Промышленные микроскопы

Сферы применения

Структура ИС на полупроводниковой пластине

Режим темного поля используется для выявления мельчайших царапин или дефектов на образце или для исследования образцов, имеющих зеркальные поверхности, например, полупроводниковых пластин.

В режиме смешанного освещения (MIX) пользователь может исследовать фактуры и цвета образцов.

Темное поле

Темное поле

MIX (светлое поле + темное поле)

MIX (светлое поле + темное поле)

Флуоресценция

Флуоресценция

MIX (флуоресценция + темное поле)

MIX (флуоресценция + темное поле)

Остаточный фоторезист на полупроводниковой пластине

Режим флуоресценции используется для образцов, которые излучают свет при их освещении с помощью специализированного фильтровального куба. Используется для обнаружения загрязнений и остаточного фоторезиста.

Смешанный режим позволяет проводить исследование остаточного фоторезиста и структуры ИС.

Цветной светодиодный фильтр

Такой метод наблюдения подходит для прозрачных образцов, таких как светодиоды, пластиковые и стеклянные материалы.

Смешанный режим позволяет проводить исследование цвета фильтра и рельефа съем.

Проходящий свет

Проходящий свет

MIX (проходящий свет + светлое поле)

MIX (проходящий свет + светлое поле)

Светлое поле

Светлое поле

Дифференциально-интерференционный контраст (ДИК)

Дифференциально-интерференционный контраст (ДИК)

Чугун с шаровидным графитом

ДИК — это метод наблюдения, при котором возвышенности на образце отображаются в виде рельефа, аналогично 3D-изображению с улучшенным контрастом; этот метод идеально подходит для исследования образцов, имеющих минимальные перепады высот, в том числе микроструктур и минералов.

Серицит

Дифференциально-интерференционный контраст (ДИК) – метод наблюдения, при котором высота образца, обычно не определяемая в светлом поле, отображается в виде рельефа, аналогично 3D-изображению с улучшенным контрастом. Идеально подходит для исследования образцов, имеющих минимальные перепады высот, в том числе микроструктур и минералов.

Светлое поле

Светлое поле

Поляризованный свет

Поляризованный свет

Инфракрасный свет (ИК)

Инфракрасный свет (ИК)

Контактные площадки на структуре ИС

Режим ИК используется для выявления дефектов внутри кристаллов ИС и других устройств, выполненных из кремния, нанесенного на стекло.

Sorry, this page is not available in your country
Let us know what you're looking for by filling out the form below.

This site uses cookies to enhance performance, analyze traffic, and for ads measurement purposes. If you do not change your web settings, cookies will continue to be used on this website. To learn more about how we use cookies on this website, and how you can restrict our use of cookies, please review our Cookie Policy.

OK