Applicazioni
Schema IC su un wafer semiconduttoreIl campo chiaro è utilizzato per rilevare graffi o difetti di lieve entità nei campioni o per eseguire un controllo dei campioni su superfici a specchio, ad esempio i wafer. Grazie all'illuminazione MIX, gli utenti possono visualizzare sia gli schemi che i colori. |
MIX (campo chiaro + campo scuro) |
Campo scuro |
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Fluorescenza |
MIX (fluorescenza + campo scuro) | Residuo di fotoresist su un wafer semiconduttoreLa fluorescenza è impiegata per i campioni che emettono luce se illuminati con un filtro appositamente progettato. per il rilevamento di contaminazioni e residui fotoresistenti. L'illuminazione MIX permette l'osservazione dei residui fotoresistenti e dello schema IC. |
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Filtro a colori LCDQuesta tecnica di osservazione è adatta per campioni trasparenti come LCD, plastiche e materiali vetrosi. L'illuminazione MIX permette l'osservazione sia del colore del filtro sia del pattern del circuito. |
Luce trasmessa |
MIX (Luce trasmessa + Campo chiaro) |
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Campo chiaro |
Contrasto interferenziale (DIC) | Ghisa a grafite sferoidaleIl DIC è una tecnica di osservazione dove l'altezza del campione è visibile in rilievo, in modo simile alle immagini 3D con contrasto migliorato; è ideale per le ispezioni di campioni che hanno differenze minime di altezze come i minerali e le strutture metallurgiche. |
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SericiteIl contrasto interferenziale (DIC) è una tecnica di osservazione dove l'altezza del campione, in genere non rilevabile nel campo chiaro, è visibile in rilievo, in modo simile alle immagini 3D con contrasto migliorato. È ideale per le ispezioni di campioni che hanno differenze minime di altezze come i minerali e le strutture metallurgiche. |
Campo chiaro |
Luce polarizzata |
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Infrarossi (IR) | Piazzole di unione su uno schema ICGli IR vengono utilizzati per la ricerca di difetti all'interno dei chip IC e di altri dispositivi con strato di silicio. |
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