Información general
Microscopio de escaneo láser 3D LEXT™ OLS5100Microscopio láser para analizar materialesProceso inteligente para experimentos más rápidosDesarrollado para análisis de defectos e investigaciones de ingeniería de materiales, el microscopio láser OLS5100 combina una exactitud de medición y un rendimiento óptico excepcionales, enriquecidos por herramientas inteligentes que facilitan su uso. Mida la forma y la rugosidad superficial de un material a una escala submicrométrica, contando con la rapidez y eficiencia necesarias para simplificar su proceso de trabajo y obtener datos en los cuales confiar. Visualizar el video |
Facilidad en la microscopía de escaneo láserUsar el microscopio LEXT™ OLS5100 es fácil tanto para los principiantes como para los expertos debido a su software que ha sido desarrollado concienzudamente para todo tipo de usuario.
La información proporcionada en esta página web, incluida la especificación acerca de la fiabilidad garantizada, se basa en las condiciones establecidas por Evident. |
Experimentos más fáciles en la ingeniería de materiales y análisis de defectosLa función «Smart Experiment Manager» simplifica los procesos de trabajo experimentales destinados al análisis de defectos y la observación 3D submicrónica mediante una automatización de tareas que antes requerían mucho tiempo.
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Totalmente personalizable para sus especificacionesImplemente todas las funciones avanzadas del microscopio de escaneo láser OLS5100 para analizar materiales de muestras grandes y pesadas. |
Servicio y soporte en el cual confiarDesde la calibración hasta la capacitación, ofrecemos una amplia gama de servicios para ayudarle a mantener el óptimo funcionamiento de su dispositivo. Los contratos de servicio de Evident son...
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Ventajas
Ventajas de los microscopios láser | ||
1. Medición y observación 3D a escala submicrométrica Observe fases en una escala nanométrica y mida las diferencias de altura a un nivel submicrométrico. | ||
2. Medidas de rugosidad superficial conforme con la normativa ISO25178 Mida la rugosidad de superficies desde lineales hasta planas. | ||
3. Análisis sin contacto, no destructivos y rápidos No se requiere la preparación de muestras; simplemente ubique su muestra en la platina y prosiga con su medición. |
Fiabilidad de datos en una pulsaciónSmart Scan II Tanto los usuarios experimentados como los principiantes pueden adquirir datos de forma rápida y fácil con la función Smart Scan II. Tan sólo coloque la muestra en la platina, presione el botón de inicio y el microscopio hará el resto.
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Disfrute de un rendimiento de medición seguro y adaptado a su entorno operativo. | |
Precisión y repetibilidad garantizada | |
Metrología superficial más allá del campo visual *Sólo para OLS5100-SAF/EAF |
Cómoda observación de alta resolución y magnificación | ||
Enfoque automático continuo El enfoque automático continuo del microscopio mantiene las imágenes enfocadas mientras la platina se desplaza o hay alternación de objetivos; esto reduce la necesidad de ajustes manuales. El seguimiento permanente del enfoque permite llevar a cabo observaciones de forma rápida y fácil. | ||
DIC dual para observación en tiempo real a escala nanométrica Detecte daños diminutos en su muestra en directo mediante una observación a escala nanométrica. La observación con el contraste de interferencia diferencial (DIC) permite que visualice los contornos de la superficie a escala nanométrica, lo que normalmente sobrepasa la potencia de resolución de un microscopio láser. Por medio del modo láser de DIC, el microscopio OLS5100 puede obtener imágenes similares a las de un microscopio electrónico, incluso usando un objetivo de baja potencia de 5x o 10x. | Superficie posterior de oblea (plaqueta) electrónica | Zona de aterrizaje del disco duro |
Análisis integralesHay varias funciones analíticas disponibles. La siguiente es sólo un ejemplo; por favor, descargue el folleto o póngase en contacto con su presentante de Evident para obtener más detalles. | |
Medición de la rugosidad de área conforme con la normativa ISO25178 El microscopio OLS5100 escanea la superficie de la muestra con un haz láser de 0,4 μm, lo que permite medir fácilmente la rugosidad superficial de las muestras que no pueden ser medidas con medidores de contacto para rugosidad superficial. La capacidad para medir de forma simultánea la imagen de color, la imagen láser y los datos de forma 3D a partir de la superficie, cuya medición con medidores de contacto para rugosidad superficial es imposible, expande la finalidad analítica. | |
