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工业解决方案

显微镜解决方案
OLS5100

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概述

LEXT™ OLS5100 3D激光扫描显微镜

用于材料分析的激光显微镜

更智能的工作流程,更快速的实验设计

适用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光显微镜将卓越的测量精度和光学性能与智能工具相结合,让显微镜更加方便使用。通过快速高效精确测量亚微米级形状和表面粗糙度的可靠数据简化您的工作流程。

观看视频
3D显微镜

简化材料工程和失效分析实验

智能实验管理助手能够自动执行此前需要耗费大量时间的任务,让您对亚微米的3D观察和失效分析工作流程更加简单。

  • 自动创建您的实验计划
  • 将数据自动填充到实验计划矩阵中,减少错误输入的机会
  • 一目了然的数据趋势可视化工具

保证测量准确度

LEXT显微镜物镜可提供高度准确的测量数据。与智能物镜选择助手(Smart Lens Advisor)搭配使用,就可获得可靠的高精度数据。

  • 有保证的测量准确度*
  • 奥林巴斯享誉世界的光学器件能够以更低像差在整个视场中捕捉样品的真实形貌
  • 智能物镜选择助手(Smart Lens Advisor)还可帮助您选择合适的物镜进行粗糙度测量
*本网页上包括保证的准确度在内的信息基于奥林巴斯设定的条件。
工业显微镜物镜

轻松的激光扫描显微观察

精心设计的软件让新手和经验丰富的用户都能够轻松使用显微镜。

  • 轻松获得准确数据——将样品放在载物台上按下开始按钮即可
  • 在客户的实验环境下也能提供有保证的测试结果

立即下载手册

了解有关OLS5100激光显微镜的更多信息

下载

软件

简化材料工程与失效分析实验管理

测试新材料时的实验条件管理具有复杂性,OLS5100激光显微镜的智能实验管理助手(Smart Experiment Manager)可通过关键步骤(如创建实验计划)自动化简化这一过程。

  • 提升30%的速度加快完成测量任务 *
  • 扫描计划随数据采集自动生成
  • 无需花费时间转录数据,软件为您自动完成

*与OLS5000相比

法证工程软件
材料研究实验矩阵

自动数据输入

软件会自动将值添加到实验计划矩阵中,以尽可能减少输入错误的可能。只需点击几下鼠标,就可以将实验数据导出到Excel电子表格。

简捷的实验条件数据管理

通过点击实验计划中的每个单元格,软件即可自动生成包含评估条件的文件名,从而方便保存记录。每个文件均包含相关联的图像和数据。

材料研究实验条件
失效分析3D成像

全方位数据采集

显微镜根据软件生成的实验计划扫描样品,不会让您丢失数据或重复工作。

轻松发现问题

彩色图谱可帮助您了解实验数据并验证是否存在数据丢失和错误。如果存在问题,您可以尽早发现并解决。

材料研究数据可视化
物镜选择助手

选择合适的物镜

智能物镜选择助手(Smart Lens Advisor)还可帮助您为粗糙度测量应用选择合适的物镜只需选择合适的物镜,再点击开始,智能物镜选择助手(Smart Lens Advisor)就会告诉您该物镜的推荐程度。

轻松的数据采集

经验丰富的用户和新手均可以利用Smart Scan II功能快速轻松获取数据。将样品放在载物台上,按下“启动”按钮,显微镜即可自动完成其余操作。

材料工程数据采集

立即下载手册

了解有关OLS5100激光显微镜的更多信息

下载

技术参数

主机

型号 OLS5100-SAF OLS5100-SMF OLS5100-LAF OLS5100-EAF
总倍率

54x–17,280x

视场

16 µm–5,120 µm

测量原理 光学系统 反射式共焦激光扫描激光显微镜
反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜
颜色
彩色DIC
测量原理 光接收元件 激光:光电倍增管(2通道)
彩色:CMOS彩色相机
高度测量 显示分辨率 0.5 nm
高度测量 动态范围 16位
高度测量 重复性σn -1*1 *2 *5 5X:0.45 μm, 10X:0.1 μm, 20X : 0.03 μm, 50X : 0.012 μm, 100X : 0.012 μm
高度测量 准确度*1 *3 *5 0.15 + L / 100μm(L:测量长度[μm])
高度测量 拼接图像准确度*1 *3 *5 10X:5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接长度[μm])
高度测量 测量噪声(Sq噪声)*1 *4 *5 1 nm(典型值)
宽度测量 显示分辨率 1 nm
宽度测量 重复性3σn-1  *1 *2 *5 

