Modularité

Entièrement modulable

La série MX63 a été conçue pour permettre au client de choisir, parmi un grand nombre de composants optiques, ceux qui conviennent à ses besoins d’inspections et d’applications. Le système peut utiliser tous les procédés d’observation. Les utilisateurs peuvent aussi choisir parmi diverses solutions d’analyse d’images du logiciel PRECiV pour répondre à leurs besoins d’acquisition et d’analyse d’images.

Deux systèmes qui gèrent des tailles d’échantillon diverses

Le système MX63 peut accueillir des wafers pouvant atteindre 200 mm alors que le système MX63L peut prendre en charge des wafers pouvant atteindre 300 mm avec la même petite surface de contact que le système MX63. La conception modulaire facilite l’adaptation du microscope à vos besoins spécifiques.

Compatibilité IR

Une observation infrarouge peut être effectuée avec les lentilles d’objectif IR. Celles-ci permettent aux opérateurs d’inspecter de façon non destructive l’intérieur des puces à circuit intégré encapsulées et montées sur une carte de circuits imprimés en utilisant les caractéristiques du silicium qui transmet la lumière infrarouge. Des objectifs IR 5X à 100X sont disponibles, avec correction des aberrations chromatiques à partir des longueurs d’onde de la lumière visible jusqu’au proche infrarouge. En particulier avec un objectif de grossissement 20X ou plus, l’aberration causée par la couche de silicium recouvrant l’objet d’observation peut être corrigée par la bague de correction pour obtenir une image claire.