概要
目的に合わせてフィットする
|
|
|---|
顕微鏡としての観察性能最先端の光学顕微鏡に搭載されるUIS2無限遠補正光学系を採用。高解像・高コントラスト、収差を徹底的に排除した観察像が微細で高精度な測定をサポートします。 |
|---|
STM7-LF FEM解析 | 測定値の信頼性を高める石定盤ベースの台座ステージには測定精度を追究した、石定盤ベースの高剛性・高耐震性台座を採用しました。重量のある安定したフレームボディが、誤差の少ないサブミクロンの高精度測定を実現しています。 |
|---|
使い易く高精度な3軸測定を提供モノづくりの微細化・精密化が進むなか、XYの平面測定にとどまらず、高精度なZ測定が必要とされています。測定顕微鏡のために追従式によるオートフォーカスを実現したオリンパスは、高さ測定のパイオニアとして、その性能にさらに磨きをかけています。 |  |
|---|
| 国際規格のトレーサビリティ体系オリンパスの測定顕微鏡は厳格なトレーサビリティーの基に精度管理されています。設置場所での校正についても、オリンパスがサポートいたします。 オリンパスではILAC-MRA校正認定機関（JCSS、JAB）から認証された校正証明書を発行しています。 |
|---|
推奨組み合わせ
全機種0.1um読みの３軸測定に対応した
|
| 手動モデル | 電動モデル | |||||||
STM7-SF | STM7-MF | STM7-LF | STM7-MFA | STM7-LFA | ||||
 |  |  |  |  | ||||
STM7-CS100 | STM7-CS200 | STM7-CS300 | STM7-CS200 | STM7-CS300 | ||||
 |  |  | | | ||||
全モデルの仕様比較表をみる
| STM7-SF | STM7-MF | STM7-LF | STM7-MFA | STM7-LFA | |
| Z軸駆動方式 | 手動 | 手動 | 電動 | ||
| 標準 |  | | | ||
| オプション |  | | | ||
| 測定対物レンズ 明視野 |  | | | ||
| フォーカスナビゲーター STM7-FN | | | | ||
| オートフォーカス STM7-AF | － | － | | ||
| 測定支援ソフトウェア STM7-BSW | | | | ||
| 測定支援ソフトウェア （貼合わせ・拡張焦点） STM7-ASW-ME | | | | ||
観察方法
BF: 明視野
DF: 暗視野
DIC: 微分干渉
POL: 偏光
: オプション
対応・操作性
サンプルにフィットするステージ |
従来のお困り事
| STM7が解決します
|
最大測長ストローク300mm x 300mmユニークな正方形ストロークのステージを3タイプ用意しました。小型から大型サンプルまで、大きさに合わせて選択できます。 |
STM7-CS100 |
STM7-CS200 |
STM7-CS300 |
一台の顕微鏡で測定対物レンズ、金属対物レンズに対応 |
従来のお困り事
| STM7が解決します
|
測定対物レンズサンプルと対物レンズの接触を気にせずに、凹凸の大きいサンプルも安心してピント合わせができる作動距離が極めて長い対物レンズです。倍率が低いので、一度に広い範囲を観察することができます。 |
|
|
|---|
明視野画像 |
暗視野画像 | 金属対物レンズ光学顕微鏡と同様の高倍率・高解像度観察が可能になります。明視野のほかに暗視野、微分干渉、偏光観察に対応できます。 |
|---|
操作性を大きく向上させる革新的なオペレーションユニット |
従来のお困り事
| STM7が解決します
|
オペレーションユニットSTM7は様々な機能を追加しても、１つのオペレーションユニットで、カウンタリセット、調光、焦準、AFなど測定顕微鏡のほとんどの操作が可能になります。自由に配置して片手で快適に操作してください。 |
手動操作用ハンドスイッチ：STM7-HS |
電動操作用コントローラ：STM7-MCZ |
|---|
コントロールユニット各ユニットの電源、通信を1台のコントロールボックスに集約できます。フォーカスナビゲータなど様々なオプション機能を追加しても広い作業空間を確保できます。 |
