Die Waferloader-Serie AL120 ermöglicht einen schnellen und sicheren Transfer von Silizium- und Verbindungshalbleiter-Wafern von der Kassette zum Mikroskoptisch. Der Waferloader wurde entwickelt, um den Produktdurchsatz zu erhöhen, und ist in Kombination mit unserem MX63 Halbleitermikroskop eine zuverlässige Lösung für die Waferprüfung.

Präzision und Flexibilität

Geeignet für die Handhabung und Prüfung unterschiedlich großer Wafer

Die Eignung für unterschiedlich große Wafer ist eine entscheidende Voraussetzung für die Expansion der Waferfertigung. Die AL120 Serie besteht aus drei Modellen für unterschiedliche Waferdurchmesser: dem 200-mm-Modell, dem 150-mm- und 200-mm-Kombimodell und dem 150-mm-Modell für Wafergrößen bis 150 mm. Jedes System ist für den Wafertransfer und die Prüfung unter dem Mikroskop ausgelegt. Makroinspektionen der Ober- und Unterseite sind ebenfalls mit allen Wafergrößen möglich.

Wafergröße und -dicke

Für die Handhabung und Prüfung dünner Wafer

Entsprechend den Anforderungen der Hersteller von dünnen Wafern kann der Arm des Modells AL120-LMB-90 eine volle Kassette mit 90-µm-Wafern aufnehmen.

Funktional

Verbesserte Makroinspektion von Halbleiter-Wafern

Makroinspektion mit einer 360-Grad-Drehfunktion (Simulation)

Die 360-Grad-Drehfunktion ermöglicht eine vollständige Makroinspektion der Ober- und Unterseite der Wafer und damit eine einfache Erkennung von Defekten und Partikeln. Der eingebaute Joystick steuert die Neigung des Wafers während der Makroinspektion der Oberseite. Die Bediener können den Winkel des Wafers einstellen, um noch bessere Prüfergebnisse zu erzielen.

Einfache Handhabung von Wafern

• Als Antwort auf die Anforderungen unterschiedlicher Prüfroutinen kann der AL120 Waferloader mit 10 verschiedenen Systemkonfigurationen (Festlegung der Kassettentypen, Waferspezifikationen, Transfergeschwindigkeiten usw.) programmiert und gesteuert werden. Mit der Schnellwahltaste kann der Bediener verschiedene Produkte sofort laden.
• Die Waferloader-Parameter und Programmeinstellungen werden auf dem LCD-Display angezeigt. Die Bediener können Routinen und Ergebnisse vor und nach der Prüfung bestätigen.
• Der AL120 Waferloader bietet eine berührungslose optische Zentrierung sowie eine Erkennung und Ausrichtung von Kerben/Flats. Dadurch wird der Kontakt zwischen Wafer und Gerät reduziert und die Sauberkeit des Wafers verbessert.

Zuverlässig

Maximiert die Wafersicherheit während des gesamten Wafertransferprozesses

Das Design des AL120 zeichnet sich durch fortschrittliche Funktionen zur Maximierung der Wafersicherheit aus. Das mit 3 Sensoren ausgestattete System überwacht kontinuierlich die Position der Wafer, um eine sichere und korrekte Entnahme, Übertragung, Beladung und Entladung zu gewährleisten. Das verhindert Schäden durch das Laden von mehr als einem Wafer in den Schlitz und die Aufnahme von versehentlichen Querschlitzen.

Zuverlässige Mikroskopplattform für die Untersuchung von Halbleiterwafern

Der AL120 Waferloader lässt sich mit unseren speziellen Wafer-Prüfmikroskopen der MX Serie kombinieren, die eine außergewöhnliche Bildauflösung und -klarheit für verschiedene Mikroskopieverfahren bieten, darunter Hellfeld, Dunkelfeld, Differentialinterferenzkontrast (DIC) und Nahinfrarot (NIR). Der motorgesteuerte Objektivrevolver und die Aperturblende sind miteinander gekoppelt, sodass für jedes Objektiv eine optimale Ausleuchtung und ein optimaler Kontrast gewährleistet sind. Der Waferloader kann als Sonderanfertigung auch an andere Mikroskopmodelle angepasst werden.

Ergonomische Tischoptionen für Bedienerkomfort und Arbeitseffizienz

• Der manuelle Vakuumtisch mit Schnellverschluss optimiert den Komfort und die Effizienz des Bedieners. X-Y-Steuerung und Waferrotation sind Standard.
• Um den Prüfprozess weiter zu automatisieren, kann der motorgesteuerte Tisch* über einen Joystick oder über vorprogrammierte Routinen gesteuert werden. Ein Druckknopf fährt den Tisch in die Lade-/Entladeposition und zurück zur Ausgangsposition.

* Der motorgesteuerte Tisch ist in manchen Gebieten möglicherweise nicht erhältlich.

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