系统具有自动数据采集功能,因而无需进行复杂的设置调整。甚至普通用户也可以获得准确的检测结果。 |
简单分析功能可仅在指定测量范围内测量台阶、线宽、表面粗糙度、面积和体积。自动检测测量结果变动的原因(如体积分析中参考平面的边缘位置和阈值)让测量结果保持稳定,不受操作员技能水平的影响。 |
测量两个指定区域之间的台阶高度差和距离 | 测量两个指定区域之间的角度差 | ||
测量指定区域的面积/体积;自动检测参考平面,因此无需设置阈值。 | 测量指定区域的表面粗糙度 | ||
通过自动检测指定区域的边缘测量宽度 | 基于指定区域中的圆形自动识别测量半径R和距离基准平面的高度 |
智能判别处理可在无损数据精度的情况下自动消除测量噪声,而智能找平功能可探测零高度位置的主水平面(参考平面)。简单一次点击即可启动两项工作。 |
报告中包含的所有操作和过程均可保存为模板。
在重复进行相同测量时,使用此模板可采用同一流程获得下一组数据的分析报告。
无需操作人员干预即可指定操作流程和测量点的功能能够以很小差异进行快速、精确的分析。
输出报告并进行测量 | 输出报告并保存模板 | 在下次采集过程中,打开已保存的模板 | 即刻输出基于模板的报告 |
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包括准确性保证在内的本页面信息均基于奥林巴斯设定的条件获得。