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工業用顕微鏡

画像技術

高い光学性能とソフトウェアの融合

当社は、長年積み重ねた光学技術と先進のソフトウェアによる画像技術を融合し、鮮明な画質と卓越した測定精度を提供します。


高解像と長作動距離の両立を実現したMXPLFLNシリーズ

対物レンズは顕微鏡の性能にとって非常に重要な要素です。
MXPLFLN対物レンズは、開口数と作動距離の最大化が相反することなく共存する設計で、落射照明イメージング用のMPLFLNシリーズにおける落射照明イメージングに、更なる拡張性をもたらします。通常、解像度が高い20倍および50倍のレンズは作動距離が短いため、対物レンズを切り替える際に、サンプルあるいは対物レンズを、接触を避けるために位置を調整する手間が発生します。 MXPLFLNシリーズは3mmの作動距離を備えているため、対物レンズがサンプルに接触するリスクを軽減し、より迅速な検査を可能にします。

従来の50倍対物レンズ : NA 0.8, WD 1mm / MXPLFLN50X: NA 0.8, WD 3mm

表

> MXPLFLN対物レンズについてさらに詳しく


優れた光学性能を発揮:波面収差コントロール

開口数(NA)や作動距離(W.D.)などが同じ仕様の対物レンズを使用しても、光学性能のバラつきにより、画像や測定結果が変わってしまうことがあります。MX63/MX63Lで使われる高倍率のUIS2対物レンズは、光学性能の重要な要素である「収差」を極限まで減らすよう、波面収差をコントロールしています。このため従来品に比べて精度の高い安定した検査結果が得られます。

優れた光学性能を発揮:波面収差コントロール 01

不良な波面

優れた光学性能を発揮:波面収差コントロール 02

良好な波面 (UIS2対物レンズ)

> UIS2対物レンズの詳細はこちら 


安定した色温度特性の高輝度白色LED照明

高輝度な白色LED光源で、落射および透過照明観察が可能です。LED照明は観察時の明るさを変えても、画像の色合いが変わらないため、つねに鮮明な画像を得ることができます。また、LEDは発熱が小さく長寿命のためコストも抑えられ、さらにランプ交換の手間も少なくなります。

安定した色温度特性の高輝度白色LED照明 01

明るさにより色合いが変わる

安定した色温度特性の高輝度白色LED照明 02

明るさによって色合いが変わらず、ハロゲンランプよりクリアな色合いで観察可能
※画像はすべて自動露出にて取得


より正確な測定をサポート:自動キャリブレーション

PRECiVでは、専用の校正サンプルを用い、スケールの目盛りを自動的に多点で検出して平均値を計算することで、倍率を高精度に校正できます。さらに、個人差によるバラツキも排除し、計測の信頼性を高めます。定期的な校正作業が必要な場合も、作業者のその日の疲労具合に左右されず、毎回安定した倍率で校正できます。

より正確な測定をサポート:自動キャリブレーション

> 画像解析ソフトウェアPRECiVの詳細はこちら


サンプル起因の微小な輝度ムラを除去:シェーディング補正

PRECiVでは、サンプルの特性による微小な輝度ムラがライブ画像で気になる場合、一様な明るさとなるように補正処理できます。また、より高精度なしきい値設定を行う各種画像処理においても威力を発揮します。

半導体ウエハー(二値化処理画像)

サンプル起因の微小な輝度ムラを除去:シェーディング補正

シェーディング補正により、観察エリア全体が鮮明に見える

> 画像解析ソフトウェアPRECiVの詳細はこちら

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