5X: 0.45 µm, 10X: 0.1 µm, 20X: 0.03 µm, 50X: 0.012 µm, 100X: 0.012 µm

宽度测量 准确度*1 *3 *5 测量值+/- 1.5%
宽度测量 拼接图像准确度*1 *3 *5 10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接长度[mm])
单次测量时最大测量点数量

4096 × 4096像素

最大测量点数量

3600万像素

XY载物台配置 长度测量模块 • 不适用 不适用 •
XY载物台配置 工作范围

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手动

300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 电动

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 电动

最大样品高度

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.)

30 mm (1.2 in.)

30 mm (1.2 in.)

210 mm (8.3 in.)

激光光源 波长 405 nm
激光光源 最大输出 0.95 mW
激光光源 激光等级 2级(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014)
彩色光源 白光LED
电气功率 240 W 240 W 278 W 240 W
质量 显微镜主体 约 31 kg 约 32 kg 约 50 kg 约 43 kg
质量 控制箱 约 12 kg

*1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境下使用时提供保证(温度:20?C±1?C,湿度:50%±10%),如ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)所规定。
*2 在使用MPLAPON LEXT系列物镜测量时倍率20x或更高。
*3 在使用专用LEXT物镜测量时。
*4使用MPLAPON100XLEXT物镜测量时的典型值。
*5 基于奥林巴斯认证系统下的保证。

** Window 10的OS许可已通过奥林巴斯提供的显微镜控制器认证。因此接受Microsoft许可条款即表示您同意这些条款。有关Microsoft的许可条款,请参阅以下内容。
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm


物镜

系列 型号 数值孔径(NA) 工作距离(WD)(mm)
UIS2?物镜 MPLFLN2.5x 0.08 10.7
MPLFLN5x 0.15 20

专用LEXT物镜(10X)

MPLFLN10xLEXT 0.3 10.4

专用LEXT物镜(高性能型)

MPLAPON20xLEXT 0.6 1
MPLAPON50xLEXT 0.95 0.35
MPLAPON100xLEXT 0.95 0.35

专用LEXT物镜(长工作距离型)

LMPLFLN20xLEXT 0.45 6.5
LMPLFLN50xLEXT 0.6 5.2
LMPLFLN100xLEXT 0.8 3.4
超长工作距离物镜 SLMPLN20x 0.25 25
SLMPLN50x 0.35 18
SLMPLN100x 0.6 7.6
适用于LCD样品的长工作距离物镜 LCPLFLN20xLCD 0.45 8.3-7.4
LCPLFLN50xLCD 0.7 3.0-2.2
LCPLFLN100xLCD 0.85 1.2-0.9

应用软件

标准软件 OLS51-BSW
标准软件 数据采集app 分析应用程序(简单分析)
电动载物台套件应用*1 OLS50-S-MSP
高级分析应用*2 OLS50-S-AA
薄膜厚度测量应用 OLS50-S-FT
自动边缘测量应用 OLS50-S-ED
颗粒物分析应用 OLS50-S-PA
智能实验管理助手应用 OLS51-S-ETA 
球体/圆柱体表面角度分析应用 OLS50-S-SA 

*1包括自动拼接数据采集和多区域数据采集功能。
*2包括轮廓分析、差值分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、线粗糙度分析、面粗糙度分析和直方图分析。


奥林巴斯激光显微镜

OLS5000-SAF Setup Example

OLS5100-SAF设置示例

OLS5100-SAF

  • 100毫米电动载物台
  • 最大样品高度:100 mm (3.9 in.)

OLS5000-SAF

OLS5000-SAF - Dimention

OLS5100-EAF

  • 100毫米电动载物台
  • 最大样品高度:210 mm (8.3 in.)

OLS5000-EAF

OLS5000-EAF - Dimention

OLS5100-SMF

  • 100毫米电动载物台
  • 最大样品高度:40 mm (1.6 in.)

OLS5000-SMF

OLS5000-SMF - Dimention

OLS5100-LAF

  • 300毫米电动载物台
  • 最大样品高度:37 mm (1.5 in.)

