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Servicebereich

Präzise Bildgebung

Hochauflösende, präzise Bildgebung

Dank der genauen 3D-Messungen an einer Vielzahl von Probentypen liefert das System zuverlässige Daten für die Qualitätssicherung und Prozesskontrolle.


Hervorragende laterale Auflösung

Hervorragende laterale Auflösung

Der violette 405-nm-Laser und Spezialobjektive mit hoher NA ermöglichen die Aufnahme feiner Muster und Defekte, die mit herkömmlichen Lichtmikroskopen, Weißlichtinterferometern oder mit roten Lasern arbeitenden Mikroskopen nicht aufgelöst werden können.

Roter Laser

Violetter Laser

Roter Laser (658 nm: 0,26 μm Line & Space)

Violetter Laser (405 nm: 0,12 μm Line & Space)


Einheitliche Messwerte

LEXT Spezialobjektive können Randbereiche, die sonst verzerrt würden, genau messen.

Einheitliche Messwerte


Konventionelle Objektive

Konventionelle Objektive


LEXT Objektive

LEXT Objektive


Neu entwickelter MEMS-Scanner

Neu entwickelter MEMS-Scanner

Der neue MEMS Scanner liefert genaue X-Y-Scans mit geringer Spiegeltorsion und minimaler optischer Aberration.


4K-Scantechnologie

4K-Scantechnologie

Mit der 4K-Scantechnologie werden 4096 Pixel in X-Richtung erfasst – viermal mehr als mit unserem Vorgängermodell.
Das OLS5000 Mikroskop erkennt nahezu senkrechte Steigungen und sehr niedrige Stufen ohne Bildkorrektur. 


Erfassen der tatsächlichen Form

Erfassen der tatsächlichen Form

Da herkömmliche Lasermikroskope auf der Grundlage von Standard-Bildverarbeitungsverfahren arbeiten, z. B. Glättung zur Entfernung von Rauschen, gehen manchmal korrekt gemessene feine Höhenunterschiede zusammen mit dem Entfernen des Rauschens verloren.
Das OLS5000 nutzt den Olympus Smart Judge Algorithmus, der automatisch nur die verlässlichen Daten detektiert und auf diese Weise genaue Messungen ohne den Verlust von Daten zu Höhenunregelmäßigkeiten ermöglicht. 


Weitere hochauflösende Messtechnologien

  • PEAK-Algorithmus
  • Duales Konfokalsystem
  • Garantie bezüglich des Messrauschens (Sq noise)
  • Garantierte Genauigkeit und Wiederholbarkeit
  • Hybrid-Matching-Algorithmus
  • Hybrides Schwingungsdämpfungssystem
  • HDR-Scan

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Die Informationen auf dieser Seite, einschließlich der Genauigkeitsgarantie, basieren auf den von Olympus festgelegten Bedingungen.

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