AL120 Wafer Handler 시리즈는 실리콘과 컴파운트 반도체 웨이퍼를 카세트로부터 현미경의 스테이지에 안전하게 운송시켜 제품 검사의 작업 시간을 줄여주는 유용한 장비입니다. 인체공학적인 디자인으로 더욱더 사용하기 쉽게 기능적으로 향상시켜 편리성을 증대시켰습니다.
다양한 웨이퍼 크기를 수용할 수있는 능력은 fab의 확장을 위한 중요합니다. AL120 시리즈는 웨이퍼 직경에 따라 200mm (AL120 - L8), 150mm 와 200mm (AL120 - L86) 및 150mm 이하 (AL120 - L6)의 웨이퍼
크기 150mm 모델로 3가지로 구성되어 있습니다. 각 시스템은 웨이퍼 전송 및 현미경 검사를 위해 설계되었습니다. Top면과 Back면 매크로 검사는 모든 웨이퍼
크기에 사용할 수 있습니다.
웨이퍼 크기와 두께
얇은 웨이퍼를 생산하는 업체의 요구에 맞도록, 새롭게 설계된 암(arm)을 갖춘 AL120-LMB-90 모델은 90µm 풀 카세트 웨이퍼를 다룰 수 있습니다.
검사 파라미터와 AL120의 레시피는 옵션 RS232C 시리얼 인터페이스를 통해 제어할 수 있습니다. 장비 제조업체와 Fab에서는 내부 검사용 소프트웨어와 AL120 웨이퍼 핸들러로 자동화 및 효율성을 강화시킬 수 있습니다. 시리얼 인터페이스는 동적 링크 라이브러리(DLL)을 사용하여 특정 소프트웨어와의 통합을 간단하게 만들어 줍니다.
![]() 매크로 검사 - 360 도 회전 ( 시뮬레이션 ) |
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AL120은 명시야, 암시야, 미분 간섭, 근적외선과 DUV(Deep Ultraviolet)의 관찰 방법을 통해 뛰어난 이미지 해상도와 선명도를 제공하는 웨이퍼 검사 전용 현미경 OLYMPUS MX 시리즈와 호환되서 사용가능합니다. 전동 대물렌즈 터렛와 조리개조절은 각 렌즈에 맞는 최적의 조명과 contrast를 조절하여 줍니다. 또한 AL120은 특별 주문에 따라 다른 다른 현미경 모델에도 적용할 수 있습니다.
Wafer Loader AL120 Specifications*1 | ||||||||
200 mm Type | 200 mm / 150 mm Convertible Type | 150 mm Type | ||||||
AL120-
LMB8- 90 |
AL120-
LMB86- 180 |
AL120-
L86- 180 |
AL120-
LMB86 |
AL120-
L86 |
AL120-
LMB6- 150 |
AL120-
L6- 150 | ||
Wafer Size (SEMI Standard) | 200mm | 200mm / 150mm |
150mm /
125mm / 100mm | |||||
Minimum Wafer Thickness | 90µm | 180µm | 400µm | 150µm | ||||
Type of Cassette*2 | SEMI stad. 25 (26)-slot | |||||||
Number of Cassette | 1 | |||||||
Inspection Recipe | All / Sampling | |||||||
Inspection Sequence | Micro (Microscope) | YES | YES | YES | YES | YES | YES | YES |
Top Macro | YES | YES | YES | YES | ||||
Back Macro | YES | YES | YES | YES | ||||
2nd. Back Macro | YES | YES | YES | YES | ||||
Wafer Orientation (Every 90°) | Non-contact (O.F./Notch) | Non-contact (O.F.) | ||||||
External Control*3 | YES | YES | YES | YES | YES | YES | YES | |
Compatible Microscope Model | Olympus Semiconductor Inspection Microscope MX61 | |||||||
Dimensions (mm) | 640 (W) x 620 (D) x 378 (H) Body Only, 1100 (W) x 620 (D) x 378 (H) with Microscope | 570 (W) x 620 (D) x 400 (H) Body Only, 980 (W) x 620 (D) x 400 (H) with Microscope | ||||||
Weight (kg) (Main Body Only) | 44 | 44 | 41 | 44 | 41 | 40 | 37 | |
Utility (Power Consumption/Vacuum) | AC100 V - 120 V, 1 A, or AC 220 V - 240 V, 0.5 A 50/60 Hz, -67 to -80 kpa, 20 Liter/min or higher |
*1 All types of wafers must be tested in advance, please contact your local Olympus office.
*2 Up to 10 types of wafer and/or cassette combinations can be registered at one time.
*3 Optional interface, Compatible OS: Windows7 (32-bit/64-bit)
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