精确成像

405纳米紫色激光和专用高数值孔径物镜可以捕捉到传统光学显微镜、白光干涉仪或红色激光显微镜难以发现的精细纹理和缺陷。

红光型（658纳米：0.26微米空间)

微米紫光型（405纳米：0.12线和空间)

LEXT专用物镜可精确测量采用其他方式测量会发生畸变的周边区域。

传统物镜

LEXT物镜

新的MEMS扫描振镜具有较低的扫描轨迹失真和较小的光学像差，可进行精确的X-Y扫描。

4K扫描技术可在X轴方向扫描4096像素，是奥林巴斯以前显微镜型号的四倍。
OLS5000显微镜可在无需进行图像校正的情况下检测几乎垂直的陡峭斜面以及很低的台阶。

由于传统激光显微镜采用诸如平滑消除噪声等标准图像处理技术，其有时会将精确测得的细微高度不规则测量数据连同噪声一起消除。
OLS5000显微镜采用奥林巴斯自动检测可靠数据的智能判别算法，可在不丢失细微高度不规则测量数据的情况下实现精确测量。

• MEMS扫描PEAK算法
• 双共焦系统
• Sq噪声（测量噪声）保证
• 准确性和重复性均可保证
• 混合匹配算法
• 混合阻尼机构
• HDR扫描