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OLS5100

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Overview

LEXT OLS5100 3D-Laser-Scanning-Mikroskop

Laser-Mikroskop für die Materialanalyse

Hintergrund

Das OLS5100 Laser-Mikroskop wurde für die Fehleranalyse und werkstofftechnische Forschung entwickelt und kombiniert hervorragende Messgenauigkeit und optische Leistung mit intelligenten Werkzeugen, die die Verwendung des Mikroskops vereinfachen. Schnelle und effiziente Messung der Form und Oberflächenrauheit im Submikrometerbereich ermöglichen einen vereinfachten Workflow mit zuverlässigen Daten.

Video ansehen
3D-Mikroskop

Vereinfachte Untersuchungen für die Werkstofftechnik und Fehleranalyse

Der Smart Experiment Manager vereinfacht die Untersuchungsabläufe von 3D-Betrachtungen und Fehleranalysen im Submikrometerbereich, indem einst zeitaufwändige Aufgaben automatisiert werden.

  • Automatische Erstellung von Untersuchungsplänen
  • Automatische Übertragung der Daten in die Tabelle des Untersuchungsplans, was mögliche Eingabefehlern verringert
  • Klare Visualisierungstools für Datentrendanalysen

Garantierte Messgenauigkeit

LEXT Mikroskopobjektive liefern hochpräzise Messdaten. In Verbindung mit dem Smart Lens Advisor können Daten genau und zuverlässig erfasst werden.

  • Garantierte Messgenauigkeit*
  • Die bekannte Optik von Olympus reduziert die Aberration, um die korrekte Form der Probe im gesamten Sichtfeld zu erfassen
  • Smart Lens Advisor ermöglicht die Auswahl eines geeigneten Objektivs für die Messung der Oberflächenrauheit
* Die Informationen, einschließlich der garantierten Genauigkeit, auf dieser Webseite basieren auf den von Olympus festgelegten Bedingungen.
Reinigung des Mikroskop-Objektivs

Einfache Laser-Scanning-Mikroskopie

Die Verwendung des Mikroskops ist für Bediener mit und ohne Erfahrung dank der intuitiven Software einfach.

  • Einfachen Datenerfassung – Probe auf den Tisch legen und die Starttaste drücken
  • Garantierte Messleistung je nach Betriebsumgebung

In der Broschüre

erfahren Sie mehr über das OLS5100 Laser-Mikroskop.

Download

Software

Vereinfachte Untersuchungen für die Werkstofftechnik und Fehleranalyse

Die Verwaltung der Untersuchungsbedingungen bei der Prüfung neuer Materialien ist kompliziert. Daher vereinfacht der Smart Experiment Manager des OLS5100 Laser-Mikroskops den Prozess mit automatischen Hauptschritten, wie die Erstellung des Untersuchungsplans.

  • Bis zu 30 % schnellere* Durchführung von Messaufgaben
  • Die Daten werden während der Erfassung automatisch in den Prüfplan übertragen
  • Keine Zeitverschwendung mehr mit der Übertragung von Daten dank der Software

* Im Vergleich zu OLS5000

Software für die Fehlerprüfung
Tabelle einer werkstofftechnischen Untersuchung

Automatische Dateneingabe

Die Software überträgt die Werte automatisch in die Tabelle. So wird das Risiko von Eingabefehlern minimiert. Mit nur wenigen Klicks können Daten in eine Excel-Tabelle exportiert werden.

Einfache Datenverwaltung von Untersuchungsbedingen

Jede Zelle kann im Prüfplan angeklickt werden. Die Software generiert automatisch einen Dateinamen, der die Bewertungsbedingungen für eine einfache Rückverfolgung enthält. Jede Datei enthält die verknüpften Bilder und Daten.

Bedingungen einer werkstofftechnischen Untersuchung
Fehleranalyse mit 3D-Bildgebung

Umfassende Datenerfassung

Das Mikroskop scannt die Proben gemäß einem von der Software erstellten Prüfplan. So wird verhindert, dass Daten übersehen werden oder Arbeiten wiederholt werden müssen.

Leichte Erkennung von Datenproblemen

Eine farbige Karte hilft bei der Interpretation der Untersuchungsdaten. So kann sichergestellt werden, dass keine Daten fehlen und keine Fehler vorliegen. Wenn Problemen auftreten, können diese früher im Prozess erkannt und behoben werden.

Datenvisualisierung einer werkstofftechnischen Untersuchung
Objektivauswahl

Auswahl des richtigen Objektivs

Der Smart Lens Advisor unterstützt die Auswahl des richtigen Objektivs zur Messung der Oberflächenrauheit. Nach Eingabe von allgemeinen Informationen, wie Sehfeld und Objektiv, die verwendet werden sollen, gibt der Advisor die Eignung für die Anwendung an.

