Laser-Mikroskop-Lösungen
►Merkmale eines Laser-Mikroskops
1. 3D-Mikroskopie/-Messung im Submikrometerbereich
| Untersuchung von Stufen im Nanometerbereich und Messung von Höhenunterschieden im Submikrometerbereich. |
2. ISO25178-konforme Messung der Oberflächenrauheit
| Messung der Linien- und Flächenrauheiten. |
3. Berührungslos, zerstörungsfrei und schnell
| Keine Probenvorbereitung erforderlich – einfach die Probe auf dem Tisch platzieren und messen. |
►Vorteile eines Laser-Mikroskops
Herkömmliche Messgeräte | Laser-Mikroskop | |
Lichtmikroskop, Digitalmikroskop | ||
•Messung kleiner Strukturen ist nicht möglich •Geringe laterale Auflösung •Messergebnisse sind nicht rückverfolgbar |
| •3D-Präzisionsmessung •0,12 μm laterale Auflösung • Rückverfolgbare Messergebnisse |
Tastschnittgerät zur Messung der Oberflächenrauheit | ||
•Kann die Oberfläche der Probe beschädigen • Informationen nur von einer Linie •Schwierig, die Tastspitze an eine Zielposition zu setzen |
| • Berührungsfreie Messung, keine Beschädigung der Probe • Erfassen der Informationen einer vollständigen Ebene •Punktgenaue Messung |
•Weißlichtinterferometer | ||
• Probleme bei der Messung steiler Flanken • Geringe laterale Auflösung macht die Positionierung schwierig • Korrektur für ungünstige Neigung |
| • Genaue Messung rauer Oberflächen durch Erfassung großer Steigungen •0,12 μm laterale Auflösung • Platzieren Sie einfach Ihre Probe auf der Stage und starten Sie die Messung |
Rasterelektronenmikroskop (REM) | ||
• Keine Farbinformation • Proben müssen vorab zerstört und vorbereitet werden • 3D-Messung ist nicht möglich |
| • Hochauflösende Farbmikroskopie • Zerstörungsfrei, keine Vorbereitung der Probe erforderlich • Präzise 3D-Messung |
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