工業用顕微鏡

レビュー

粒子と分類テーブル、全体のCCC (Component Cleanliness Code) コード、粒子の位置、使用されている規格が 1つのビューに表示されます。

CIX100でスキャンしたサンプルはデータに自動保存され検出したコンタミネーションをライブラリ表示、結果のレビューを行うができます。また、同じサンプルを別の工業規格で評価したい場合は、画面上で規格を変更するだけで結果出力が可能です。

• ライブラリから検出したコンタミネーションが選択可能
• 規格で決められた粒子サイズのランク別に一覧表示可能
• 選択した粒子解析は高さ測定などで詳細解析が可能

例えば反射する粒子や反射しない粒子など、あらゆる種類の粒子を大きい順に並べて表示します。

検査処理で取得した各粒子の画像を選択するだけで、高さ計測結果が分かる自動計測モードやフィルターの基準面からフォーカス移動を行い粒子のピント位置を指定するマニュアル計測モードでも計測可能です。

粒子の位置、サムネイル、データが相互にリンクしているため、さまざまな角度からアプローチできます。

検査データを基に統計管理を行うことで分析結果の傾向把握ができます。

任意の粒子の画像を撮影することができ、画面内で簡易計測ができます。

あらゆる種類の粒子（反射粒子や非反射粒子）を大きい順に並べて、画像を表示できます。

コンタミネーションのサムネイル画像は、それぞれの位置や寸法にリンクしているため便利です。サムネイルを選択すると、自動的にそのコンタミネーションに飛ぶことができます。

選択した規格に応じて、クラス分類と粒子の表に結果が一覧表示されます。

選択した規格と粒子データに応じて、クラス分類と粒子の表に結果がそれぞれ一覧表示されます。

選択した規格に準拠してライブで計算され、全体のコンタミネーション解析結果が表示されます。
必要に応じて、粒子タイプを限定することができます。

結果はマウスをクリックするだけで、あらゆる規格に合わせて再計算できます。

オペレーターは自分の検査データを簡単に編集できます。削除、分割、統合などのパワフルなソフトウェアツールにより、簡単にデータの編集ができます。

検査処理で取得した各粒子の画像を選択するだけで、高さ計測結果が分かる自動計測モードやフィルターの基準面からフォーカス移動を行い粒子のピント位置を指定するマニュアル計測モードでも計測可能です。