OLS5000-LAF

OLS5000-LAF  - Dimention

控制单元

PC计算机和控制单元-尺寸

资源

应用注释

Copper Foil Surface Roughness for 5G Printed Circuit Boards
Laser Groove Profiling in Semiconductor Wafers Using the OLS5000 Laser Confocal Microscope
Precisely Measuring the Steep Gradient of a Miniature Bearing for a Rotating Dental Drill
Evaluating the Anti-Glare Property of a Speedometer Cover with High Precision Using a Laser Scanning 3D Microscope
使用激光扫描共聚焦显微镜测量医用注射针的表面粗糙度
High-precision three-dimensional measurement : Measuring the shape of microchannels with a 3D laser microscope (Japanese only)
Inspecting the Cavity Profile of Xenon Difluoride (XeF2) Etched Silicon (Si) Wafers for Suspended Antenna-Coupled Nanothermocouples
环保汽车齿面的粗糙度测量
测量键合引线球状端部的轮廓
测量感光耐蚀膜的厚度
集成电路微型凸块高度的测量
Measuring the shape of scratches on vehicle-mounted camera lenses
测量医用导管内壁的粗糙度
Measuring the shape of an automotive millimeter-wave radar’s circuit board
Measuring the Layer Profiles of Thin-Film Solid-State Lithium-Ion Batteries Manufactured Using the Inkjet Technique
测量引线框晶片垫的表面粗糙度
Measuring the Roughness of Lithium-Ion Battery Electrodes Using a Laser Microscope
测量锂离子电池电极集电器的表面粗糙度
凸轮轴的凸轮凸角的表面粗糙度测量
使用激光显微镜进行的引擎阀门的粗糙度测量
Headlamp Lens Waviness Measurement Using a Laser Microscope
Observation and measurement of profile changes in wiper blades using a laser microscope
使用激光显微镜进行油封表面轮廓测量
Measurement of the inner wall waviness and roughness of a turbocharger housing using a laser microscope
Evaluating the Roughness of Raceway Grooves in the Inner and Outer Rings of a Ball Bearing
Evaluating the shape of plastic bottle drinking spouts
Inner/outer wall roughness of a metal tube
Evaluating the Oil Groove Configuration of the Big End of Connecting Rods
Evaluation of Oil Grooves on the Sides of Pistons
Evaluation of the Inner Surface of Cylinder Liners
评估饮水口的塑料瓶盖上的通风孔的形状
评估存储卡的表面粗糙度
使用LEXT OLS5000激光显微镜对汽车车门开关压花进行3D评估
Evaluating the Internal Roughness of Injector Nozzles
Roughness Evaluation of the Side Surface of Piston Rings
金属加工制品上的毛刺
High-definition observation of the metal structure of materials for thermal power plant piping
咖啡奶油单份容器的表面粗糙度
拉链塑料袋紧固件滑轨的表面粗糙度
使用激光扫描数码显微镜进行钢板表面织构形貌分析
Measuring the volume of adhesive drops
纸盒穿孔尺寸测量
电容器压纹载带尺寸测量
Step measurement of transparent film applied to a glass surface
Inspection of the processed shape of expanded metal
通过使用激光显微镜进行灰度掩模/非接触式三维表面轮廓测量对光掩模透镜阵列进行形状评价
Inspection in the MEMS Manufacturing Process/3D shape measurement of a micron-sized area using a laser microscope
Evaluation of razor blade edges/Micro shape measurement using a laser microscope
Evaluating the Coating on a Smartphone Housing / Film thickness measurement and 3D surface profile measurement using a laser microscope
Roughness Evaluation of the Inner Lead of a Lead Frame / Surface roughness measurement of a micro area using a laser microscope
使用激光显微镜进行金属表面标记形状评价/三维形状测量
不锈钢的表面粗糙度测量/使用激光显微镜测量微型表面粗糙度
Ripple Marks Formed in Die-Casting / 3D shape measurement using a laser microscope
Surface Observation of Various Fibers for Fabrics/ 3D shape observation of a micro area using a laser microscope
LCD扩散板的表面轮廓评估/使用激光显微镜进行非接触式三维形状测量
纺织机械陶瓷零件的表面粗糙度/使用激光显微镜进行微米级尺寸区域的表面粗糙度测量。
垫片环的表面轮廓评估/使用激光显微镜进行非接触式三维形状测量
Evaluating the surface profile (roughness) of coated abrasives / Non-contact 3D shape measurement using a laser microscope
LCD导光板的表面轮廓/使用激光显微镜进行非接触式三维形状测量
热喷涂的表面轮廓评估/使用激光显微镜进行表面粗糙度测量
使用激光显微镜进行螺钉形状和表面粗糙度测量/表面粗糙度测量
喷墨打印纸和普通纸的表面观察: 使用激光显微镜进行非接触式3D剖面评估
Quality management in working with extra-fine tubes / Surface roughness analysis of a micro area using a laser microscope
Quantitative Investigations of the Interconnect
Looking towards a Future of Affordable Solar Energy
Studying the Electro-mechanical Behavior of Thin Films
使用奥林巴斯OLS4100激光扫描共聚焦显微镜进行柔性印制基板的表面粗糙度测量
Evaluating the Contacting Terminals of Wafer Level Chip Size Packages (CSPs) using the Olympus OLS4100 Laser Confocal Microscope
使用奥林巴斯OLS5000激光共聚焦显微镜测量激光切割应用中的渣滓
使用奥林巴斯的OLS5000激光共聚焦显微镜测量滚珠轴承的表面粗糙度
使用奥林巴斯OLS5000激光共聚焦显微镜测量牙植入物金属部分的表面粗糙度
使用奥林巴斯OLS5000激光扫描共聚焦显微镜进行的滑动金属表面的粗糙度测量
使用奥林巴斯OLS5000激光共聚焦显微镜测量印制电路板的表面粗糙度
使用奥林巴斯OLS5000激光共聚焦显微镜对立方氮化硼(CBN)尖头工具进行耐磨性评估
使用奥林巴斯OLS5000激光共聚焦显微镜对金刚石电沉积工具进行3D形状评估
Sectioning Analysis for Ball Grid Array (BGA) Surface Mounting of Semiconductor Package using the Olympus OLS5000 Laser Confocal Microscope
Setting standards in optical metrology at the PTB
Multi-Scale Analysis: Evaluating Measured Topographies on Surfaces Made by Additive Manufacturing (3D Printing)
Quantifying Microwear: The Effectiveness of LSCM and ReIA for Surface Roughness Analysis of Experimental Mistassini Quartzite Scrapers
用于替代能源的替代材料
Gaining the Edge: The Design and Development of a Device Equipped to Create 3D Ski Edge Measurements
Maximizing Data Recovery: Utilizing 3D Digital Laser Microscopy to Image Damaged Optical Media
Evaluating New Methods of Dental Erosion Analysis
The future of industrial quality control
Evaluating Sample Preparation of Stone Tools: Effects of Cleaning on Surface Measurements
Quilt Packaging: Lining Up an Array of Opportunities
Robot Insect Wings
 显示更多

