| Observa as etapas na faixa de nanômetros e mede as diferenças de altura em nível de submícron. |
| Mede a rugosidade da superfície de linear a plana. |
| Não é preciso preparar amostra — coloque a amostra na platina e ela estará pronta para ser medida. |
Ferramentas convencionais de medição | Microscópio a laser | |
Microscópio óptico, microscópio digital | ||
•Incapaz de medir formas pequenas •Baixa resolução lateral •Os resultados da medição não são rastreáveis | •Medição tridimensional precisa •Resolução lateral de 0,12 μm •Os resultados da medição são rastreáveis | |
Stylus para testar a rugosidade da superfície | ||
•Pode danificar a superfície da amostra •Informações de apenas uma linha •Difícil posicionar o Stylus na posição alvo | •A medição sem contato não danifica a amostra •Aquisição de informações de plano inteiro •Medição pontual | |
Interferômetro de luz branca | ||
•Dificuldade em capturar formas em superfície rugosa •A baixa resolução lateral dificulta o posicionamento •Ajuste de inclinação inconveniente | •Medição precisa da superfície rugosa com captura de pequenas inclinações •Resolução lateral de 0,12 μm •Coloque sua amostra na platina para iniciar a medição | |
Microscópio eletrônico de varredura (MEV) | ||
•Nenhuma informação de cor •As amostras devem ser destruídas e preparadas com antecedência •Não é capaz de medir formas tridimensionais | •Observação de cores de alta definição •Ensaio não destrutivo; não precisa preparação de amostra •Medição tridimensional precisa |