| Obserwacja uskoków w przedziale nanometrycznym i pomiar różnic w wysokości na poziomie submikronowym. |
| Pomiar chropowatości powierzchni — zarówno w kierunku liniowym, jak i płaszczyzny. |
| Brak konieczności przygotowywania próbki — wystarczy umieścić ją na stoliku i można zaczynać pomiar. |
Konwencjonalne narzędzia pomiarowe | Mikroskop laserowy | |
Mikroskop optyczny, mikroskop cyfrowy | ||
•Brak możliwości pomiaru niewielkich kształtów •Niska rozdzielczość poprzeczna •Brak identyfikowalności wyników pomiaru | •Dokładne pomiary 3D •Rozdzielczość poprzeczna 0,12 μm •Możliwość identyfikowania wyników pomiaru | |
Rysik do testowania chropowatości powierzchni | ||
•Możliwość uszkodzenia powierzchni próbki •Informacje tylko z jednej linii •Trudność z umieszczeniem rysika w wymaganej pozycji | •Pomiary bezstykowe nie grożą uszkodzeniem próbki •Akwizycja informacji z całej płaszczyzny •Pomiary punktowe | |
Interferometr wykorzystujący światło białe | ||
•Trudność z uchwyceniem kształtu nierównej powierzchni •Niska rozdzielczość poprzeczna utrudnia pozycjonowanie •Niewygodna regulacja nachylenia | •Dokładne pomiary nierównej powierzchni dzięki wykrywaniu niewielkich zboczy •Rozdzielczość poprzeczna 0,12 μm •Aby rozpocząć pomiar, wystarczy umieścić próbkę na stoliku | |
Skaningowy mikroskop elektronowy (SEM) | ||
•Brak informacji o kolorach •Konieczność wcześniejszego przygotowania próbek, niszczący charakter wiązki elektronów •Brak możliwości pomiaru kształtu 3D | •Obserwacje w kolorze w wysokiej jakości obrazu •Nie niszczy próbki, brak konieczności jej przygotowywania •Dokładne pomiary 3D |