Medición de la fase entre el punto más alto y el más bajo en un perfil superficial | Herramienta de medición de perfil y de asistencia de medición La función de medición de perfil muestra el perfil de la superficie al trazar una línea de medición de forma arbitraria en la posición a medir de una imagen. También mide la fase entre dos puntos arbitrarios, el ancho, el área transversal y el radio. A diferencia de las herramientas de medición por contacto, la configuración de las posiciones medidas es fácil. Es posible verificar las líneas y los puntos de medición en la imagen; por ende, hasta un espacio muy pequeño puede medirse con precisión. Gracias a la herramienta de asistencia para la medición, el punto que requiere medición puede definirse adecuadamente mediante el punto más alto, el más bajo, el medio o media geométrica. Cuando se especifica un espacio en los datos adquiridos, los puntos presentados son extraídos automáticamente en conformidad con las condiciones especificadas. |
Software
Gestión sencilla para experimentos de ingeniería de materiales y análisis de defectos | |
Manejar las condiciones experimentales cuando se analizan nuevos materiales es complejo; no obstante, la función «Smart Experiment Manager» del microscopio láser OLS5100 simplifica dicha tarea al automatizar los pasos clave, como en la creación del plan experimental. |
Flujos de trabajo de rutina automatizados | |
Función macro Es posible automatizar toda la distribución de su inspección con la herramienta de producción macro. Cree y modifique fácilmente los procedimientos y, a continuación, ejecute el archivo macro grabado para obtener resultados fiables. Al combinarla con el Administrador inteligente de experimentos (Smart Experiment Manager), le será posible tomar decisiones de aceptación/rechazo con un simple clic. |
Organización de datos agilizada | |
Rápida clasificación de datos | |
Inserción automática de datos |
Sencilla organización de datos sobre las condiciones experimentales | |
Nomenclatura de archivos generada automáticamente Al hacer clic en cada celda del plan experimental, el software generará automáticamente un nombre de archivo que incorpora las condiciones de evaluación para facilitar el mantenimiento de registros. Cada archivo contiene las imágenes y los datos asociados. |
Rápidos resultados de medición | |
Veredicto de tolerancia | |
Mapa térmico |
Análisis de múltiples datos | |
Análisis comparativo de datos |
Especificaciones
Unidad principal
Modelo | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | ||
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Magnificación total | De 54x a 17.280x | |||||
Campo visual | De 16 µm a 5,120 µm | |||||
Principio de medida | Sistema óptico |
Microscopio confocal de escaneo láser de tipo reflexión
Microscopio DIC confocal de escaneo láser de tipo reflexión Color Color - Contraste de interferencia diferencial (DIC) | ||||
Principio de medida | Elemento receptor de luz |
Láser: Fotomultiplicador (2 canales)
Color: Cámara en colores CMOS | ||||
Medición de altura | Resolución de pantalla | 0,5 nm | ||||
Medición de altura | Rango dinámico | 16 bits | ||||
Medición de altura | Repetibilidad σn-1*1 *2 *5 | 5X: 0,45 μm; 10X: 0,1 μm; 20X: 0,03 μm; 50X : 0,012 μm; 100X : 0,012 μm | ||||
Medición de altura | Precisión *1 *3 *5 | 0,15+L/100μm (L: Longitud de medida [μm]) | ||||
Medición de altura | Precisión para imágenes de tipo mosaico *1 *3 *5 | 10X: 5,0+L/100 μm; 20X o superior: 1,0+L/100 μm. L: Longitud de unión [μm] | ||||
Medición de altura | Ruido de medición (ruido Sq) *1 *4 *5 | 1 nm (tipo) | ||||
Medición de ancho | Resolución de pantalla | 1 nm | ||||
Medición de ancho | Repetibilidad de 3σn-1 *1 *2 *5 | 5X: 0,4 μm; 10X: 0,2 μm; 20X: 0,05 μm; 50X: 0,04 μm; 100X: 0,02 μm | ||||
Medición de ancho | Precisión *1 *3 *5 | Valor de medida de +/- 1,5 % | ||||
Medición de ancho | Precisión para imágenes de tipo mosaico *1 *3 *5 | 10X: 24+0.5L μm, 20X: 15+0.5L μm, 50X: 9+0.5L μm, 100X: 7+0.5L μm (L: Longitud de unión [mm]) | ||||
Cantidad máxima de puntos de datos en una sola medición | 4096 × 4096 píxeles | |||||
Número máximo de puntos de medición | 36 megapíxeles | |||||
Configuración de platina XY | Módulo de medición de longitud | • | A. N. | A. N. | • | |
Configuración de platina XY | Rango de funcionamiento | 100 × 100 mm (3,9 × 3,9 pulg.) Motorizado | 100 × 100 mm (3,9 × 3,9 pulg.) Manual | 300 × 300 mm (11,8 × 11,8 pulg.) Motorizado | 100 × 100 mm (3,9 × 3,9 pulg.) Motorizado | |
Altura máxima de muestra | 100 mm (3,9 pulg.) | 40 mm (1,6 pulg.) | 37 mm (1,5 pulg.) | 210 mm (8,3 pulg.) | ||
Fuente de luz láser | Longitud de onda | 405 nm | ||||
Fuente de luz láser | Salida máxima | 0,95 mW | ||||
Fuente de luz láser | Clase de láser | Clase 2 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)*6 | ||||
Fuente de luz en color | LED blanco | |||||
Potencia eléctrica | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | ||
Masa | Cuerpo del microscopio | Cerca de 31 kg (68,3 lb) | Cerca de 32 kg (70,5 lb) | Cerca de 50 kg (110,2 lb) | Cerca de 43 kg (94,8 lb) | |
Masa | Caja de control | Cerca de 12 kg (26,5 lb) |
*1 Función garantizada al ser usada bajo condiciones de temperatura ambiente y humedad (temperatura: 20˚C ± 1˚C, humedad: 50 % ± 10 %) conforme con las normas ISO554 (1976) y JIS Z-8703(1983).
