レーザー顕微鏡が提供するソリューション

●レーザー顕微鏡の3つの特長

　サブミクロンオーダーの3D観察・測定

わずか数nm の段差を捉え、サブミクロンレベルの凹凸を正確に測定。

　 ISOに準拠した表面粗さ測定

線から面へ、粗さ測定の新たなスタンダード。

　非接触、非破壊、スピーディー

前準備不要、ステージに置くだけで測定可能。

従来の測定機は…		レーザー顕微鏡
光学顕微鏡・デジタルマイクロスコープ
•ラフな3D形状しか把握できない •微細な欠陥が見えない •測定結果の妥当性が分からない		•正確な微細3D観察・測定 •優れた解像度（平面分解能0.12μm） •国家標準に紐付いたトレーサブル測定
触針式表面粗さ測定機
•サンプルに傷がつく •1ラインの測定で情報が不十分 •目視による位置決めで、微小エリアの測定が困難		•非接触なのでサンプルに傷がつかない •情報量が多く、信頼性の高い面粗さ測定が可能 •高精細拡大観察による位置決めで、簡単に微小エリアを測定
白色干渉計
•荒れた面の形状を捉えるのが難しい •原理上観察画像の見えが悪く、微細な欠陥を見つけるのが困難 •サンプルの傾き調整に手間がかかる		•微細な形状も捉えられるので荒れた面も確実に取得可能 •微細な形状も捉えられるので荒れた面も確実に取得可能 •クリアな高解像観察像で微細な欠陥の位置決めも可能
電子顕微鏡（SEM）
•色情報が得られない •サンプルの破壊や前準備が必要 •3D形状を測れない		•高精細カラー観察 •非破壊・前準備不要 •正確な微細3D測定