Das große Brückenstativ bietet hohe Stabilität für die Messung besonders großer Proben

Stabilität ist ein Schlüsselfaktor für die hochauflösende Prüfung von Komponenten wie Silizium-Wafern, Elektronikbauteilen oder großen Automobilteilen. Das anpassbare große Brückenstativ wurde entwickelt, um die Präzision und Genauigkeit der mit dem OLS5100 Mikroskop durchgeführten Messungen zu gewährleisten. Unterstützte Funktionen:

• Außergewöhnliche Stabilität dank der schwingungsdämpfenden Eigenschaften von Granit
• Motorgesteuerte Tische mit einer Größe bis 400 × 400 mm zur Prüfung von großen Proben mit einer Masse bis 20 kg
• Manuelle Verschiebung der Z-Achse um bis zu 150 mm zur Prüfung großer und hoher Proben

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Hochstabile, anpassbare Workstations sorgen für höchste Messgenauigkeit

Um Proben wie Elektronikbauteile im Nanometerbereich mit einer optimalen Messgenauigkeit zu prüfen, müssen die Auswirkungen externer Vibrationen minimiert werden.

Unsere hochstabilen Workstations ermöglichen präzise Prüfungen im Nanometerbereich. Die Worktstations umfassen:

• Stabile Mikroskopstative
• Aktive Antivibrationseinheiten – integrierte Vorrichtungen oder Tischeinheiten
• Kontrollboxen für Versuchsbedingungen
• Separate Stative für PCs und Monitore, um die Übertragung von Vibrationen vom PC auf das Mikroskop zu verhindern

Diese Workstation-Komponenten stehen als schlüsselfertige Komplettlösung zur Verfügung oder können entsprechend Ihren Anforderungen einzeln erworben werden.

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Das stabile Stativ mit Steinaufsatz optimiert die Arbeitsumgebung

Bei Prüfungen von Elektronikbauteilen und anderen Objekten im Nanometerbereich kann es schwierig sein, die Versuchsbedingungen so einzurichten, dass eine optimale Präzision erreicht wird.

Das Stativ mit Steinaufsatz unterstützt zuverlässige Messungen mit hoher Auflösung.

• Es wurde für das OLS51000 CUS TM Mikroskop entwickelt, um eine hohe Stabilität des Mikroskops bei der Prüfung von sperrigen und schweren Objekten zu gewährleisten
• Nivellierfüße ermöglichen eine einfache Höhenverstellung von 0–50 mm auf unebenen Flächen
• Das Stativ aus Edelstahl mit der kratzfesten Tischplatte bietet Schutz vor Beschädigungen

Je nach Prüfanforderungen können aktive Antivibrationseinheiten nahtlos in das Mikroskopstativ integriert werden, um eine äußerst kompakte Lösung zu erhalten, oder als separate Antivibrations-Tischeinheit verwendet werden.

Die aktive Antivibrations-Tischeinheit verhindert kleine Vibrationen und erhöht die Präzision

Bei Anwendungen mit einer Auflösung im Nanometerbereich wie die Überprüfung von Wafern können selbst leichte Schritte oder leise Geräusche die Messgenauigkeit beeinträchtigen.

Die aktive Antivibrations-Tischeinheit sorgt dafür, dass externe Vibrationen eliminiert werden, und verfügt über mehrere Funktionen, die die Stabilität und Messgenauigkeit erhöhen:

• Aktive Bandbreite von 0,6–200 Hz
• Eine Isolationsleistung von mindestens 25 dB bei 5 Hz bzw. von 40 dB bei mehr als 10 Hz sorgt für hervorragende Stabilität
• Die Tragfähigkeit von max. 150 kg gewährleistet die Stabilität des Mikroskops bei der Prüfung von schweren Objekten, z. B. Autoteilen

Kontrollboxen für Versuchsbedingungen sind ein nützliches Werkzeug für die Reinrauminspektion

Dank der Abschirmung des Mikroskops entsteht eine Arbeitsumgebung, in der eine höhere Messgenauigkeit möglich ist und der Scanschall bei der Verwendung von LEXT-Standardsystemen reduziert wird. Die Kontrollbox für Versuchsbedingungen sorgt für effiziente Arbeitsabläufe bei der Prüfung und schirmt das Mikroskop effektiv ab. Ihr innovatives Design zeichnet sich durch folgenden Eigenschaften aus:

