Strumenti di osservazione e analisi

• Strumenti di analisi all'avanguardia
• Progettazione all'avanguardia per supportare la conformità alla camera sterile

Strumenti di analisi all'avanguardia

Le versatili funzionalità di osservazione della serie MX63 permettono di ottenere delle immagini chiare e nitide in modo che gli utenti possano rilevare in modo affidabile i difetti nei propri campioni. Le nuove tecniche di illuminazione e le opzioni di acquisizione delle immagini del software di analisi delle immagini PRECiV offrono agli utenti maggiori possibilità per la valutazione dei campioni e la documentazione dell'esito dell'analisi.

L'invisibile diventa visibile: Osservazione e acquisizione MIX

La tecnologia di osservazione MIX produce delle eccezionali immagini delle osservazioni combinando un altro metodo di osservazione come il campo chiaro, la fluorescenza o la polarizzazione. L'osservazione MIX permette agli utenti di osservare i difetti che sono difficili da vedere con microscopi convenzionali. L'illuminatore circolare a LED usato per l'osservazione a campo scuro ha una funzione direzionale a campo scuro dove viene illuminato solamente un quadrante alla volta. Questo permette di ridurre l'alone del campione, risultando utile per la visualizzazione della tessitura superficiale del campione.

Struttura su wafer semiconduttore

Residuo di fotoresist su un wafer semiconduttore

Condensatore

Facile creazione di immagini panoramiche: MIA istantanea

Attraverso la funzionalità Multiple image alignment (MIA) gli utenti possono unire insieme immagini in modo facile e veloce, semplicemente spostando le manopole KY sul tavolino manuale (un tavolino motorizzato non è necessario). Il software PRECiV utilizza la funzione di riconoscimento dello schema per generare un'immagine panoramica fornendo agli utenti un campo visivo più ampio.

Immagine MIA istantanea di una moneta

Creazione di immagini completamente a fuoco

La funzione Extended Focus Imaging (EFI) del PRECiV permette di acquisire immagini di campioni con altezze che superano la profondità di campo dell'obiettivo e di unirle insieme per creare un'immagine completamente a fuoco. La funzione EFI può essere eseguita mediante un asse Z manuale o motorizzato, inoltre crea una mappatura delle altezze facilitando la visualizzazione strutturale. In aggiunta è possibile costruire un'immagine EFI mentre si è offline con PRECiV Desktop.

Stud bump su un chip IC

Acquisizione delle aree chiare e scure mediante HDR

Mediante operazioni di elaborazione di immagini avanzata, la funzione HDR (High Dynamic Range - elevato campo dinamico), regola le differenze di luminosità di un'immagine per ridurre i riflessi. La funzione HDR migliora la qualità delle immagini digitali, facilitando la generazione di report dall'aspetto professionale.

Dalla misura di base all'analisi avanzata

La misura è essenziale a fini di assicurazione qualità, gestione del processo e ispezione. Tenendo in considerazione questo aspetto, anche il pacchetto software di base PRECiV include un menu completo di funzioni di misura interattive con tutti i risultati di misura salvati con file di immagini per successive operazioni di documentazione. Inoltre la soluzione PRECiV Materials offre un'interfaccia intuitiva e orientata sul flusso di lavoro per l'analisi di immagini complesse. Cliccando su un pulsante le operazioni di analisi delle immagini possono essere eseguite in modo veloce e preciso. Con una riduzione significativa dei tempi per le operazioni ripetute, gli operatori possono concentrarsi sull'ispezione.

> Maggior informazioni sul software PRECiV

Efficiente creazione di report

I tempi di creazione di un report possono risultare spesso maggiori rispetto a quelli necessari per l'acquisizione di immagini e la presa di misure. Il software PRECiV permette la creazione intuitiva dei report per produrre in continuo dei report efficienti e avanzati basati su modelli predefiniti. La modifica risulta semplice e i report possono essere esportati nei software Microsoft Word o PowerPoint Inoltre la funzione di creazione di report del software PRECiV permette di effettuare zoom digitali e ingrandimenti sulle immagini acquisite. I file dei report sono di dimensioni contenute per semplificare la condivisione dei dati per email.