Einfache Datenerfassung

Bediener mit und ohne Erfahrung können mit der Smart Scan II Funktion schnell und einfach Daten erfassen. Es muss lediglich eine Probe auf den Tisch gelegt und die Starttaste gedrückt werden. Den Rest erledigt das Mikroskop.

Datenerfassung bei einer werkstofftechnischen Untersuchung

In der Broschüre

erfahren Sie mehr über das OLS5100 Laser-Mikroskop.

Download

Specifications

Haupteinheit

Modell OLS5100-SAF OLS5100-SMF OLS5100-LAF OLS5100-EAF
Gesamtvergrößerung

54x–17,280x

Sehfeld

16–5,120 µm

Messprinzip Optisches System Konfokales Laser-Scanning-Mikroskop mit Auflichtbeleuchtung
Konfokales Laser-Scanning-DIC-Mikroskop mit Auflichtbeleuchtung
Farbe
Farb-DIC
Messprinzip Detektor Laser: Photomultiplier (2 Kanäle)
Farbe: CMOS-Farbkamera
Höhenmessung Anzeigeauflösung 0,5 nm
Höhenmessung Dynamikbereich 16 Bit
Höhenmessung Wiederholbarkeit σn-1*1 *2 *5 5X:0,45 μm, 10X:0,1 μm, 20X : 0,03 μm, 50X : 0,012 μm, 100X : 0,012 μm
Höhenmessung Genauigkeit *1 *3 *5 0,15+L/100 μm (L: Messlänge [μm])
Höhenmessung Genauigkeit des zusammengefügten Bildes *1 *3 *5 10x:5,0 + L/100 μm, 20x oder höher : 1,0 + L/100 μm (L: Stitching-Länge [μm])
Höhenmessung Messrauschen (Sq noise) *1 *4 *5 1 nm (Typ)
Breitenmessung Anzeigeauflösung 1 nm
Breitenmessung Wiederholbarkeit 3σn-1  *1 *2 *5 

5X: 0,45 µm, 10X: 0,1 µm, 20X: 0,03 µm, 50X: 0,012 µm, 100X: 0,012 µm

Breitenmessung Genauigkeit *1 *3 *5 Messwert +/- 1,5 %
Breitenmessung Genauigkeit des zusammengefügten Bildes *1 *3 *5 10X : 24 + 0,5L μm, 20X : 15 + 0,5L μm, 50X : 9 + 0,5L μm, 100X : 7 + 0,5L μm (L: Stitching-Länge [mm])
Maximale Anzahl der Messpunkte bei einer Einzelmessung

4096 Pixel × 4096 Pixel

Maximale Anzahl Messpunkte

36 Megapixel

XY-Tischkonfiguration Längenmessmodul • — — •
XY-Tischkonfiguration Arbeitsbereich

100 × 100 mm (3,9 × 3,9 Zoll) Motorgesteuert

100 × 100 mm (3,9 × 3,9 Zoll) Manuell

300 × 300 mm (11,8 × 11,8 Zoll) Motorgesteuert

100 × 100 mm (3,9 × 3,9 Zoll) Motorgesteuert

Maximale Probenhöhe

100 × 100 mm (3,9 × 3,9 Zoll)

30 mm (1,2 Zoll)

30 mm (1,2 Zoll)

210 mm (8,3 Zoll)

Laser-Lichtquelle Wellenlänge 405 nm
Laser-Lichtquelle Maximale Leistung 0,95 mW
Laser-Lichtquelle Laserklasse Klasse 2 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)
Farblichtquelle Weißlicht-LED
Elektrische Leistung 240 W 240 W 278 W 240 W
Masse Mikroskopgehäuse Ca. 31 kg Ca. 32 kg Ca. 50 kg Ca. 43 kg
Masse Steuereinheit Ca. 12 kg

*1 Garantiert bei Verwendung bei konstanter Temperatur und in einer Umgebung mit konstanter Temperatur (Temperatur: 20 ˚C ± 1 ˚C, Luftfeuchtigkeit: 50 % ± 10 %), festgelegt in ISO554(1976), JIS Z-8703(1983).
*2 Für 20X oder höher bei Messung mit Objektiven der Serie MPLAPON LEXT.
*3 Bei Messung mit speziellem LEXT Objektiv.
*4 Typische Werte bei Messung mit dem MPLAPON100XLEXT Objektiv, können vom garantierten Wert abweichen.
*5 Garantiert gemäß dem Olympus Zertifizierungssystem.