Z軸は手動タイプと電動タイプをラインアップピント合わせのための上下動操作は、手動タイプと電動タイプが用意されています。ステージサイズに左右されることなく、サンプルや測定内容に応じて好みのモデルを選択できます。すべてのフレームにZ軸のリニアスケールが内蔵され、3軸測定に対応します。 |
手動Z軸タイプコストパフォーマンスに優れたスタンダードタイプ。使い慣れたハンドル操作で、スピーディに上下動作を行うことができます。様々な高さのサンプルを測定するユーザーに向いています。 |
電動Z軸タイプ手元のオペレーションユニットでピント合わせや高さ測定が行えるため、操作性が大幅に向上し、作業時の疲労も大幅に軽減されます。手動同様の粗微動ハンドルにより、使い慣れた感触で操作ができます。 電動Z軸タイプはオートフォーカスユニットの搭載が可能です。 |
観察・測定の効率性を大きく向上する ライトマネージャー |
従来のお困り事
| STM7が解決します
|
明るさを定量的に把握できるデジタル表示STM7は、測定値のバラツキに繋がる照明の明るさをデジタルに表示します。明るさを定量的に把握することができるので、常に同じ照明条件で観察することが可能です。 |
|
|---|
5x 明るさ50 |
20x 明るさ70 |
100x 明るさ120 | 対物切換時の明るさ調整不要コードレボルバとの組合せではライトマネージャーが使用できます。対物レンズ毎に照明の方法と明るさを登録でき、測定時は対物レンズの切り換えに連動して自動的に照明方法・明るさが調整されます。倍率を切り換える度に行っていた明るさ調整をする必要がなくなります。 |
|---|
使いやすい位置にカウンタを配置して、測定結果や装置の状態を素早くチェック |
従来のお困り事
| STM7が解決します
|
現在の設定状態が一目で確認できるカウンタカウンタには装置の状態を示すインジゲータが付属しているので、現在の装置の設定状態を簡単に認識することができます。 0.1μm/1μmの最少表示桁数の切り換えやmm、μm、inch、milの表示単位切り換えが行えます。 |
本体取付時 |
|---|
机上配置時 | カウンタは取り外して自由に配置可能カウンタは本体に設置することも、机上に配置することもでき、状況に応じて自由な配置が可能になりました。立ったまま測定する場合は本体側面の観察位置とほぼ同じ高さの見やすい位置にカウンタを配置。デジタルカメラを介したモニタ上での観察・測定を行う場合や、Z電動モデルを使用する場合は、カウンタやオペレーションユニットを机上において、椅子に座りながら作業することができます。 |
|---|
高さ測定
目視での高さ測定を素早く、シンプルに、より正確に行えるフォーカスナビゲータ |
従来のお困り事
| STM7が解決します
|
再現性に優れたシンプルで精確なフォーカスシステム視野内にパターンを投影し、上下パターンのズレを合わせることで、繰り返し性の良い高さ測定が可能になります。通常の目視による高さ測定では、ピントが合っているように見えても僅かな誤差が生じます。フォーカスナビゲータは指標を合わせる測定をするので、オペレータによる測定結果のバラツキを抑えることができます。STM7はプリズムによる上下の像がズレる方式ではなく投影された指標のみがズレるので、見やすくピント合わせが容易です。 |  |
|---|
より高速で正確な高さ測定に貢献するオートフォーカスユニット |
従来のお困り事
| STM7が解決します
|
再現性、合焦スピードに優れた 専用オートフォーカスユニットSTM7専用オートフォーカスユニットの開発により、オペレータの経験に関わらず、短時間で高精度な高さ測定が可能になります。反射アクティブﾞ・共焦点方式は、サンプルの傾き・表面の粗さ等に対しても安定した合焦が得られます。レーザーのスポットが小さいので、ボンディングワイヤのような極めて微細なものや微小領域に局所的にオートフォーカスすることができます。 |
ワンショットモードラフなピント状態からオートフォーカス実行で視野中心に瞬時にピントを合わせます。 |
