AL120 Wafer Handler 시리즈는 실리콘과 컴파운트 반도체 웨이퍼를 카세트로부터 현미경의 스테이지에 안전하게 운송시켜 제품 검사의 작업 시간을 줄여주는 유용한 장비입니다. 인체공학적인 디자인으로 더욱더 사용하기 쉽게 기능적으로 향상시켜 편리성을 증대시켰습니다.

• 정밀한 유연성
• 정밀한 기능
• 정밀한 신뢰성

정밀한 유연성

다양한 크기의 웨이퍼 대응

다양한 웨이퍼 크기를 수용할 수있는 능력은 fab의 확장을 위한 중요합니다. AL120 시리즈는 웨이퍼 직경에 따라 200mm (AL120 - L8), 150mm 와 200mm (AL120 - L86) 및 150mm 이하 (AL120 - L6)의 웨이퍼 크기 150mm 모델로 3가지로 구성되어 있습니다. 각 시스템은 웨이퍼 전송 및 현미경 검사를 위해 설계되었습니다. Top면과 Back면 매크로 검사는 모든 웨이퍼 크기에 사용할 수 있습니다.

웨이퍼 크기와 두께

얇은 웨이퍼 검사

얇은 웨이퍼를 생산하는 업체의 요구에 맞도록, 새롭게 설계된 암(arm)을 갖춘 AL120-LMB-90 모델은 90µm 풀 카세트 웨이퍼를 다룰 수 있습니다.

소프트웨어 제어를 위한 시리얼 인터페이스

검사 파라미터와 AL120의 레시피는 옵션 RS232C 시리얼 인터페이스를 통해 제어할 수 있습니다. 장비 제조업체와 Fab에서는 내부 검사용 소프트웨어와 AL120 웨이퍼 핸들러로 자동화 및 효율성을 강화시킬 수 있습니다. 시리얼 인터페이스는 동적 링크 라이브러리(DLL)을 사용하여 특정 소프트웨어와의 통합을 간단하게 만들어 줍니다.

정밀한 기능

 강화된 매크로 검사

매크로 검사 - 360 도 회전 ( 시뮬레이션 )

• 매크로 검사는 웨이퍼의 완벽한 매크로 검사를 위해 top면과 back면에 결함과 파티클을 쉽게 찾아낼 수 있도록 자동으로 360도를 회전할 수 있는 기능을 갖고 있는 것이 특징입니다.
• 포함된 조이스틱으로 top면의 매크로 검사동안 기울기를 조종할 수 있습니다. 사용자는 검사결과에 최적으로 알맞은 웨이퍼의 각도를 조절할 수 있습니다.

손쉬운 사용법

• 다양한 검사 방법의 요구를 충족시키기 위해 AL120는 10개의 프로그램 가능한 시스템을 갖고 있어 특정 카세트 타입, 웨이퍼 규격과 전송속도등을 설정할 수 있습니다. 빠른 선택버튼은 사용자가 즉시 다른 제품을 로드 할 수 있게 합니다.
• 웨이퍼 핸들러의 파라미터와 레시피 설정값들은 LCD 디스플레이에 표시됩니다. 사용자는 검사 전과 후의 검사결과값들을 바로 확인 할 수 있습니다.
• AL120은 웨이퍼의 청결도 향상을 위해 비접촉식의 광학 센터링과 notch/flat 탐지 및 웨이퍼와 장비사이에 접촉을 최소화 시켜줍니다.

정밀한 신뢰성

웨이퍼와 사용자의 안전성

• AL120 디자인은 웨이퍼 안전성을 극대화하고 고급 안전 기능을 갖고 있습니다.
  3 센서 시스템은 전송절차간 안전하고 적절한 검색,전송,로딩, 언로딩을 통하여 지속적으로 웨이퍼의 위치를 모니터링 합니다. 이 특징은 한개의 슬롯에 하나 이상의 웨이퍼가 로드되어 사고가 발생하는 피해를 방지합니다.
• 인체공학적이며 안전하고 환경을 고려한 디자인 AL120은 SEMI S2와 S8 기준과 RoHS 를 준수합니다.

강력하고 신뢰성 있는 현미경 플랫폼

AL120은 명시야, 암시야, 미분 간섭, 근적외선과 DUV(Deep Ultraviolet)의 관찰 방법을 통해 뛰어난 이미지 해상도와 선명도를 제공하는 웨이퍼 검사 전용 현미경 OLYMPUS MX 시리즈와 호환되서 사용가능합니다. 전동 대물렌즈 터렛와 조리개조절은 각 렌즈에 맞는 최적의 조명과 contrast를 조절하여 줍니다. 또한 AL120은 특별 주문에 따라 다른 다른 현미경 모델에도 적용할 수 있습니다.

인체공학적 스테이지 옵션

• Quick release 수동 vacuum 스테이지는 사용자를 편안하고 효율성있게 사용할 수 있도록 최적화 됩니다. X - Y 제어 및 웨이퍼 회전은 표준에 따릅니다.
• 또한 검사 과정을 자동화하거나, 전동 스테이지는 조이스틱이나 미리 프로그램된 과정을 통해 제어할 수 있습니다. 하나의 푸시 버튼으로 로드 / 언로 드 위치와 홈 위치에서 스테이지를 조종할 수 있습니다. (전동 스테이지는 일부 지역에서 사용할 수 없습니다.)

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