** Die Betriebssystem-Lizenz für Windows 10 wurde für den von Olympus bereitgestellten Mikroskop-Controller zertifiziert. Daher gelten die Lizenzbedingungen von Microsoft, und Sie erklären sich mit den Bedingungen einverstanden. Im Folgenden finden Sie die Lizenzbedingungen von Microsoft.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm


Objektive

Serie Modell Numerische Apertur (NA) Arbeitsabstand (WD) (mm)
UIS2-Objektiv MPLFLN2.5x 0,08 10,7
MPLFLN5x 0,15 20

Spezielles LEXT Objektiv (10X)

MPLFLN10xLEXT 0,3 10,4

Spezielles LEXT Objektiv (Hochleistungstyp)

MPLAPON20xLEXT 0,6 1
MPLAPON50xLEXT 0,95 0,35
MPLAPON100xLEXT 0,95 0,35

Spezielles LEXT Objektiv (mit langem Arbeitsabstand)

LMPLFLN20xLEXT 0,45 6,5
LMPLFLN50xLEXT 0,6 5,2
LMPLFLN100xLEXT 0,8 3,4
Objektiv mit sehr langem Arbeitsabstand SLMPLN20x 0,25 25
SLMPLN50x 0,35 18
SLMPLN100x 0,6 7,6
LCD-Objektiv mit langem Arbeitsabstand LCPLFLN20xLCD 0,45 8.3-7.4
LCPLFLN50xLCD 0,7 3.0-2.2
LCPLFLN100xLCD 0,85 1.2-0.9

Anwendungssoftware

Standard-Software OLS51-BSW
Standard-Software Anwendung Datenerfassung Anwendung Analyse (einfache Analyse)
Anwendungspaket motorischer Tisch *1 OLS50-S-MSP
Anwendung erweiterte Analyse *2 OLS50-S-AA
Anwendung Messung der Foliendicke OLS50-S-FT
Anwendung automatische Kantenmessung OLS50-S-ED
Anwendung Partikelanalyse OLS50-S-PA
Anwendung allgemeiner Untersuchungsassistent OLS51-S-ETA
Anwendung Analyse von Kugeln/Zylindern/Oberflächenwinkeln OLS50-S-SA 

*1 Einschließlich der Funktionen Datenerfassung mit Auto-Stitching und Datenerfassung in mehreren Bereichen.
*2 Einschließlich Profilanalyse, Differenzanalyse, Analyse der Stufenhöhe, Oberflächenanalyse, Flächen- und Volumenanalyse, Analyse der Linienrauheit, Analyse der Flächenrauheit und Histogrammanalyse.


Olympus Laser-Mikroskope

OLS5000-SAF Konfigurationsbeispiel

OLS5100-SAF Konfigurationsbeispiel

OLS5100-SAF

  • Motorischer Tisch, 100 mm
  • Max. Probenhöhe: 100 mm (3,9 Zoll)

OLS5000-SAF

OLS5000-SAF - Dimention

OLS5100-EAF

  • Motorgesteuerter Tisch, 100 mm
  • Max. Probenhöhe: 210 mm (8,3 Zoll)

OLS5000-EAF

OLS5000-EAF - Dimention

OLS5100-SMF

  • Motorgesteuerter Tisch, 100 mm
  • Max. Probenhöhe: 40 mm (1,6 Zoll)

OLS5000-SMF

OLS5000-SMF - Dimention

OLS5100-LAF

  • Motorgesteuerter Tisch, 300 mm
  • Max. Probenhöhe: 37 mm (1,5 Zoll)

