Краткий обзор
Лазерный сканирующий микроскоп LEXT™ OLS5100 3D
Лазерный микроскоп для анализа материалов
Оптимизированный рабочий процесс, быстрые эксперименты
Созданный для анализа отказов и исследований в области материаловедения, лазерный микроскоп OLS5100 сочетает в себе исключительную точность измерений, превосходные оптические характеристики и «умные» функции, оптимизирующие рабочий процесс. Точное измерение формы и шероховатости поверхности на субмикронном уровне упрощает рабочий процесс и гарантирует достоверность данных.
Смотреть видео
Эксперименты в области материаловедения и анализа неисправностей«Smart Experiment Manager» упрощает рабочие процессы 3D-наблюдения и анализа отказов на субмикронном уровне, автоматизируя ранее трудоемкие задачи.
|
Гарантированная точность измерений
Объективы микроскопа LEXT обеспечивают высокое качество данных измерений. А благодаря инструменту «Smart Lens Advisor» вы можете быть уверены в достоверности полученных данных.
- Гарантированная точность измерений*
- Оптическая система Olympus уменьшает аберрацию для правильного захвата формы вашего образца по всему полю зрения
- «Smart Lens Advisor» поможет вам выбрать правильный объектив для измерения шероховатости поверхности
Лазерная сканирующая микроскопияМикроскоп прост в использовании как для начинающих так и опытных пользователей благодаря тщательно продуманному программному обеспечению.
|
Software
Эффективное управление экспериментом в области материаловедения и анализа отказов
Управление условиями эксперимента при измерении новых материалов — сложная задача; но «Smart Experiment Manager» лазерного микроскопа OLS5100 упрощает процесс путем автоматизации основных этапов, например, создания плана эксперимента.
- Выполнение измерений на 30% быстрее*
- План сканирования автоматически заполняется данными по мере их получения.
- Не тратьте время на расшифровку данных — программа сделает все за вас.
*По сравнению с OLS5000
Автоматический ввод данных
Программное обеспечение автоматически добавляет значения в план-матрицу эксперимента, чтобы минимизировать вероятность ошибок ввода. Всего за пару кликов вы можете экспортировать данные в электронную таблицу Excel.
Простая организация данных условий эксперимента
Щелкните на каждую ячейку в плане эксперимента, и программа автоматически сгенерирует имя файла, содержащего условия оценки для удобства ведения записей. Каждый файл содержит соответствующие изображения и данные.
Комплексный сбор данных
Микроскоп сканирует образец в соответствии с планом эксперимента, разработанным в программном обеспечении во избежание пропуска данных или повторного выполнения задач.
Быстрое выявление проблем с данными
Цветовая карта помогает понять результаты эксперимента, убедиться в отсутствии ошибок и в том, что данные не были потеряны. Если есть проблема, вы можете выявить и исправить ее на более раннем этапе.
Выбор подходящего объектива
«Smart Lens Advisor» поможет вам выбрать нужный объектив для измерения шероховатости поверхности. Введите основную информацию — например, поле зрения и используемый объектив, и «Advisor» сообщит вам, насколько он подходит для данной задачи.
Легкий сбор данных
Как начинающие, так и опытные пользователи могут быстро и легко получить данные с помощью функции Smart Scan II. Поместите образец на столик и нажмите кнопку «Пуск» — микроскоп сделает все остальное.
Технические характеристики
Главный модуль
| Модель | OLS5100-SAF | OLS5100-SMF | OLS5100-LAF | OLS5100-EAF | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Общий коэффициент увеличения | 54x–17,280x | |||||
| Поле обзора | 16 мкм–5,120 мкм | |||||
| Принцип измерения | Оптическая система |
Лазерный сканирующий конфокальный микроскоп отражательного типа
Лазерный сканирующий конфокальный микроскоп отражательного типа + ДИК Цвет Цвет-ДИК | ||||
| Принцип измерения | Фотодетектор |
Лазер: Фотоумножитель (2 канала)
Цвет: Цветная CMOS-камера | ||||
| Измерение высоты | Разрешение экрана | 0,5 нм | ||||
| Измерение высоты | Динамический диапазон | 16 бит | ||||
| Измерение высоты | Воспроизводимость σn-1*1 *2 *5 | 5X: 0,45 мкм, 10X: 0,1 мкм, 20X: 0,03 мкм, 50X: 0,012 мкм, 100X: 0,012 мкм | ||||
| Измерение высоты | Погрешность *1 *3 *5 | 0,15+L/100 мкм (L: измеряемая длина [мкм]) | ||||