视频

OLS5100介绍视频
OLS5100智能实验管理助手
OLS5100简单分析
OLS5100智能扫描II
OLS5100连续自动对焦
OLS5100实时宏观地图
 显示更多

幻灯片分享

利用3D激光显微镜对受损光学元件成像
利用激光显微镜评估滑雪板板刃的锐利度
保护经典——沃尔特迪斯尼家庭博物馆的工业显微镜和文物保护
使用RTI和3D激光扫描共聚焦显微镜评估古代雅典希腊花瓶上的浮雕和轮廓线
 显示更多

在线研讨会

Smart Workflows with Advanced Laser Scanning Microscope Measurements and Experiments
Making a Better Design of Experiment with the Smart Experiment Manager
网络研讨会:您需要了解的表面计量学的5件事
 显示更多

白皮书

使用LEXT激光扫描显微镜完成粗糙度测量
激光扫描显微镜的基本原理

常见问题

学习工业显微镜

产品信息说明册

LEXT OLS5100手册

解决方案

金属工业检测解决方案
风力涡轮机的检测解决方案
腐蚀检测解决方案
复合材料检测解决方案
测量解决方案
 显示更多

个案分析

案例研究:快速准确地检测表面的划痕 - LEXT OLS5000在克罗达公司大显身手

书籍

Advanced Optical Metrology 03: Thin Film Metrology
Advanced Optical Metrology: Thin Film Metrology
先进光学计量——增材制造
LEXT粗糙度测量指南
 显示更多

博客

Surface Roughness Measurement: Practical Tips to Get Started
主页/ 产品/ 激光共焦显微镜/ OLS5100
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