> Maggior informazioni sul software PRECiV

Progettazione all'avanguardia per supportare la conformità alla camera sterile

La serie MX63 è progettata per operare in una camera sterile e integra funzionalità che aiutano a minimizzare il rischio di campioni alterati o contaminati. Il sistema ha un design ergonomico che aiuta a assicurare agli utenti un'operatività confortevole, anche se prolungata. La serie MX63 è conforme con le specifiche e le norme internazionali, includendo SEMI S2/S8, CE, and UL.

Integrazione di opzionale caricatore di wafer ― Sistema AL120* 

Alla serie MX63 può essere fissato un opzionale caricatore di wafer per trasferire, in modo sicuro, dei wafer semiconduttori, in silicio e composti, da un caricatore al tavolino del microscopio, senza l'uso di pinzette o bacchette. Prestazioni e affidabilità riconosciute permettono di eseguire delle ispezioni macroscopiche anteriori e posteriori in modo sicuro e efficiente, mentre il caricatore aiuta a migliorare la produttività in laboratorio.

MX63 combinato con il caricatore di wafer AL120 (versione da 200 mm)

* AL120 non è disponibile in EMEA.

Ispezioni veloci e pulite

La serie MX63 permette di effettuare delle ispezioni senza contaminazione. Tutte le componenti motorizzate sono integrate in una struttura protetta e un trattamento antistatico viene applicato allo stativo, ai tubi, al breath shield e a altre componenti. La velocità di rotazione del revolver motorizzato è più veloce e sicura rispetto ai revolver manuali. Questo consente una diminuzione del tempo tra ispezioni e il mantenimento delle mani dell'operatore sotto al wafer, riducendo quindi la contaminazione potenziale.

Design del sistema per delle efficienti osservazioni

Il tavolino XY è in grado di effettuare spostamenti del tavolino micrometrici e macrometrici, grazie alla frizione integrata e alle manopole XY. Il tavolino aiuta a svolgere osservazioni in modo efficiente, anche per campioni di grandi dimensioni come i wafer da 300 mm.
L'ampio angolo applicabile del tubo di osservazione inclinabile permette agli operatori di sedersi davanti al microscopio in una postura confortevole.

Compatibilità di tutte le dimensioni dei wafer

Intuitivi comandi del microscopio: Confortevoli e di facile uso

Le configurazioni del microscopio sono semplici da applicare, facilitando per gli utenti la realizzazione delle regolazioni e la riproduzione delle configurazioni del sistema.

Veloce messa a fuoco: Ausilio per la messa a fuoco

Inserendo un ausilio per la messa a fuoco nel percorso ottico è possibile realizzare, in modo veloce e preciso, una messa a fuoco sui campioni a basso contrasto, come wafer nudi.

Immagine a sinistra: La griglia evidenzia che l'immagine non è a fuoco. / Immagine al centro: La griglia rappresenta un ausilio per la messa a fuoco. / Immagine a destra: È facilmente ottenuta un'immagine a fuoco.

Facile ripristino delle configurazioni del microscopio: Hardware codificato

Le funzioni codificate integrano le configurazioni hardware della serie MX63 con il software di analisi delle immagini PRECiV Il metodo di osservazione, l'intensità di illuminazione e l'ingrandimento vengono automaticamente registrati dal software e salvati con le immagini associate. Visto che le configurazioni possono essere facilmente riprodotte, qualunque operatore può eseguire le ispezioni con lo stesso livello qualitativo con una formazione minima.

Comandi ergonomici per un'operatività più confortevole e veloce

I comandi per il cambio dell'obiettivo e la regolazione dello stop dell'apertura sono posizionati nella parte inferiore e frontale del microscopio, in modo che gli utenti non sono obbligati a lasciare la presa dalle manopole di messa a fuoco o allontanare la testa dagli oculari durante l'uso.

