El campo oscuro se utiliza para detectar rasguños o defectos minúsculos en una muestra o para inspeccionar muestras con superficies con efecto espejo, como las pastillas.
La iluminación MIX permite a los usuarios visualizar tanto patrones como colores.
Campo oscuro
MIX (campo claro + campo oscuro)
Fluorescencia
MIX (fluorescencia + campo oscuro)
La fluorescencia es usada para las muestras que emiten luz cuando se iluminan con un cubo de filtros especialmente diseñado, lo que permite detectar la contaminación y los residuos fotorresistentes.
La iluminación combinada (MIX) permite la observación tanto de residuos fotorresistentes como de patrones de circuito integrado.
Esta técnica de observación es adecuada para muestras transparentes, tales como materiales de LCD, plástico y vidrio.
La iluminación combinada (MIX) permite la observación tanto del color de filtro como el patrón de circuito.
Luz transmitida
MIX (luz transmitida + campo claro)
Campo claro
Contraste de interferencia diferencial (DIC)
El contraste de interferencia diferencial (DIC) es una técnica de observación donde la altura de una muestra es visualizada como un relieve, similar a una imagen 3D con un contraste mejorado. Es ideal para las inspecciones de muestras que tienen diferencias de altura muy pequeñas, entre las que se incluyen las estructuras metalúrgicas y los minerales.
El contraste de interferencia diferencial (DIC) es una técnica de observación donde la altura de una muestra, normalmente no detectable en el campo claro, se visualiza como un relieve, similar a una imagen 3D con un contraste mejorado. Es ideal para las inspecciones de muestras que tienen diferencias de altura muy pequeñas, entre las que se incluyen las estructuras metalúrgicas y los minerales.
Campo claro
Luz polarizada
Luz infrarroja (IR)
La luz infrarroja es usada para observar defectos internos en los chips de circuitos integrados y otros dispositivos fabricados con silicio sobre vidrio.
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