカスすることができます。

ワンショットモード

ラフなピント状態からオートフォーカス実行で視野中心に瞬時にピントを合わせます。

TRACK（追従）モード

ステージを動かしてもサンプルの凹凸にオートフォーカスが自動で追従し、ピントの合った状態を常にキープするTRACK（追従）モードを搭載。X・Yハンドルから手を離さずに観察できるなど、Ｚ軸測定の効率を大幅に向上させます。大きい段差などで追従の捕捉範囲を超えても、手でピントを捕捉範囲内に戻せば、再び自動でピント合わせを開始します。

測定支援システム

複雑な形状の測定もより正確に、より高速に、より簡単に

測定支援システム測定顕微鏡のアウトプットを表示する部分だからこそ、より見やすく、より使いやすく。より高精度、より複雑な測定をサポートする測定支援ソフトウェアSTM7-BSWとSTM-ASW-ME、そしてデジタルカメラを用意しました。測定支援システムについてさらに詳しく

測定支援システム

測定顕微鏡のアウトプットを表示する部分だからこそ、より見やすく、より使いやすく。より高精度、より複雑な測定をサポートする測定支援ソフトウェアSTM7-BSWとSTM-ASW-ME、そしてデジタルカメラを用意しました。

測定支援システムについてさらに詳しく

観察・測定の幅を広げるアクセサリ

コード機能付きレボルバ対物レンズの倍率に連動してキャリブレーション値の読み出しや明るさ調整が可能です。明視野対物レンズ専用と明暗視野対物レンズ専用の2種類をご用意しています。

コード機能付きレボルバ

対物レンズの倍率に連動してキャリブレーション値の読み出しや明るさ調整が可能です。明視野対物レンズ専用と明暗視野対物レンズ専用の2種類をご用意しています。

	STM7-FS/フットスイッチハンドフリーでデータ転送を行えます。

STM7-FS/フットスイッチ

ハンドフリーでデータ転送を行えます。

SZ-LW61/白色LED照明ユニットチラツキや明るさの変動が無く長寿命・省電力・小型軽量、コストパフォーマンスの高い白色LED光源ユニット。

SZ-LW61/白色LED照明ユニット

チラツキや明るさの変動が無く長寿命・省電力・小型軽量、コストパフォーマンスの高い白色LED光源ユニット。

	SZX2-ILR66+SZX-RHS/4分割LED照明装置高い色温度でクリアな画像を提供する落射 LEDリング照明（SZX2-ILR66）を、4分割に独立して点灯可能。13パターンから、最適な照明を選ぶことができます。

SZX2-ILR66+SZX-RHS/4分割LED照明装置

高い色温度でクリアな画像を提供する落射 LEDリング照明（SZX2-ILR66）を、4分割に独立して点灯可能。13パターンから、最適な照明を選ぶことができます。

回転ステージ微動回転つまみによりサンプルの平行出しを正確に行なえます。	_STM7-RS100 ^{(STM7-CS100用)}	_STM7-RS200 ^{(STM7-CS200用)}	_STM7-RS300 ^{(STM7-CS300用)}

回転ステージ

微動回転つまみによりサンプルの平行出しを正確に行なえます。

STM7-RS100 (STM7-CS100用)

_STM7-RS100
^{(STM7-CS100用)}

STM7-RS200 (STM7-CS200用)

_STM7-RS200
^{(STM7-CS200用)}

STM7-RS300 (STM7-CS300用)

