개요
LEXT™ OLS5100 3D 레이저 스캐닝 현미경
물질 분석용 레이저 현미경
스마트한 워크플로, 보다 빠른 실험
불량 분석 및 재료 공학 연구용으로 제작된 OLS5100 레이저 현미경은 놀라운 수준의 측정 정확성과 광학 성능, 그리고 현미경을 쉽게 사용하는 데 도움이 되는 스마트 도구를 하나로 합친 제품입니다. 1미크론 미만의 수준에서 형태와 표면 거칠기를 빠르고, 정확하고, 효율적으로 측정해서 워크플로를 간소화하고 신뢰할 수 있는 데이터를 수집하세요.
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손쉬운 재료 공학 및 불량 분석 실험스마트 실험 매니저는 기존에 많은 시간을 요하던 작업을 자동화하여 1미크론 미만의 3D 관찰 및 불량 분석 실험 워크플로를 간소화합니다.
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측정의 정확성 보장
LEXT 현미경 대물 렌즈는 매우 정확한 측정 데이터를 제공합니다. 스마트 렌즈 어드바이저와 함께 사용하면 신뢰할 수 있는 정확한 데이터를 수집 가능합니다.
- 측정의 정확성 보장*
- 명성이 높은 Olympus 광학 장치는 수차를 감소시켜서 시야 전체에서 샘플의 정확한 형태를 캡처할 수 있게 해줍니다
- 스마트 렌즈 어드바이저는 사용자가 거칠기 측정에 적합한 대물 렌즈를 선택할 수 있도록 도와줍니다

쉽게 사용할 수 있는 레이저 스캐닝 현미경세심하게 설계된 소프트웨어 덕분에 초보자와 숙련된 사용자 모두 쉽게 현미경을 사용할 수 있습니다.
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소프트웨어
간편한 재료 공학 및 불량 분석 실험 관리
새로운 물질을 실험할 때 실험 조건을 관리하는 것은 까다로운 작업이므로, OLS5100 레이저 현미경의 스마트 실험 매니저는 실험 계획 수립과 같은 주요 단계를 자동화하여 절차를 간소화합니다.
- 측정 작업을 최대 30% 더 빠르게 완료하세요*
- 수집되는 데이터가 스캔 계획에 자동으로 입력됩니다
- 데이터를 옮겨 적느라 귀중한 시간을 낭비하지 마세요. 소프트웨어에 맡기세요
*OLS5000+ 대비
손쉬운 실험 조건 데이터 구성
사용자가 실험 계획의 각 셀을 클릭하면, 소프트웨어가 자동으로 평가 조건이 포함된 파일명을 생성하므로 기록을 유지하기가 편합니다. 각각의 파일에는 관련 이미지와 데이터가 포함됩니다.

쉽게 데이터 문제를 찾아내세요
컬러 맵은 사용자가 실험 데이터를 이해하고, 누락된 데이터 및 오류가 없음을 확인하는 데 도움이 됩니다. 문제가 있을 경우, 사용자가 절차 초반에 문제를 발견하고 해결할 수 있습니다.

적절한 대물 렌즈를 선택하세요
스마트 렌즈 어드바이저(Smart Lens Advisor)는 사용자가 표면 거칠기 측정 용도에 딱 맞는 대물 렌즈를 선택할 수 있도록 도와줍니다. 시야 및 사용하고자 하는 렌즈와 같은 몇 가지 기본 정보만 입력하세요. 그러면 어드바이저가 선택된 렌즈가 원하는 용도에 얼마나 적합한지 알려줍니다.
간편한 데이터 수집
스마트 스캔 II를 사용하면 숙련된 사용자와 초보자 모두 똑같이 쉽고 빠르게 데이터를 수집할 수 있습니다. 샘플을 스테이지에 놓고, 시작 버튼을 누르기만 하세요. 나머지 작업은 현미경이 알아서 완료할 테니까요.


