Strumenti di osservazione e analisi

• Strumenti di analisi all'avanguardia
• Progettazione all'avanguardia per supportare la conformità alla camera sterile

Strumenti di analisi all'avanguardia

Le versatili funzionalità di osservazione della serie MX63 permettono di ottenere delle immagini chiare e nitide in modo che gli utenti possano rilevare in modo affidabile i difetti nei propri campioni. Le nuove tecniche di illuminazione e le opzioni di acquisizione delle immagini del software di analisi delle immagini OLYMPUS Stream offrono agli utenti maggiori possibilità per la valutazione dei campioni e la documentazione dell'esito dell'analisi.

L'invisibile diventa visibile: Osservazione e acquisizione MIX

La tecnologia di osservazione MIX produce delle eccezionali immagini delle osservazioni combinando un altro metodo di osservazione come il campo chiaro, la fluorescenza o la polarizzazione. L'osservazione MIX permette agli utenti di osservare i difetti che sono difficili da vedere con microscopi convenzionali. L'illuminatore circolare a LED usato per l'osservazione a campo scuro ha una funzione direzionale a campo scuro dove viene illuminato solamente un quadrante alla volta. Questo permette di ridurre l'alone del campione, risultando utile per la visualizzazione della tessitura superficiale del campione.

Struttura su wafer semiconduttore

Residuo fotoresistente su un wafer semiconduttore

Condensatore

Facile creazione di immagini panoramiche: MIA istantanea

Attraverso la funzionalità Multiple image alignment (MIA) gli utenti possono unire insieme immagini in modo facile e veloce, semplicemente spostando le manopole KY sul tavolino manuale (un tavolino motorizzato non è necessario). Il software OLYMPUS Stream utilizza la funzione di riconoscimento dello schema per generare un'immagine panoramica fornendo agli utenti un campo visivo più ampio.

Immagine MIA istantanea di una moneta

Creazione di immagini completamente a fuoco

La funzione Extended Focus Imaging (EFI) di OLYMPUS Stream permette di acquisire immagini di campioni con altezze che superano la profondità di campo dell'obiettivo e di unirle insieme per creare un'immagine completamente a fuoco. La funzione EFI può essere eseguita mediante un asse Z manuale o motorizzato, inoltre crea una mappatura delle altezze facilitando la visualizzazione strutturale. In aggiunta è possibile costruire un'immagine EFI mentre si è offline con Stream Desktop.

Stud bump su un chip IC

Acquisizione delle aree chiare e scure mediante HDR

Mediante operazioni di elaborazione di immagini avanzata, la funzione High Dynamic Range (HDR), cioè elevato campo dinamico, regola le differenze di luminosità di un'immagine per ridurre i riflessi. La funzione HDR migliora la qualità visiva delle immagini digitali aiutando perciò a generare report dall'aspetto professionale.

Dalla misura di base all'analisi avanzata

La misura è essenziale a fini di assicurazione qualità, gestione del processo e ispezione. Tenendo in considerazione questo aspetto, anche il pacchetto software di base OLYMPUS Stream include un menu completo di funzioni di misura interattive con tutti i risultati di misura salvati con file di immagini per successive operazioni di documentazione. Inoltre la soluzione OLYMPUS Stream Materials offre un'interfaccia intuitiva e orientata sul flusso di lavoro per l'analisi di immagini complesse. Cliccando su un pulsante le operazioni di analisi delle immagini possono essere eseguite in modo veloce e preciso. Con una riduzione significativa dei tempi per le operazioni ripetute, gli operatori possono concentrarsi sull'ispezione.

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Efficiente creazione di report

I tempi di creazione di un report possono risultare spesso maggiori rispetto a quelli necessari per l'acquisizione di immagini e la presa di misure. Il software OLYMPUS Stream permette la creazione intuitiva dei report per produrre in continuo dei report efficienti e avanzati basati su modelli predefiniti. La modifica risulta semplice e i report possono essere esportati nei software Microsoft Word o PowerPoint Inoltre la funzione di creazione di report del software OLYMPUS Stream permette di effettuare zoom digitali e ingrandimenti sulle immagini acquisite. I file dei report sono di dimensioni contenute per semplificare la condivisione dei dati per email.

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Opzione autonoma con fotocamera

Mediante una fotocamera per microscopio DP22 o DP27, la serie MX63 diventa un sistema autonomo avanzato. Le fotocamere possono essere controllate mediante un'unità compatta che richiede solamente spazi minimi, contribuendo a massimizzare lo spazio in laboratorio sempre assicurando l'acquisizione di immagini nitide e la realizzazione di misure di base.