OLS5000-LAF

OLS5000-LAF - Dimention

Steuereinheit

PC und Steuergerät - Dimention

Resources

Anwendungsbeispiele

Laser Groove Profiling in Semiconductor Wafers Using the OLS5000 Laser Confocal Microscope
Precisely Measuring the Steep Gradient of a Miniature Bearing for a Rotating Dental Drill
Evaluating the Anti-Glare Property of a Speedometer Cover with High Precision Using a Laser Scanning 3D Microscope
Messung der Oberflächenrauheit von medizinischen Kanülen mit einem konfokalen Laser-Rastermikroskop
High-precision three-dimensional measurement : Measuring the shape of microchannels with a 3D laser microscope (Japanese only)
Inspecting the Cavity Profile of Xenon Difluoride (XeF2) Etched Silicon (Si) Wafers for Suspended Antenna-Coupled Nanothermocouples
Rauheitsmessung an Zahnradzähnen für umweltfreundliche Autos
Measuring the Profile of a Bonding Wire Ball
Measuring the Thickness of Photoresist Film
Height Measurement of Microscopic Bumps on an Integrated Circuit
Measuring the shape of scratches on vehicle-mounted camera lenses
Messung der Rauheit der Innenwandung von medizinischen Schläuchen
Measuring the shape of an automotive millimeter-wave radar’s circuit board
Measuring the Layer Profiles of Thin-Film Solid-State Lithium-Ion Batteries Manufactured Using the Inkjet Technique
Messung der Oberflächenrauheit eines Leadframe-Diepads
Measuring the Roughness of Lithium-Ion Battery Electrodes Using a Laser Microscope
Messung der Oberflächenrauheit von Lithium-Ionen-Batterie-Elektrodenkollektoren
Messung der Oberflächenrauheit der Nocken einer Nockenwelle
Rauheitsmessung der Kontaktfläche eines Motorventils mit einem Lasermikroskop
Headlamp Lens Waviness Measurement Using a Laser Microscope
Observation and measurement of profile changes in wiper blades using a laser microscope
Oberflächenprofilmessung von Öldichtungen mit einem Lasermikroskop
Measurement of the inner wall waviness and roughness of a turbocharger housing using a laser microscope
Evaluating the Roughness of Raceway Grooves in the Inner and Outer Rings of a Ball Bearing
Evaluating the shape of plastic bottle drinking spouts
Inner/outer wall roughness of a metal tube
Evaluating the Oil Groove Configuration of the Big End of Connecting Rods
Evaluation of Oil Grooves on the Sides of Pistons
Evaluation of the Inner Surface of Cylinder Liners
Formbewertung von Einschnitten an Flaschenschraubverschlüssen aus Kunststoff
Oberflächenrauhigkeitsbewertung von Speicherkarten
3D-Untersuchung der Prägung von Türschaltern an Automobilen mit dem Lasermikroskop LEXT OLS5000
Evaluating the Internal Roughness of Injector Nozzles
Roughness Evaluation of the Side Surface of Piston Rings
Grate an Metallhalbzeugen
High-definition observation of the metal structure of materials for thermal power plant piping
Oberflächenrauheit von Kaffeesahnebechern
Oberflächenrauheit von Kunststoffbeutel-Verschlussschienen
Topographieanalyse der Stahlblechoberfläche mit einem digitalen Laser-Scanning-Mikroskop
Measuring the volume of adhesive drops
Vermessung von Perforationen an einer Pappschachtel
Vermessung von geprägtem Trägerband für Kondensatoren
Step measurement of transparent film applied to a glass surface
Inspection of the processed shape of expanded metal
Formauswertung von Photomasken-Linsenarrays, die mit einer Graustufenmaske geformt wurden / Berührungslose 3D-Oberflächenprofilmessung mit Lasermikroskop
Inspection in the MEMS Manufacturing Process/3D shape measurement of a micron-sized area using a laser microscope
Evaluation of razor blade edges/Micro shape measurement using a laser microscope
Evaluating the Coating on a Smartphone Housing / Film thickness measurement and 3D surface profile measurement using a laser microscope
Roughness Evaluation of the Inner Lead of a Lead Frame / Surface roughness measurement of a micro area using a laser microscope
Formauswertung eines auf einer Metalloberfläche eingeschlagenen Stempels / 3D-Formmessung mit Lasermikroskop
Messung der Oberflächenrauheit von Edelstahl/Messung der Oberflächenrauheit im Mikrobereich mit einem Lasermikroskop
Ripple Marks Formed in Die-Casting / 3D shape measurement using a laser microscope
Surface Observation of Various Fibers for Fabrics/ 3D shape observation of a micro area using a laser microscope
Oberflächenprofilbewertung von Diffusorplatten für LCDs / Berührungslose 3D-Formmessung mit einem Lasermikroskop
Oberflächenrauheit von Keramikteilen für Textilmaschinen/Messung der Oberflächenrauheit eines mikroskopisch kleinen Bereichs mit einem Lasermikroskop
Bewertung des Oberflächenprofils von Passscheiben / berührungslose 3D-Formmessung mit Lasermikroskop
Evaluating the surface profile (roughness) of coated abrasives / Non-contact 3D shape measurement using a laser microscope
Oberflächenprofil der Lichtleiterplatte für LCDs / Berührungslose 3D-Formmessung mit einem Lasermikroskop
Bewertung des Oberflächenprofils beim thermischen Spritzen / Oberflächenrauheitsmessung mit einem Lasermikroskop
Form- und Oberflächenrauheitsmessungen an Schrauben / Oberflächenrauheitsmessung mit Lasermikroskop
Oberflächenbetrachtung von Papier für Tintenstrahldrucker und normalem Papier/Berührungslose 3D-Profilbewertung mit einem Lasermikroskop
Quality management in working with extra-fine tubes / Surface roughness analysis of a micro area using a laser microscope
Quantitative Investigations of the Interconnect
Looking towards a Future of Affordable Solar Energy
Studying the Electro-mechanical Behavior of Thin Films
Messung der Oberflächenrauheit von flexiblen Leiterplatten mit dem konfokalen OLS4100 Laser-Mikroskop von Olympus
Evaluating the Contacting Terminals of Wafer Level Chip Size Packages (CSPs) using the Olympus OLS4100 Laser Confocal Microscope
Konfokales OLS5000 Lasermikroskop von Olympus zur Messung von Schlacke beim Laserschneiden
Messung der Oberflächenrauheit von Kugellagern mit dem konfokalen Lasermikroskop OLS5000 von Olympus
Konfokales OLS5000 Lasermikroskop von Olympus zur Messung der Oberflächenrauheit auf dem Metall von Zahnimplantaten
Rauheitsmessung von gleitenden Metalloberflächen mit dem konfokalen OLS5000 Laser-Mikroskop von Olympus
Konfokales OLS5000 Laser-Mikroskop von Olympus zur Messung der Oberflächenrauheit von Leiterplatten
Bewertung der Verschleißfestigkeit von Drehmeißeln aus kubischem Bornitrid (CBN) mit dem konfokalen OLS5000 Lasermikroskop von Olympus.
3D-Formauswertung für Diamantwerkzeuge nach galvanischer Abscheidung mit dem konfokalen OLS5000 Lasermikroskop von Olympus
Sectioning Analysis for Ball Grid Array (BGA) Surface Mounting of Semiconductor Package using the Olympus OLS5000 Laser Confocal Microscope
Setting standards in optical metrology at the PTB
Multi-Scale Analysis: Evaluating Measured Topographies on Surfaces Made by Additive Manufacturing (3D Printing)
Quantifying Microwear: The Effectiveness of LSCM and ReIA for Surface Roughness Analysis of Experimental Mistassini Quartzite Scrapers
Alternative Materialien für alternative Energien
Gaining the Edge: The Design and Development of a Device Equipped to Create 3D Ski Edge Measurements
Maximizing Data Recovery: Utilizing 3D Digital Laser Microscopy to Image Damaged Optical Media
Evaluating New Methods of Dental Erosion Analysis
The future of industrial quality control
Evaluating Sample Preparation of Stone Tools: Effects of Cleaning on Surface Measurements
Quilt Packaging: Lining Up an Array of Opportunities
Robot Insect Wings
 Mehr anzeigen

