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産業ソリューション
工業用顕微鏡

USPM-RU III

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USPM-RUIII 反射率測定機 カタログ
ホーム/ 製品情報 / 顕微分光測定機/ USPM-RU III
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概要

曲面、微小エリアの分光反射率測定を実現!

これまでの分光測定機では測定できないレンズや微小な電子部品、薄肉試料も裏面反射光の影響を受けずに高速、高精度な分光反射率測定が可能です。

測定イメージ
測定イメージ

曲面・微小領域の反射率測定が可能

対物レンズで試料面に微小スポット(ø60μm)を結ぶため、微細部品のレンズ曲面及びコーティングむらも測定可能です。


裏面反射光カットの原理
裏面反射光カットの原理

裏面からの反射光をカット

特殊光学系の採用により、裏面反射光をカット。
裏面の反射防止処理等を行うことなく、表面のみの反射率を正確に測定できます。


高速測定

フラットフィールドグレーティング及びラインセンサを用いて、同時に全波長を分光することで高速測定を実現。


XY色度図
XY色度図

物体色測定機能

分光反射率から分光測色法に基づき物体色測定ができます。
(XY色度図、L*a*b*色度図)


ソフトウェア

反射率グラフイメージ
反射率グラフイメージ
反射率テキストデータイメージ
反射率テキストデータイメージ

仕様

反射率測定機 USPM-RU III:仕様

測定波長 380nm〜780nm
測定方法 リファレンス試料に対する比較測定
試料側N.A. 0.12(10×対物レンズ使用時)
0.24(20×対物レンズ使用時)
* 対物レンズのN.A.とは異なります。
試料側W.D. 10.1mm(10×対物レンズ使用時)
3.1mm(20×対物レンズ使用時)
試料の曲率半径 -1R 〜-∞、+1R〜∞
試料の測定範囲 約ø60μm(10×対物レンズ使用時)
約ø30μm(20×対物レンズ使用時)
測定再現性(2σ) ±0.1%(380nm〜410nm測定時)
±0.01%(410nm〜700nm測定時)
表示分解能 1nm
測定時間 数秒〜十数秒
(サンプリング時間により異なります)
光源仕様 ハロゲンランプ 12V100W
ステージZ方向
駆動範囲
85mm
PCとのインタフェース USB方式
装置質量 本体:約20kg(PC、プリンタを除く)
光源用電源: 約3kg
コントロールボックス: 約8kg
装置寸法 本体:
300(W)×550(D)×570(H)mm
光源用電源:
150(W)×250(D)×140(H)mm
コントロールボックス:
220(W)×250(D)×140(H)mm
電源仕様 光源用電源:
100V(2.8A)/220V AC
コントロールボックス:
100V(0.2A)/220V AC
使用環境 水平で振動がない場所
温度: 23±5°C
湿度: 60%以下、結露無きこと

* 本装置はトレーサビリティ体系に則った絶対精度を保証するものではありません。
* 特注扱いで測定波長440nm〜840nm仕様も対応できます。                                                                                                                                                                                                                                                    *「弊社より提供する顕微鏡コントローラー(PC)はWindow10のOSライセンスが認証済みとなりますので、Microsoft社のライセンス条項が適用され、当該条項に同意頂くことになります。Microsoft社のライセンス条項は以下をご参照ください」

https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_japanese.htm

カタログ・ビデオ・その他資料

カタログ

USPM-RUIII 反射率測定機 カタログ
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