| 나노미터 범위 내의 단차를 관찰하고 1미크론 미만으로 높이 차이를 측정하세요. |
| 선형 표면과 평면 표면을 측정하세요. |
| 별다른 샘플 준비가 필요하지 않습니다. 샘플을 스테이지에 얹기만 하면 측정 준비가 끝납니다. |
기존의 측정 도구 | 레이저 현미경 | |
광학 현미경, 디지털 현미경 | ||
•작은 형태를 측정할 수 없습니다 • 열악한 측방분해능 •측정 결과 추적 불가능 | •정밀 3D 측정 •0.12μm 측방분해능 •측정 결과 추적 가능 | |
스타일러스 표면 거칠기 테스터 | ||
•샘플 표면을 손상시킬 수 있습니다 •선 하나에서만 정보 수집 •스타일러스를 표적 위치에 놓기가 어렵습니다 | •비접촉 측정은 샘플을 손상시키지 않습니다 •전체 면에서 거칠기 정보 수집 •정밀 표적 측정 | |
백색광 간섭계 | ||
•거친 표면 형태를 제대로 캡처하지 못합니다 •열악한 측방분해능 때문에 포지셔닝이 어렵습니다 •경사 조절 불편 | •작은 기울기까지 캡처하여 거친 표면을 정확하게 측정 •0.12μm 측방분해능 •샘플을 스테이지에 얹기만 하면 바로 측정을 시작할 수 있습니다 | |
주사 전자 현미경(SEM) | ||
•색 정보 미제공 •사전에 샘플을 부숴서 준비해야 합니다 •3D 형태 측정이 불가능합니다 | •고해상도 색 관찰 •샘플을 손상시키지 않으며 샘플 준비 불필요 •정확한 3D 측정 |