Лазерные микроскопы
►Характеристики лазерного микроскопа
1. 3D наблюдение/измерение на субмикронном уровне
| Получение изображений в нанометрическом диапазоне и измерение разницы высот на субмикронном уровне. |
2. Измерение шероховатости поверхности в соответствии с ISO25178
| Измерение шероховатости поверхности линейных и планарных структур. |
3. Бесконтактный, неразрушающий и быстрый метод измерения
| Не требует подготовки образцов — Просто поместите образец на предметный столик и приступайте к измерениям |
►Преимущества лазерного микроскопа
Стандартные средства измерения | Лазерный микроскоп | |
Оптический микроскоп, цифровой микроскоп | ||
•Невозможно измерить мелкие формы •Низкое латеральное разрешение •Непрослеживаемые результаты измерений |
| •Точное 3D-измерение •Латеральное разрешение 0,12 мкм •Прослеживаемые результаты измерений |
Контактный профилометр | ||
•Риск повреждения поверхности образца •Измерение только по одной линии •Сложность установки стилуса в нужном месте |
| •Бесконтактный метод измерения без риска повреждения образца •Получение информации со всей плоскости •Точечное прицельное измерение |
Интерферометр белого света | ||
•Трудности при измерении формы шероховатой поверхности •Низкое латеральное разрешение усложняет позиционирование •Неудобная настройка угла наклона |
| •Точное измерение шероховатой поверхности путем захвата даже небольших уклонов •Латеральное разрешение 0,12 мкм •Просто положите образец на предметный столик и начните измерение |
Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) | ||
•Нет информации о цвете •Метод основан на разрушении образца; необходимость подготовки образцов •Измерение формы 3D-объектов невозможно |
| •Цветные изображения высокой четкости и контрастности •Неразрушающий метод; не требует подготовки образца •Точное 3D измерение |
|
|
