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シムリングの表面形状評価 - レーザー顕微鏡による非接触3D形状測定


アプリケーション

シムリングは機械部品、自動車、構造物などさまざまな製品向けの高さや隙間を調整するためにスペーサーとして用いられています。板の厚さ・大きさ、素材もさまざまで、薄いものでは5um程度からあり、素材は鉄、ステンレス、アルミ、銅、真鍮などが一般的です。
シムリングには、主に部品と部品の隙間を調整する、あるいは接触抵抗を安定させるという機能が求められます。これらの機能の品質を判断する一つとして、製造工程においてはリングの表面形状を管理しており、表面形状の測定も従来の線粗さではなく、面粗さで評価することが求められています。

オリンパスのソリューション

オリンパスの3D測定レーザー顕微鏡LEXTでは、非接触で高分解能かつ高精度な3次元形状測定を行うことが可能で、表面凹凸の深さ (高さ) のプロファイル測定や表面粗さを精度良く測定することができます。またリングの表面状態は一様なので粗さモードを使用することにより、非接触かつ、mm単位の長寸法のライン粗さ測定が可能です。長寸法のデータを取得することで接触式粗さ計との相関をとることができ、またスタイラスの先端径よりもレーザーのスポット径のほうがさらに小さいため、より細かい凹凸まで精度良く測定することが可能です。

シムリング表面

Shim_ring_surface

対物レンズ100X, ズーム1X

Olympus IMS
この用途に使用される製品

LEXT OLS5000は、非接触・非破壊で微細な3D形状の観察・測定が可能なレーザー顕微鏡です。 サブミクロンオーダーの微細な形状測定に優れ、スタートボタンを押すだけでオペレーターの習熟度に左右されない測定結果を得ることができます。 従来比4倍のデータ取得速度を実現し、専用長作動距離レンズや拡張フレームにより従来諦めていたサンプルも測定できるようになりました。
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