OLS3000-IRはシリコン層を透過して驚異的な高分解能で内部を観察できる赤外線レーザー顕微鏡です。フリップチップ、ウェハレベルCSP、SiPなどの非破壊内部検査に威力を発揮し、観察のみならず内部の3次元形状を捉えることも出来ます。

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概要
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概要

IC内部を高分解能で観察・計測

赤外線観察イメージ

フリップチップ実装後のICパターンの微小な傷やアライメントマークの正確な位置、バンプパッドの表面状態は従来の赤外線顕微鏡では鮮明に観察することはできませんでした。
走査型共焦点赤外レーザー顕微鏡なら、高分解能、高倍率で観察ができ、さらにシリコン内部のギャップや段差計測も可能になりました。
MEMSの中空構造や接着面、SOIウエハのグラインド量測定などにも有効です。これからの実装SiP技術やMEMS技術をサポートします。