Aplicações
Padrão do circuito integrado em um wafer semicondutorO campo escuro é usado para detectar arranhões ou defeitos ínfimos em uma amostra ou inspecionar amostras com superfícies espelhadas, tal como wafers. A iluminação MIX permite ao usuário visualizar padrões e cores. |
MIX (Campo claro + Campo escuro) |
Campo escuro |
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Fluorescência |
MIX (Fluorescência + Campo escuro) | Resíduo fotorresistente em um wafer semicondutorA fluorescência é usada para amostras que emitem luz quando iluminadas por um cubo de filtro especialmente projetado. Ela é usada para detectar contaminação e resíduos fotorresistentes. A iluminação MIX permite a observação dos resíduos fotorresistentes e do padrão do CI. |
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Filtro de cores LCDEsta técnica de observação é adequada para amostras transparentes, tal como LCD, plásticos e materiais de vidro. A iluminação MIX permite a observação do filtro de cor e do padrão do circuito. |
Luz transmitida |
MIX (Luz transmitida + Campo claro) |
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Campo claro |
Contraste de interferência diferencial (DIC) | Ferro fundido de grafite esferoidalO DIC é uma técnica de observação na qual a altura de uma amostra é visualizada como um relevo, semelhante a uma imagem 3D com contraste melhorado; é ideal para inspecionar amostras que possuam diferenças muito pequenas de altura, incluindo estruturas metalúrgicas e minerais. |
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SericitaO contraste de interferência diferencial (DIC) é uma técnica de observação na qual a altura de uma amostra, geralmente não detectável no campo claro, é visualizada como um relevo, semelhante a uma imagem 3D com contraste melhorado. Essa técnica é ideal para inspecionar amostras que possuam diferenças muito pequenas de altura, incluindo estruturas metalúrgicas e minerais. |
Campo claro |
Luz polarizada |
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Infravermelho (IV) | Bases de ligação em um padrão do CIO IR é usado para procurar defeitos no interior de circuitos integrados e de outros dispositivos fabricados com silício sobre vidro. |
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