Soluzioni per microscopi laser

►Caratteristiche di un microscopio laser

Osservazione e misura 3D al di sotto del micron

Osservazione di rilevi nell'intervallo nanometrico e misurazione delle differenze di altezza a un livello al di sotto del micron.

Misura delle irregolarità della superficie in conformità alla norma ISO25178

Misura delle irregolarità della superficie da un sistema lineare a uno planare.

Senza contatto, non distruttivo e veloce

Preparazione dei campioni non richiesta: posizionare semplicemente il campione sul tavolino e si è pronti a effettuare la misura.

Strumenti di misura convenzionale		Microscopio laser
Microscopio ottico, microscopio digitale
•Non in grado di misurare forme ridotte •Scarsa risoluzione laterale •Risultati di misura non tracciabili		•Misura 3D precisa •Risoluzione laterale di 0,12 μm •Risultati di misura tracciabile
Tester a stilo per superfici irregolari
•Può danneggiare la superficie del campione •Informazioni solamente da una linea •Difficile posizionare la stilo su una posizione target		•La misura senza contatto non danneggia il campione •Acquisizione di informazioni da un intero piano •Misura puntuale
Interferometro a luce bianca
•Difficoltà a acquisire le forme di superfici irregolari •Scarsa risoluzione laterale induce un difficile posizionamento •Non pratica regolazione dell'inclinazione		•Precisa misura di superfici irregolari attraverso l'acquisizione di pendenze ridotte •Risoluzione laterale di 0,12 μm •Posizionare il campione sul tavolino per iniziare la misura
Microscopio elettronico a scansione (SEM)
•Nessuna informazione cromatica •Campioni da alterare e preparare prima dell'analisi •Misura 3D della forma non possibile		•Osservazione cromatica a alta definizione •Non distruttivo e preparazione del campione non richiesta •Misura 3D precisa