사양
주 장치
모델 | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | ||
---|---|---|---|---|---|---|
총 배율 | 54x–17,280x | |||||
시야 | 16µm–5,120µm | |||||
측정 원리 | 광학 시스템 |
반사형 컨포칼 레이저 스캐닝 레이저 현미경
반사형 컨포칼 레이저 스캐닝 레이저-DIC 현미경 컬러 컬러-DIC | ||||
측정 원리 | 수광 요소 |
레이저: 광전자 증배관(2채널)
컬러: CMOS 컬러 카메라 | ||||
높이 측정 | 디스플레이 해상도 | 0.5nm | ||||
높이 측정 | 다이나믹 레인지 | 16비트 | ||||
높이 측정 | 반복성 σn-1*1 *2 *5 | 5X: 0.45μm, 10X: 0.1μm, 20X: 0.03μm, 50X: 0.012μm, 100X: 0.012μm | ||||
높이 측정 | 정확성 *1 *3 *5 | 0.15+L/100μm(L: 측정 길이[μm]) | ||||
높이 측정 | 스티칭된 이미지의 정확성 *1 *3 *5 | 10X: 5.0+L/100μm, 20X 이상: 1.0+L/100μm (L: 스티칭 길이[μm]) | ||||
높이 측정 | 측정 노이즈(Sq 노이즈) *1 *4 *5 | 1nm(유형) | ||||
폭 측정 | 디스플레이 해상도 | 1nm | ||||
폭 측정 | 반복성 3σn-1 *1 *2 *5 | 5X: 0.45µm, 10X: 0.1µm, 20X: 0.03µm, 50X: 0.012µm, 100X: 0.012µm | ||||
폭 측정 | 정확성 *1 *3 *5 | 측정 값 +/- 1.5% | ||||
폭 측정 | 스티칭된 이미지의 정확성 *1 *3 *5 | 10X: 24+0.5Lμm, 20X: 15+0.5Lμm, 50X: 9+0.5Lμm, 100X: 7+0.5Lμm (L: 스티칭 길이[mm]) | ||||
단일 측정 시의 최대 측정 지점 수 | 4096 × 4096 픽셀 | |||||
최대 측정 지점 수 | 3,600만 화소 | |||||
XY 스테이지 구성 | 길이 측정 모듈 | • | NA | NA | • | |
XY 스테이지 구성 | 작동 범위 | 100 × 100mm(3.9 × 3.9in.) 전동 | 100 × 100mm(3.9 × 3.9in.) 수동 | 300 × 300mm(11.8 × 11.8in.) 전동 | 100 × 100mm(3.9 × 3.9in.) 전동 | |
최대 샘플 높이 | 100 × 100mm(3.9 × 3.9in.) | 30mm(1.2in.) | 30mm(1.2in.) | 210mm (8.3in.) | ||
레이저 광원 | 파장 | 405nm | ||||
레이저 광원 | 최대 출력 | 0.95mW | ||||
레이저 광원 | 레이저 등급 | 2등급(IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | ||||
색 광원 | 백색 LED | |||||
전력 | 240W | 240W | 278W | 240 W | ||
부피 | 현미경 본체 | 약 31kg(68.3lb) | 약 32kg(70.5lb) | 약 50kg(110.2lb) | 약 43kg(94.8lb) | |
부피 | 제어 박스 | 약 12kg(26.5lb) |
*1 ISO554(1976), JIS Z-8703(1983)에 명시된 항온 및 항온 환경에서 사용 시 보장됩니다 (온도: 20˚C±1˚C, 습도: 50%±10%).
*2 20x 이상의 경우, MPLAPON LEXT 시리즈 대물 렌즈로 측정 시.
*3 전용 LEXT 대물 렌즈로 측정 시.
*4 MPLAPON100XLEXT 대물 렌즈로 측정했을 때의 일반 값이며, 보장된 값과 다를 수 있습니다.
*5 Olympus 인증 시스템에 따라 보장됩니다.
** Window 10 OS 라이선스는 Olympus에서 판매하는 현미경 컨트롤러에 사용 가능한 것으로 인증됐습니다. 이에 따라 Microsoft의 라이선스 계약 내용이 적용되며, 사용자는 이 내용을 준수하는 것에 동의합니다. 자세한 내용은 Microsoft 라이선스 계약을 참조하시기 바랍니다.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm
대물 렌즈
시리즈 | 모델 | 개구수(NA) | 작동 거리(WD)(mm) |
---|---|---|---|
UIS2 대물 렌즈 | MPLFLN2.5x | 0.08 | 10.7 |
MPLFLN5x | 0.15 | 20 | |
LEXT 전용 대물 렌즈(10X) | MPLFLN10xLEXT | 0.3 | 10.4 |
LEXT 전용 대물 렌즈(고성능 유형) | MPLAPON20xLEXT | 0.6 | 1 |
MPLAPON50xLEXT | 0.95 | 0.35 | |
MPLAPON100xLEXT | 0.95 | 0.35 | |
LEXT 전용 대물 렌즈(긴 작동 거리 유형) | LMPLFLN20xLEXT | 0.45 | 6.5 |
LMPLFLN50xLEXT | 0.6 | 5.2 | |
LMPLFLN100xLEXT | 0.8 | 3.4 | |
매우 긴 작동 거리를 가진 렌즈 | SLMPLN20x | 0.25 | 25 |
SLMPLN50x | 0.35 | 18 | |
SLMPLN100x | 0.6 | 7.6 | |
LCD 렌즈의 긴 작동 거리 | LCPLFLN20xLCD | 0.45 | 8.3-7.4 |
LCPLFLN50xLCD | 0.7 | 3.0-2.2 | |
LCPLFLN100xLCD | 0.85 | 1.2-0.9 |
애플리케이션 소프트웨어
기본 소프트웨어 | OLS51-BSW | |||
---|---|---|---|---|
기본 소프트웨어 | 데이터 수집 앱 | 분석 앱 (단순 분석) | ||
전동 스테이지 패키지 애플리케이션*1 | OLS50-S-MSP | |||
고급 분석 애플리케이션*2 | OLS50-S-AA | |||
필름 두께 측정 애플리케이션 | OLS50-S-FT | |||
자동 가장자리 측정 애플리케이션 | OLS50-S-ED | |||
입자 분석 애플리케이션 | OLS50-S-PA | |||
실험 종합 지원 애플리케이션 | OLS51-S-ETA | |||
구형/원통형 표면각 분석 애플리케이션 | OLS50-S-SA |
*1 자동 스티칭 데이터 수집 및 다영역 데이터 수집 기능 포함.
*2 프로파일 분석, 차이 분석, 높이차 분석, 표면 분석, 면적/체적 분석, 선 거칠기 분석, 영역 거칠기 분석 및 막대 그래프 분석.
Olympus 레이저 현미경

OLS5100-SAF 설치 예시
OLS5100-SAF
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OLS5100-EAF
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OLS5100-SMF
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OLS5100-LAF
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