TRACK（追従）モードステージを動かしてもサンプルの凹凸にオートフォーカスが自動で追従し、ピントの合った状態を常にキープするTRACK（追従）モードを搭載。X・Yハンドルから手を離さずに観察できるなど、Ｚ軸測定の効率を大幅に向上させます。大きい段差などで追従の捕捉範囲を超えても、手でピントを捕捉範囲内に戻せば、再び自動でピント合わせを開始します。 |
測定支援システム
複雑な形状の測定もより正確に、より高速に、より簡単に |
測定支援システム測定顕微鏡のアウトプットを表示する部分だからこそ、より見やすく、より使いやすく。より高精度、より複雑な測定をサポートする測定支援ソフトウェアSTM7-BSWとSTM-ASW-ME、そしてデジタルカメラを用意しました。 |  |
|---|
観察・測定の幅を広げるアクセサリ |
コード機能付きレボルバ対物レンズの倍率に連動してキャリブレーション値の読み出しや明るさ調整が可能です。明視野対物レンズ専用と明暗視野対物レンズ専 用の2種類をご用意しています。 |  |
|---|
|
| STM7-FS/フットスイッチハンドフリーでデータ転送を行えます。 |
|---|
SZ-LW61/白色LED照明ユニットチラツキや明るさの変動が無く長寿命・省電 力・小型軽量、コストパフォーマンスの高い白色LED光源ユニット。 |  |
|---|
 | SZX2-ILR66+SZX-RHS/4分割LED照明装置高い色温度でクリアな画像を提供する落射 LEDリング照明（SZX2-ILR66）を、4分割に独立して点灯可能。13パターンから、最適な照明を選ぶことができます。 |
|---|
回転ステージ微動回転つまみによりサンプルの平行出しを正確に行なえます。 |
STM7-RS100 |
STM7-RS200 |
STM7-RS300 |
|---|
仕様
STM7仕様（手動モデル） |
| 手動モデル | |||||
| 小型ステージ | 中型ステージ | 大型ステージ | |||
| 顕微鏡本体 | STM7-SF | STM7-MF | STM7-LF | ||
| フォーカス | 上下動範囲 | 175mm | 145mm | ||
| 観察可能最大高さ |
測定対物：120mm
金属対物：175mm |
測定対物：90mm
金属対物：145mm *1 | |||
| Z軸測定分解能 | 0.1um | ||||
| Z軸駆動方式 | 手動粗微動共軸ハンドル | ||||
| 照明 | LED照明 | 白色：落射用 緑色：透過用 | |||
| 鏡筒 |
MM6-ETR-1-5
正立三眼鏡筒（100：0/0：100） | ||||
| 接眼レンズ（視野数22） | MM6-OCC10X（クロス入り）、MM6-OC10X | ||||
| 対物レンズ | 明視野用 |
MM6C-KMAS
照明系 | |||
|
U-5RES-ESD
レボルバ | |||||
|
MPLFL5X、10X、LMPLFLN20X、50X、100X
金属対物レンズ | |||||
| 明暗視野用 |
MM6C-RLAS
照明系 | ||||
|
U-5BDRES-ESD
レボルバ | |||||
|
LMPLFLN5XBD、10XBD、20XBD、50XBD、100XBD
金属対物レンズ | |||||
| LEDユニット | 白色（落射用） | MM6-ILW | |||
| 緑色（透過用） | MM6-ILG | ||||
| ステージ | STM7-CS100 | STM7-CS200 | STM7-CS300 | ||
| 測定範囲 | X軸 100mm、Y軸 100mm | X軸 200mm、Y軸 200mm | X軸 300mm、Y軸 300mm | ||
| 測定精度 | (3+2L/100) μm | (3+4L/200) μm | (3+6L/300) μm | ||
| 最大積載可能質量 | 6kg | 10kg | 15kg | ||
| カウンタ | STM7-DI | ||||
| 軸数 | 3軸 | ||||
| 単位 | μm / mm / inch / mil | ||||
| 最小分解能 | 0.1um | ||||
| コントロールボックス | STM7-CB | ||||