_STM7-RS300
^{(STM7-CS300用)}

仕様

STM7仕様（手動モデル）

			手動モデル
			小型ステージ	中型ステージ	大型ステージ
顕微鏡本体			STM7-SF	STM7-MF	STM7-LF
	フォーカス	上下動範囲	175mm		145mm
		観察可能最大高さ	測定対物：120mm 金属対物：175mm		測定対物：90mm 金属対物：145mm ^*1
		Z軸測定分解能	0.1um
		Z軸駆動方式	手動粗微動共軸ハンドル
	照明	LED照明	白色：落射用緑色：透過用
鏡筒			MM6-ETR-1-5 正立三眼鏡筒（100：0/0：100）
接眼レンズ（視野数22）			MM6-OCC10X（クロス入り）、MM6-OC10X
対物レンズ	明視野用		MM6C-KMAS 照明系
			U-5RES-ESD レボルバ
			MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X 金属対物レンズ
	明暗視野用		MM6C-RLAS 照明系
			U-5BDRES-ESD レボルバ
			LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD 金属対物レンズ
LEDユニット	白色（落射用）		MM6-ILW
	緑色（透過用）		MM6-ILG
ステージ			STM7-CS100	STM7-CS200	STM7-CS300
	測定範囲		X軸 100mm、Y軸 100mm	X軸 200mm、Y軸 200mm	X軸 300mm、Y軸 300mm
	測定精度		(3+2L/100) μm	(3+4L/200) μm	(3+6L/300) μm
	最大積載可能質量		6kg	10kg	15kg
カウンタ			STM7-DI
	軸数		3軸
	単位		μm / mm / inch / mil
	最小分解能		0.1um
	コントロールボックス		STM7-CB
	ハンドスイッチ		STM7-HS
	電動オペレーションユニット		－
	STM7-MCZ接続ケーブル		－
受台			－	STM7-VI
電源ケーブル			UYCP
外形寸法（W × D × H）mm			466 x 583 x 651	606 x 762 x 651	804 x 1024 x 686
質量（kg）			約84kg	約152kg	約277kg
定格			100-120/220-240V - 50/60Hz 0.3A/0.2A	100-120/220-240V - 50/60Hz 0.3A/0.2A	100-120/220-240V - 50/60Hz 0.3A/0.2A

_{*1 大型本体STM7-LF/STM7-LFA使用時、光軸から180mm以上奥まった位置では高さ100mm以下の測定物が搭載可能}

対物レンズ作動距離

対物レンズ			1 x	3 x	5 x	10 x	20 x	50 x	100 x
測定対物レンズ	MM6-OBシリーズ		59.6	76.8	65.4	50.5	－	－	－
金属対物レンズ	MPLFLNシリーズ	明視野	－	－	20.0	11.0	3.1	1.0	1.0
	LMPLFLNシリーズ	長作動距	－	－	22.5	21.0	12.0	10.6	3.4
	MPLFLN-BDシリーズ	明暗視野	－	－	12.0	6.5	3.0	1.0	1.0
	LMPLFLN-BDシリーズ	明暗視野、長作動距離	－	－	15.0	10.0	12.0	10.6	3.3

測定支援システム仕様

コントローラ	オペレーティングシステム	Microsoft Windows 10 Pro（64bit）
	ソフトウェア	測定支援ソフトウェア STM7-BSW （貼合わせ・拡張焦点オプションソフトウェア STM7-ASW-ME）
	動作確認済みアプリケーション	Microsoft Office 2010/2013/2016（32bit）
モニタ		WUXGA（1980 x 1080）LCDモニタ
対応カメラ	型式	DP27	DP22	STM7-CU
	撮像素子	2/3 型カラーCCD	1/1.8 型カラーCCD	1/2型カラー CMOS
	画像サイズ	1920 x 960 / 2448 x 1920	960 x 720 / 1920 x 1440	1024 x 768 / 2048 x 1536
	フレームレート	30fps（1920 x 960） 15fps（2448 x 1920）	25fps	11.2fps（最大）
	インターフェイス	USB3.0	USB3.0	USB2.0
	カメラヘッド質量	約160g	約160g	約41g