*2 Para 20x o más cuando se mide con los objetivos de la serie MPLAPON LEXT.
*3 Al ser medido con los objetivos destinados al LEXT.
*4 Valor típico cuando se mide con el objetivo MPLAPON100XLEXT. Puede diferir del valor garantizado.
*5 Garantizado por el Sistema de Certificación de Evident.
*6 El microscopio OLS5100 es un producto láser de clase 2. No mire el haz.
** La licencia OS de Windows 10 ha sido certificada para el controlador del microscopio proporcionado por Evident. Por lo tanto, las condiciones de la licencia de Microsoft se aplican y usted las acepta. Consulte a continuación las condiciones de la licencia de Microsoft.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm
Objetivos
Series | Modelo | Apertura numérica (A. N.) | Distancia de trabajo (D. T.) [mm] |
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Lente de objetivo UIS2 | MPLFLN2.5X | 0.08 | 10,7 |
MPLFLN5X | 0.15 | 20 | |
Lente de objetivo LEXT específica (10X) | MPLFLN10XLEXT | 0.3 | 10,4 |
Lente de objetivo LEXT específica (tipo de alto rendimiento) | MPLAPON20XLEXT | 0.6 | 1 |
MPLAPON50XLEXT | 0.95 | 0,35 | |
MPLAPON100XLEXT | 0.95 | 0,35 | |
Lente de objetivo LEXT específica (tipo de larga distancia de trabajo) | LMPLFLN20XLEXT | 0.45 | 6,5 |
LMPLFLN50XLEXT | 0.6 | 5.2 | |
LMPLFLN100XLEXT | 0.8 | 3,4 | |
Lente de distancia de trabajo súper larga | SLMPLN20X | 0,25 | 25 |
SLMPLN50X | 0,35 | 18 | |
SLMPLN100X | 0.6 | 7,6 | |
Larga distancia de trabajo para lente LCD | LCPLFLN20XLCD | 0.45 | 8.3-7.4 |
LCPLFLN50XLCD | 0.7 | 3.0-2.2 | |
LCPLFLN100XLCD | 0.85 | 1.2-0.9 |
Software de aplicaciones
Software de serie | OLS51-BSW | |||
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Software de serie | Aplicación de adquisición de datos | Aplicación de análisis (análisis simple) | ||
Aplicación para el paquete de platina motorizada*1 | OLS50-S-MSP | |||
Aplicación de análisis avanzados*2 | OLS50-S-AA | |||
Aplicación de medición de espesor de película | OLS50-S-FT | |||
Aplicación de medición automática de perfiles | OLS50-S-ED | |||
Aplicación de análisis de partículas | OLS50-S-PA | |||
Aplicación de asistencia experimental completa | OLS51-S-ETA | |||
Aplicación de análisis de ángulo superficial de cilindro/esfera | OLS50-S-SA |
*1 Incluye la función de adquisición de datos automática en mosaico y la función de adquisición de datos de múltiples áreas.
*2 Incluye el análisis de perfil, análisis de diferencia, análisis de altura de paso, análisis de superficie, análisis de área/volumen, análisis de rugosidad de línea, análisis de rugosidad de área y análisis de histograma.
Microscopios láser de Evident
Ejemplo de configuración de OLS5100-SAF
OLS5100-SAF
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OLS5100-EAF
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OLS5100-SMF
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OLS5100-LAF
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