Mikroskop-Lösungen
Anwendungen

Integrierter Schaltkreis auf einem Halbleiter-Wafer

Das Dunkelfeld wird zur Erkennung von sehr kleinen Kratzern oder Fehlern auf einer Probe oder zur Prüfung von Proben mit reflektierenden Oberflächen, wie Wafern, eingesetzt.

MIX-Beleuchtung ermöglicht dabei die Darstellung von sowohl Mustern als auch Farben.

Dunkelfeld

Dunkelfeld

MIX (Hellfeld + Dunkelfeld)

MIX (Hellfeld + Dunkelfeld)

Fluoreszenz

Fluoreszenz

MIX (Fluoreszenz + Dunkelfeld)

MIX (Fluoreszenz + Dunkelfeld)

Fotolackrückstand auf einem Halbleiter-Wafer

Die Fluoreszenzmikroskopie wird für Objekte verwendet, die Licht emittieren, wenn sie mit Licht einer bestimmten Wellenlänge (erzeugt mit einem speziellen Filterwürfel) angeregt werden. Dies wird zur Erkennung von Verunreinigungen und Fotolackrückständen verwendet.

Die MIX-Beleuchtung ermöglicht die Betrachtung von Fotolackrückständen und IC-Strukturen.

LCD-Farbfilter

Dieses Mikroskopieverfahren ist für transparente Objekte wie LCD, Kunststoffe und Glasmaterialien geeignet.

Die MIX-Beleuchtung ermöglicht die Betrachtung von Fotolackrückständen und IC-Strukturen.

Durchlicht

Durchlicht

MIX (Durchlicht + Hellfeld)

MIX (Durchlicht + Hellfeld)

Hellfeld

Hellfeld

Differenzieller Interferenzkontrast (DIC)

Differenzieller Interferenzkontrast (DIC)

Kugelgrafitgusseisen

DIC ist ein Mikroskopieverfahren, bei dem die Höhe einer Probe als Relief sichtbar ist, ähnlich einem 3D-Bild mit verbessertem Kontrast. Es eignet sich für Prüfungen von Proben mit geringen Höhenunterschieden, beispielsweise metallurgischer Strukturen und Mineralien.

Sericit

Differentieller Interferenzkontrast (DIC) ist ein Mikroskopieverfahren, bei dem die Höhe einer Probe, die normalerweise nicht im Hellfeld erkennbar ist, als Relief sichtbar wird, ähnlich einem 3D-Bild mit verbessertem Kontrast. Es eignet sich für Prüfungen von Proben mit sehr kleinen Höhenunterschieden, beispielsweise metallurgischer Strukturen und Mineralien.

Hellfeld

Hellfeld

Polarisiertes Licht

Polarisiertes Licht

Infrarot (IR)

Infrarot (IR)

Lötflächen einer IC-Struktur

IR wird zur Erkennung von Defekten in IC-Chips und anderen Teilen aus Silizium auf Glas verwendet.

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