현미경 솔루션

Applications

반도체 웨이퍼의 IC 패턴

암시야는 시료의 미세한 긁힘이나 결함을 감지하거나 웨이퍼와 같이 거울과 같은 표면이 있는 시료를 검사하는데 사용됩니다.

MIX 광원을 사용하면 패턴과 색상을 모두 볼 수 있습니다.

Darkfield

암시야

MIX (Brightfield + Darkfield)

MIX (명시야 + 암시야)

Fluorescence

형광

MIX (Fluorescence + Darkfield)

MIX (형광 + 암시야)

반도체 웨이퍼의 포토레지스트 잔류물

형광은 특별히 설계된 필터 큐브로 빛을 비출때 빛을 방출(emit light)하는 샘플에 사용됩니다. 오염이나 포토레지스트 잔류물을 감지하는데 사용됩니다.

MIX 광원은 포토레지스트 잔류물과 IC 패턴을 모두 관찰할 수 있습니다.

LCD 컬러 필터

이 관찰 기법은 LCD, 플라스틱 및 유리 재료와 같은 투명한 샘플에 적합합니다.

MIX 광원을 사용하면 필터 색상과 회로 패턴을 모두 관찰할 수 있습니다.

Transmitted Light

투과 광

MIX (Transmitted Light + Brightfield)

MIX (투과 광 + 명시야)

Brightfield

명시야

Differential Interference Contrast (DIC)

미분 간섭 (DIC)

구상 흑연 주철

DIC는 샘플의 높이를 대비가 개선된 3D 이미지와 유사하게 보이는 관찰 기법 입니다. 금속 구조 및 미네랄을 포함하여 미세한 높이 단차가 있는 샘플 검사에 이상적입니다.

견운모(Sericite)

미분 간섭 (DIC)은 일반적으로 명시야에서 감지할 수 없는 샘플의 높이가 3D 이미지와 같이 개선된 대비 경감도로 보이는 관찰 기술입니다. 금속 구조 및 미네랄을 포함하여 미세한 높이 단차가 있는 샘플 검사에 이상적입니다.

Brightfield

명시야

Polarized Light

편광

Infrared (IR)

적외선 (IR)

IC 패턴의 본딩 패드

IR은 IC칩 및 Slicon on glass로 만들어진 기타 장치 내부의 결함을 찾는데 사용됩니다.

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