Modularität

Vollständig anpassbar

Die Serie MX63 bietet eine Auswahl vielfältiger optischer Komponenten, die sich den jeweiligen Prüf- und Anwendungsanforderungen entsprechend optimal kombinieren lassen. Das System kann für alle gängigen Mikroskopieverfahren genutzt werden. Außerdem stehen dem Benutzer eine Reihe von PRECiV Softwarepaketen für die Bildanalyse zur Verfügung, die auf unterschiedlichste Bildaufnahme- und Analyseaufgaben zugeschnitten sind.

Zwei Systeme für unterschiedliche Objektgrößen

Mit dem System MX63 können Wafer mit bis zu 200 mm Größe untersucht werden, mit dem System MX63L bei gleich kleiner Standfläche Wafer mit bis zu 300 mm Größe. Dank des modularen Designs kann das Mikroskop an eine Vielzahl unterschiedlicher Anforderungen angepasst werden.

IR-Kompatibilität

Mit IR-Objektiven können Untersuchungen im Infrarotbereich durchgeführt werden. Dies ermöglicht die zerstörungsfreie Prüfung des Inneren von IC-Chips auf Leiterplatten, da Silizium für Infrarotlicht durchlässig ist. Die Serie umfasst 5x- bis 100x-Infrarotobjektive mit Korrektur der chromatischen Aberration bei Wellenlängen vom sichtbaren bis hin zum nahen Infrarotbereich. Insbesondere bei einer Objektivlinse von 20X oder mehr kann die Aberration, die durch die Siliziumschicht das Beobachtungsobjekt verursacht wird, durch den Korrekturring korrigiert werden, um ein klares Bild zu erhalten.