簡単操作

作業効率の向上: かんたん操作手順

長年の技術やノウハウを結集し、オペレーターのスキルに依存した調整作業を自動化。誰でもバラツキのない、正確な測定結果がスピーディーに得られます。

測りたい領域を指定するだけ- かんたん解析

かんたん解析は、測定箇所の領域を指定するだけで、段差、線幅、表面粗さ、体積などを測定できます。これまで測定結果のバラツキの原因となっていたエッジ部の位置指定や体積解析などの基準面のしきい値も自動で検出するため、オペレーターのスキルに依存することなく常に安定した測定結果を提供します。

2つの指定領域間の高低差と距離を測ります

面角度

2つの指定領域どうしの角度差を測ります

指定領域内の体積を測ります

面粗さ

指定領域内の表面粗さを測ります

指定領域内のエッジを自動検出し、幅を測ります

指定領域内の球形状を自動認識し、Rや基準面からの高さを測ります

1クリックで最適補正- 自動補正機能

従来のレーザー顕微鏡は、取得した個々のデータに対して、ノイズ除去や傾き補正などの前処理が必要でした。このような前処理は手間がかかるだけでなく、オペレーターのスキルにも依存し、測定品質を左右していました。OLS5000では、正しいデータはそのままに測定ノイズだけを自動的に除去する処理（スマートジャッジ）と、自動検出した主平面（基準面）を高さゼロの位置で水平にする処理（スマートレベリング）が、1クリックで実行できます。