モジュラリティ

サンプルや検査用途に合わせ自由にカスタマイズ

MX63/MX63Lは、落射・透過照明を利用できます。さらに工業用途で必要とされる観察法（明視野、暗視野、微分干渉、MIX、簡易偏光、蛍光、IR、透過明視野）を利用できます。

観察するサンプルのサイズに応じて2種類のフレームを用意

MX63は200mm、MX63Lでは300mmまでの半導体ウエハーをカバー。フットプリントを抑えた、省スペース化も実現。

IR観察システム

赤外（IR）光によって、可視光を通さない実装されたICチップなどの内部観察ができます。また、可視域から赤外域まで収差補正した5X～100Xの対物レンズを、ラインアップとして揃えています。特に20X以上の対物レンズでは、観察対象物を覆うシリコン層によって生じる収差を補正環によって補正し、クリアな像を得ることができます。