| Измерение высоты | Погрешность сшитого изображения *1 *3 *5 | 10X: 5.0+L/100мкм, 20X или выше: 1.0+L/100мкм (L: Длина сшивки [мкм]) | ||||
| Измерение высоты | Помехи при измерении (Sq) *1 *4 *5 | 1 нм (Тип) | ||||
| Измерение ширины | Разрешение экрана | 1 нм | ||||
| Измерение ширины | Воспроизводимость 3σn-1 *1 *2 *5 | 5X: 0,4 мкм, 10X: 0,2 мкм, 20X: 0.05 мкм, 50X: 0,04 мкм, 100X: 0,02 мкм | ||||
| Измерение ширины | Погрешность *1 *3 *5 | Значение измерения +/- 1,5 % | ||||
| Измерение ширины | Погрешность сшитого изображения *1 *3 *5 | 10X: 24+0,5L мкм, 20X: 15+0,5L мкм, 50X: 9+0,5L мкм, 100X: 7+0,5L мкм (L: Длина сшивки [мм]) | ||||
| Макс. количество точек измерения в одном измерении | 4096 × 4096 пикселей | |||||
| Макс. количество точек измерения | 36 мегапикселей | |||||
| Конфигурация XY столика | Модуль измерения длины | • | NA | NA | • | |
| Конфигурация XY столика | Рабочий диапазон | 100 × 100 мм Моториз. | 100 × 100 мм Ручн. | 300 × 300 мм Моториз. | 100 × 100 мм Моториз. | |
| Макс. высота образца | 100 × 100 мм | 30 мм | 30 мм | 210 мм | ||
| Источник лазерного излучения | Длина волны | 405 нм | ||||
| Источник лазерного излучения | Макс. выходная мощность | 0,95 мВт | ||||
| Источник лазерного излучения | Класс лазера | Класс 2 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | ||||
| Источник цветного света | Белый светодиод | |||||
| Электропитание | 240 Вт | 240 Вт | 278 Вт | 240 Вт | ||
| Масса | Корпус микроскопа | Прибл. 31 кг | Прибл. 32 кг | Прибл. 50 кг | Прибл. 43 кг | |
| Масса | Блок управления | Прибл. 12 кг | ||||
*1 В условиях постоянной температуры и постоянной температуры окружающей среды (температура: 20˚C±1˚C, влажность: 50%±10%), указанной в ISO554(1976), JIS Z-8703(1983).
*2 Значение 20х или больше достигается при выполнении измерения с объективами серии MPLAPON LEXT.
*3 При выполнении измерения со специализированным объективом LEXT.
*4 Стандартное значение при выполнении измерения с объективом MPLAPON100XLEXT, может отличаться от гарантируемого значения.
*5 Гарантировано системой сертификации Olympus.
** Лицензия ОС Windows 10 сертифицирована для контроллера микроскопа, предоставленного Olympus. Таким образом, применяются условия лицензии Microsoft, и вы соглашаетесь с ними. Условия лицензии Microsoft см. ниже.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm
Объективы
| Серия | Модель | Числовая апертура (NA) | Рабочее расстояние (WD) (мм) |
|---|---|---|---|
| Линза объектива UIS2 | MPLFLN2.5x | 0,08 | 10,7 |
| MPLFLN5x | 0,15 | 20 | |
Специальный объектив LEXT (10X) | MPLFLN10xLEXT | 0,3 | 10,4 |
Специальный объектив LEXT (высокопроизводительный) | MPLAPON20xLEXT | 0,6 | 1 |
| MPLAPON50xLEXT | 0,95 | 0,35 | |
| MPLAPON100xLEXT | 0,95 | 0,35 | |
Специальный объектив LEXT (с длинным фокусным расстоянием) | LMPLFLN20xLEXT | 0,45 | 6,5 |
| LMPLFLN50xLEXT | 0,6 | 5,2 | |
| LMPLFLN100xLEXT | 0,8 | 3,4 | |
| Объектив со сверхдлинным фокусным расстоянием | SLMPLN20x | 0,25 | 25 |
| SLMPLN50x | 0,35 | 18 | |
| SLMPLN100x | 0,6 | 7,6 | |
| Длинное рабочее расстояние для ЖК-линзы | LCPLFLN20xLCD | 0,45 | 8.3-7.4 |
| LCPLFLN50xLCD | 0,7 | 3.0-2.2 | |
| LCPLFLN100xLCD | 0,85 | 1.2-0.9 |
Прикладное ПО
| Стандартное ПО | OLS51-BSW | |||
|---|---|---|---|---|
| Стандартное ПО | Приложение для сбора данных | Приложение для анализа (простой анализ) | ||
| Приложение для моторизованного столика*1 | OLS50-S-MSP | |||
| Приложение для расширенного анализа*2 | OLS50-S-AA | |||
| Приложение для измерения толщины пленки | OLS50-S-FT | |||
| Приложение для автоматического измерения контуров изображения | OLS50-S-ED | |||
| Приложение для анализа частиц | OLS50-S-PA | |||
| Экспериментальное приложение Total Assist | OLS51-S-ETA | |||
| Приложение для анализа угла скоса поверхности сферы/цилиндра | OLS50-S-SA | |||
*1 Включает функции сбора данных с автоматической сшивкой и сбора данных нескольких зон
*2 Включает анализ профиля, анализ различий, анализ высоты ступени, анализ поверхности, анализ площади/объема, анализ шероховатости линии, анализ шероховатости площади и анализ гистограммы.
Лазерные микроскопы Olympus
Пример установки OLS5100-SAF
OLS5100-SAF
|
|
|
OLS5100-EAF
|
|
|
OLS5100-SMF
|
|
|
OLS5100-LAF
|
|
|
Блок управления