• Große Front- und Seitentüren erleichtern den Zugang zum LEXT EAF und ermöglichen eine schnelle manuelle Verschiebung der Z-Achse oder Einstellung des Höhenblocks sowie eine effiziente Probenplatzierung
• Das elegante, optimierte Design verfügt über transparente Fenster zur Überwachung des Arbeitsablaufs
• Die Kontrollbox für Versuchsbedingungen schützt das LEXT System vor Staub und eignet sich für die Prüfung in Reinräumen
• Die Box kann direkt auf den dafür vorgesehenen Tisch geschraubt werden – dadurch erhöht sich die Stabilität des Mikroskops und die Messgenauigkeit
• Kompatibel mit allen LEXT Standardmodellen
• Eine ähnliche Lösung ist auch für das größere LEXT OLS5100 CUS TM System verfügbar

Mikroporöse Vakuum-Spannvorrichtung zur optimalen Befestigung von empfindlichen Proben

Für die genaue Prüfung dünner und flexibler Objekte wie RFID-Folien, Solarpaneele und Silizium-Wafer sind Probenhalter erforderlich, die eine gleichmäßige Klemmkraft gewährleisten und die Probe kaum verformen.

Die mikroporöse Vakuum-Spannvorrichtung sorgt dafür, dass empfindliche Proben während der Prüfung flach liegen und unversehrt bleiben. Erreicht wird dies durch eine gleichmäßige Ansaugung über Mikroporen anstelle von Sauglöchern oder Saugrillen.

• Die mikroporöse Vakuum-Spannvorrichtung minimiert die Probenbewegung und erhöht die Wiederholbarkeit der Messung
• Speziell für die Prüfung von Silizium-Wafern entwickelt
• Ermöglicht die effiziente Prüfung von dünnen Objekten wie Papier, Folien, Wafern und Leiterplatten

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Drehbare Vakuum-Waferhalterung zur stabilen und sicheren Befestigung von Wafern

Für eine effiziente Prüfung von Silizium-Wafern müssen die Probenhalter eine einfache Probenführung ermöglichen und die Wafer stabil befestigen.

Die Vakuum-Waferhalterung verfügt über mehrere Funktionen, die die Arbeitsabläufe bei der Prüfung von Wafern optimieren:

• Die gleichmäßige Verteilung des Unterdrucks gewährleistet eine maximale Waferstabilität und optimale Messgenauigkeit
• Die Drehung der Wafer erleichtert und beschleunigt die Probennavigation
• Das abgestufte Design mit 30 mm breiten Rillen sorgt für eine bequeme Probenplatzierung
• Die Halterung kann direkt auf einem 300-mm-Tisch oder mit einer Adapterplatte auf einem 200-mm-Tisch befestigt werden
• Konzipiert für die Inspektion von 4-Zoll-, 6-Zoll-, 8-Zoll-, und 12-Zoll-Wafern

Die drehbare Waferhalterung optimiert die Prüfung von Wafern

Die drehbare Waferhalterung ist eine einfache und praktische Alternative zur Fixierung von Proben, bei denen keine Vakuumansaugung erforderlich ist.

• Die Drehung der Wafer verbessert die Probennavigation und beschleunigt die Prüfung
• Das abgestufte Design mit 30 mm breiten Rillen vereinfacht die Probenplatzierung
• Die Halterung ist für 4-Zoll-, 6-Zoll-, und 8-Zoll-Wafern
• Wir bieten auch eine spezielle 8-Zoll-Waferhalterung für DSX Mikroskope an

Gewindelochbefestigungen zur einfachen Prüfung mit kundenspezifischen Vorrichtungen

Häufig sind spezielle Vorrichtungen erforderlich, um Rohre, Würfel oder andere unregelmäßige Objekte während der Prüfung zu halten.

Mit 68 gleichmäßig verteilten M3-Gewindebohrungen eignet sich der 150 mm × 110 mm × 5,5 mm große Einsatz mit Gewindelöchern für eine Vielzahl von kundenspezifischen Proben, die vielseitig befestigt werden können