Video

OLS5100 Promotion Video
OLS5100 Experiment Total Assist
OLS5100 Simple Analysis
OLS5100 Smart Scan II
OLS5100 Continuous Autofocus
OLS5100 Real-time Macro Mapping
 Mehr anzeigen

SlideShare Präsentationen

Utilizing 3D Digital Laser Microscopy to Image Damaged Optical Media
Evaluating the Sharpness of Ski Edges with Laser Microscopy
Preserving a Legend - Industrial Microscopy and Artifact Conservation at the Walt Disney Family Museum
Using RTI and 3D Laser Scanning Confocal Microscopy to Evaluate Relief and Contour Lines on Ancient Attic Greek Vases
 Mehr anzeigen

Webinar

Making a Better Design of Experiment with the Smart Experiment Manager
5 Things You Need to Know About Surface Metrology

Whitepaper

Roughness Measurement with LEXT, Laser Scanning Microscopes
Basic Principles of Laser Scanning Microscopes

FAQ

Wörterbuch für Industriemikroskope

Broschüren

LEXT OLS5100 Brochure

Lösungen

Prüflösungen für die Metallindustrie
Lösungen zur Prüfung von Windkraftanlagen
Lösungen für die Korrosionsprüfung
Prüflösungen für Verbundwerkstoffe
Messlösungen
 Mehr anzeigen

Fallstudien

In die Tiefe gehen – höhere Geschwindigkeit und mehr Präzision bei Croda

Dokumentationen

Advanced Optical Metrology: Thin Film Metrology
Advanced Optical Metrology - Additive Manufacturing
LEXT Roughness measurement guidebook
 Mehr anzeigen

Blog

Surface Roughness Measurement: Practical Tips to Get Started
Startseite/ Produkte/ Konfokale Lasermikroskope/ OLS5100
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