Osservazioni più veloci attraverso le funzionalità Light Intensity Manager e Automatic Aperture Control

Nei normali microscopi, gli utenti devono regolare l'intensità luminosa e l'apertura per ogni osservazione. La serie MX63 permette agli utenti di configurare l'intensità luminosa e le condizioni di apertura per diversi ingrandimenti e metodi di osservazione. Queste configurazioni possono essere facilmente richiamate, contribuendo a risparmiare tempo e mantenere un'ottimale qualità delle immagini.

Light Intensity Manager

Automatic Aperture Control

Completamente personalizzabile

La serie MX63 è progettata per permettere al cliente di scegliere tra diverse componenti ottiche, in modo da soddisfare diverse specifiche esigenze ispettive e applicative. Il sistema può utilizzare tutti i metodi di osservazione. Gli utenti possono inoltre scegliere tra diversi pacchetti di analisi delle immagini dell'PRECiV per soddisfare specifiche esigenze di acquisizione e analisi.

Due sistemi per accogliere campioni di diverse dimensioni

Il sistema MX63 può accogliere wafer di dimensioni massime di 200 mm mentre il sistema MX63L può accogliere wafer di dimensioni massime di 300 mm con lo stesso ingombro ridotto del sistema MX63. Il design modulare semplifica la personalizzazione del microscopio in base alle specifiche esigenze

Compatibilità IR

L'osservazione a infrarossi può essere realizzata con obiettivi IR, che permettono agli operatori di ispezionare in modo non distruttivo la parte interna dei chip IC incapsulati e installati su un PCB, sfruttando le caratteristiche del silicio che trasmette luce a infrarossi. Gli obiettivi (IR) da 5X a 100X sono disponibili con la correzione dell'aberrazione cromatica dalle lunghezze d'onda della luce visibile all'infrarosso vicino. Specialmente con un obiettivo di 20X o superiore, l'aberrazione causata dallo strato in silicio che copre l'oggetto di osservazione può essere corretto dal collare di correzione, in modo da ottenere un'immagine chiara.

La serie MX63 è usata in diverse applicazioni di microscopia a luce riflessa. Queste applicazioni sono un esempio di modalità con cui il sistema è usato per le ispezioni industriali.

Immagine IR di una sezione di elettrodo

Gli infrarossi (IR) vengono utilizzati per la ricerca di difetti all'interno dei chip IC e di altri dispositivi con strato di silicio.

Pellicola
(A sinistra: Campo chiaro / A destra: Luce polarizzata)

La luce polarizzata è usata per evidenziare la tessitura del materiale e le condizioni dei cristalli. È adatto per le ispezioni di wafer e strutture LCD.

Un disco rigido
(A sinistra: Campo chiaro / A destra: DIC)

Il Contrasto interferenziale (DIC) è usato per osservare i campioni con differenze minime di altezza. Risulta ideale per le ispezioni di campioni con differenze minime di altezza come testine magnetiche, dischi rigidi e wafer sottoposte a planarizzazione.

Schema IC su un wafer semiconduttore
(A sinistra: Campo scuro / A destro: MIX (Campo chiaro + Campo scuro))

Il campo chiaro è utilizzato per rilevare graffi o difetti di lieve entità nei campioni o per eseguire un controllo dei campioni su superfici a specchio, ad esempio i wafer. Grazie all'illuminazione MIX, gli utenti possono visualizzare sia gli schemi che i colori.

Residuo di fotoresist su un wafer semiconduttore
(A sinistra: Fluorescenza / A destra: MIX (Fluorescenza + Campo scuro))

La fluorescenza è impiegata per i campioni che emettono luce se illuminati con un filtro appositamente progettato. Questo è usato per il rilevamento di contaminazioni e residui fotoresistenti. L'illuminazione MIX permette l'osservazione dei residui fotoresistenti e dello schema IC. 

Filtro a colori LCD
(A sinistra: Luce trasmessa / A destra: MIX (Luce trasmessa + Campo chiaro)

Questa tecnica di osservazione è adatta per campioni trasparenti come LCD, plastiche e materiali vetrosi.  L'illuminazione MIX permette l'osservazione sia del colore del filtro sia del pattern del circuito.