_{* Microsoft Office 2010/2013/2016 は別途ご用意ください。}

STM7仕様（電動モデル）

			電動モデル
			中型ステージ	大型ステージ
顕微鏡本体			STM7-MFA	STM7-LFA
	フォーカス	上下動範囲	175mm	145mm
		観察可能最大高さ	測定対物：120mm 金属対物：175mm	測定対物：90mm 金属対物：145mm ^*1
		Z軸測定分解能	0.1um
		Z軸駆動方式	モータ駆動による電動 FOCUSボタン：移動スピード8mm/sec（MAX）粗微動ハンドル： 1回転当たりの移動量（目安）を4段階で選択可能 800μm、400μm、100μm、50μm
	照明	LED照明	白色：落射用緑色：透過用
鏡筒			MM6-OCC10X（クロス入り）、MM6-OC10X
接眼レンズ（視野数22）			MM6-OCC10X（クロス入り）、MM6-OC10X
対物レンズ	明視野用		MM6C-KMAS 照明系
			U-5RES-ESD レボルバ
			MPLFL5X,10X、LMPLFLN20X、50X、100X 金属対物レンズ
	明暗視野用		MM6C-RLAS 照明系
			U-5BDRES-ESD レボルバ
			LMPLFLN5XBD、10XBD,20XBD、50XBD、100XBD 金属対物レンズ
LEDユニット	白色（落射用）		MM6-ILW
	緑色（透過用）		MM6-ILG
ステージ			STM7-CS200	STM7-CS300
	測定範囲		X軸 200mm、Y軸 200mm	X軸 300mm、Y軸 300mm
	測定精度		(3+4L/200) μm	(3+6L/300) μm
	最大積載可能質量		10kg	15kg
カウンタ			STM7-DI
	軸数		3軸
	単位		μm / mm / inch / mil
	最小分解能		0.1um
	コントロールボックス		STM7-CBA
	ハンドスイッチ		－
	電動オペレーションユニット		STM7-MCZ
	STM7-MCZ接続ケーブル		U-IFCBL200	U-IFCBL200
受台			STM7-VI
電源ケーブル			UYCP
外形寸法（W × D × H）mm			606 x 762 x 811	804 x 1024 x 844
質量（kg）			159kg	284kg
定格			00-120/220-240V 50/60Hz 0.6A/0.35A	100-120/220-240V 50/60Hz 0.6A/0.35A

_{*1 大型本体STM7-LF/STM7-LFA使用時、光軸から180mm以上奥まった位置では高さ100mm以下の測定物が搭載可能}

オプション

対物レンズ	測定対物	MM6-OBシリーズ（1 x/3 x/5 x /10 x）
フォーカスナビゲータ	フォーカスナビゲータ	STM7-FN
フォーカスナビゲータ	緑色LEDユニット	MM6-ILG
オートフォーカス	オートフォーカス	STM7-AF
DIC/微分干渉	DIC/落射用微分干渉スライダ	U-DICR
ソフトウェア/カメラ	測定支援ソフトウェア	STM7-BSW
カメラ	デジタルカメラ Low	STM7-CU
	デジタルカメラ Middle	DP22-CU
	デジタルカメラ High	DP29-CU
TVアダプタ	Cマウントアダプタ 0.5X	U-TV0.5XC-3-8
TVアダプタ	Cマウントアダプタ 0.35X	U-TV0.35XC-2-7
回転ステージ	100 x 100mm用	STM7-RS100
	200 x 200mm用	STM7-RS200
	300 x 300mm用	STM7-RS300
NDフィルタ	NDフィルタ（透過率6%）	U-25ND6
NDフィルタ	NDフィルタ（透過率25%）	U-ND25
DIC/微分干渉	DIC/落射用微分干渉ポラライザ	U-PO3
DIC/微分干渉	DIC/微分干渉回転アナライザ	U-AN360-3
ソフトウェア	貼合わせ・拡張焦点ソフトウェア	STM7-ASW-ME
フットスイッチ		STM7-FS
電源ユニット		MM6-ILPS-2
対物ミクロメータ		OB-M/OB-MM