| ハンドスイッチ | STM7-HS | ||||
| 電動オペレーションユニット | － | ||||
| STM7-MCZ接続ケーブル | － | ||||
| 受台 | － | STM7-VI | |||
| 電源ケーブル | UYCP | ||||
| 外形寸法（W × D × H）mm | 466 x 583 x 651 | 606 x 762 x 651 | 804 x 1024 x 686 | ||
| 質量（kg） | 約84kg | 約152kg | 約277kg | ||
| 定格 |
100-120/220-240V - 50/60Hz
0.3A/0.2A |
100-120/220-240V - 50/60Hz
0.3A/0.2A |
100-120/220-240V - 50/60Hz
0.3A/0.2A | ||
*1 大型本体STM7-LF/STM7-LFA使用時、光軸から180mm以上奥まった位置では高さ100mm以下の測定物が搭載可能
対物レンズ作動距離
| 対物レンズ | 1 x | 3 x | 5 x | 10 x | 20 x | 50 x | 100 x | ||
| 測定対物レンズ | MM6-OBシリーズ | 59.6 | 76.8 | 65.4 | 50.5 | － | － | － | |
| 金属対物レンズ | MPLFLNシリーズ | 明視野 | － | － | 20.0 | 11.0 | 3.1 | 1.0 | 1.0 |
| LMPLFLNシリーズ | 長作動距 | － | － | 22.5 | 21.0 | 12.0 | 10.6 | 3.4 | |
| MPLFLN-BDシリーズ | 明暗視野 | － | － | 12.0 | 6.5 | 3.0 | 1.0 | 1.0 | |
| LMPLFLN-BDシリーズ | 明暗視野、長作動距離 | － | － | 15.0 | 10.0 | 12.0 | 10.6 | 3.3 | |
測定支援システム仕様
| コントローラ | オペレーティングシステム | Microsoft Windows 10 Pro（64bit） | ||
| ソフトウェア |
測定支援ソフトウェア STM7-BSW
（貼合わせ・拡張焦点オプションソフトウェア STM7-ASW-ME） | |||
| 動作確認済みアプリケーション | Microsoft Office 2010/2013/2016（32bit） | |||
| モニタ | WUXGA（1980 x 1080）LCDモニタ | |||
| 対応カメラ | 型式 | DP27 | DP22 | STM7-CU |
| 撮像素子 | 2/3 型カラーCCD | 1/1.8 型カラーCCD | 1/2型カラー CMOS | |
| 画像サイズ | 1920 x 960 / 2448 x 1920 | 960 x 720 / 1920 x 1440 | 1024 x 768 / 2048 x 1536 | |
| フレームレート |
30fps（1920 x 960）
15fps（2448 x 1920） | 25fps | 11.2fps（最大） | |
| インターフェイス | USB3.0 | USB3.0 | USB2.0 | |
| カメラヘッド質量 | 約160g | 約160g | 約41g | |
* Microsoft Office 2010/2013/2016 は別途ご用意ください。
STM7仕様（電動モデル） |
| 電動モデル | ||||
| 中型ステージ | 大型ステージ | |||
| 顕微鏡本体 | STM7-MFA | STM7-LFA | ||
| フォーカス | 上下動範囲 | 175mm | 145mm | |
| 観察可能最大高さ |
測定対物：120mm
金属対物：175mm |
測定対物：90mm
金属対物：145mm *1 | ||
| Z軸測定分解能 | 0.1um | |||
| Z軸駆動方式 |
モータ駆動による電動
| |||
| 照明 | LED照明 | 白色：落射用 緑色：透過用 | ||
| 鏡筒 | MM6-OCC10X（クロス入り）、MM6-OC10X | |||
| 接眼レンズ（視野数22） | MM6-OCC10X（クロス入り）、MM6-OC10X | |||
| 対物レンズ | 明視野用 |
MM6C-KMAS
照明系 | ||
|
U-5RES-ESD
レボルバ | ||||
|
MPLFL5X,10X、LMPLFLN20X、50X、100X
金属対物レンズ | ||||
| 明暗視野用 |
MM6C-RLAS
照明系 | |||
|
U-5BDRES-ESD
レボルバ | ||||
|
LMPLFLN5XBD、10XBD,20XBD、50XBD、100XBD
金属対物レンズ | ||||
| LEDユニット | 白色（落射用） | MM6-ILW | ||
| 緑色（透過用） | MM6-ILG | |||
| ステージ | STM7-CS200 | STM7-CS300 | ||
| 測定範囲 | X軸 200mm、Y軸 200mm | X軸 300mm、Y軸 300mm | ||
| 測定精度 | (3+4L/200) μm | (3+6L/300) μm | ||
| 最大積載可能質量 | 10kg | 15kg | ||
| カウンタ | STM7-DI | |||
| 軸数 | 3軸 | |||
| 単位 | μm / mm / inch / mil | |||
| 最小分解能 | 0.1um | |||
| コントロールボックス | STM7-CBA | |||
| ハンドスイッチ | － | |||
| 電動オペレーションユニット | STM7-MCZ | |||
| STM7-MCZ接続ケーブル | U-IFCBL200 | U-IFCBL200 | ||
| 受台 | STM7-VI | |||
| 電源ケーブル | UYCP | |||
| 外形寸法（W × D × H）mm | 606 x 762 x 811 | 804 x 1024 x 844 | ||
| 質量（kg） | 159kg | 284kg | ||
| 定格 | 00-120/220-240V 50/60Hz 0.6A/0.35A | 100-120/220-240V 50/60Hz 0.6A/0.35A | ||
*1 大型本体STM7-LF/STM7-LFA使用時、光軸から180mm以上奥まった位置では高さ100mm以下の測定物が搭載可能
オプション
| 対物レンズ | 測定対物 | MM6-OBシリーズ（1 x/3 x/5 x /10 x） |
| フォーカスナビゲータ | フォーカスナビゲータ | STM7-FN |
| 緑色LEDユニット | MM6-ILG | |
| オートフォーカス | オートフォーカス | STM7-AF |
| DIC/微分干渉 | DIC/落射用微分干渉スライダ | U-DICR |
| ソフトウェア/カメラ | 測定支援ソフトウェア | STM7-BSW |
| カメラ | デジタルカメラ Low | STM7-CU |
| デジタルカメラ Middle | DP22-CU | |
| デジタルカメラ High | DP29-CU | |
| TVアダプタ | Cマウントアダプタ 0.5X | U-TV0.5XC-3-8 |
| Cマウントアダプタ 0.35X | U-TV0.35XC-2-7 | |
| 回転ステージ | 100 x 100mm用 | STM7-RS100 |
| 200 x 200mm用 | STM7-RS200 | |
| 300 x 300mm用 | STM7-RS300 | |
| NDフィルタ | NDフィルタ（透過率6%） | U-25ND6 |
| NDフィルタ（透過率25%） | U-ND25 | |
| DIC/微分干渉 | DIC/落射用微分干渉ポラライザ | U-PO3 |
| DIC/微分干渉回転アナライザ | U-AN360-3 | |
| ソフトウェア | 貼合わせ・拡張焦点ソフトウェア | STM7-ASW-ME |
| フットスイッチ | STM7-FS | |
| 電源ユニット | MM6-ILPS-2 | |
| 対物ミクロメータ | OB-M/OB-MM | |
カタログ･ビデオ･その他資料
アプリケーションノートソリューション |