Unità di controllo della fotocamera

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Progettazione all'avanguardia per supportare la conformità alla camera sterile

La serie MX63 è progettata per operare in una camera sterile e integra funzionalità che aiutano a minimizzare il rischio di campioni alterati o contaminati. Il sistema ha un design ergonomico che aiuta a assicurare agli utenti un'operatività confortevole, anche se prolungata. La serie MX63 è conforme con le specifiche e le norme internazionali, includendo SEMI S2/S8, CE, and UL.

Integrazione di opzionale caricatore di wafer ― Sistema AL120* 

Alla serie MX63 può essere fissato un opzionale caricatore di wafer per trasferire, in modo sicuro, dei wafer semiconduttori, in silicio e composti, da un caricatore al tavolino del microscopio, senza l'uso di pinzette o bacchette. Prestazioni e affidabilità riconosciute permettono di eseguire delle ispezioni macroscopiche anteriori e posteriori in modo sicuro e efficiente, mentre il caricatore aiuta a migliorare la produttività in laboratorio.

MX63 combinato con il caricatore di wafer AL120 (versione da 200 mm)

* AL120 non è disponibile in EMEA.

Ispezioni veloci e pulite

La serie MX63 permette di effettuare delle ispezioni senza contaminazione. Tutte le componenti motorizzate sono integrate in una struttura protetta e un trattamento antistatico viene applicato allo stativo, ai tubi, al breath shield e a altre componenti. La velocità di rotazione del revolver motorizzato è più veloce e sicura rispetto ai revolver manuali. Questo consente una diminuzione del tempo tra ispezioni e il mantenimento delle mani dell'operatore sotto al wafer, riducendo quindi la contaminazione potenziale.

Design del sistema per delle efficienti osservazioni

Il tavolino XY è in grado di effettuare spostamenti del tavolino micrometrici e macrometrici, grazie alla frizione integrata e alle manopole XY. Il tavolino aiuta a svolgere osservazioni in modo efficiente, anche per campioni di grandi dimensioni come i wafer da 300 mm.
L'ampio angolo applicabile del tubo di osservazione inclinabile permette agli operatori di sedersi davanti al microscopio in una postura confortevole.

Compatibilità di tutte le dimensioni dei wafer

Intuitivi comandi del microscopio: Confortevoli e di facile uso

Le configurazioni del microscopio sono semplici da applicare, facilitando per gli utenti la realizzazione delle regolazioni e la riproduzione delle configurazioni del sistema.

Veloce messa a fuoco: Ausilio per la messa a fuoco

Inserendo un ausilio per la messa a fuoco nel percorso ottico è possibile realizzare, in modo veloce e preciso, una messa a fuoco sui campioni a basso contrasto, come wafer nudi.

Immagine a sinistra: La griglia evidenzia che l'immagine non è a fuoco. / Immagine al centro: La griglia rappresenta un ausilio per la messa a fuoco. / Immagine a destra: È facilmente ottenuta un'immagine a fuoco.

Facile ripristino delle configurazioni del microscopio: Hardware codificato

Le funzioni codificate integrano le configurazioni hardware della serie MX63 con il software di analisi delle immagini OLYMPUS Stream Il metodo di osservazione, l'intensità di illuminazione e l'ingrandimento vengono automaticamente registrati dal software e salvati con le immagini associate. Visto che le configurazioni possono essere facilmente riprodotte, qualunque operatore può eseguire le ispezioni con lo stesso livello qualitativo con una formazione minima.

Comandi ergonomici per un'operatività più confortevole e veloce

I comandi per il cambio dell'obiettivo e la regolazione dello stop dell'apertura sono posizionati nella parte inferiore e frontale del microscopio, in modo che gli utenti non sono obbligati a lasciare la presa dalle manopole di messa a fuoco o allontanare la testa dagli oculari durante l'uso.

Osservazioni più veloci attraverso le funzionalità Light Intensity Manager e Automatic Aperture Control

Nei normali microscopi, gli utenti devono regolare l'intensità luminosa e l'apertura per ogni osservazione. La serie MX63 permette agli utenti di configurare l'intensità luminosa e le condizioni di apertura per diversi ingrandimenti e metodi di osservazione. Queste configurazioni possono essere facilmente richiamate, contribuendo a risparmiare tempo e mantenere un'ottimale qualità delle immagini.

Light Intensity Manager

Automatic Aperture Control

Eccezionali ottiche e immagini digitali per delle ispezioni di qualità

La storia Olympus nello sviluppo di ottiche di alta qualità e di funzionalità avanzate di acquisizione di immagini digitali ha permesso di ottenere una qualità ottica collaudata e dei microscopi che offrono un'eccellente precisione di misura.

Prestazioni ottiche di qualità superiore: Controllo dell'aberrazione del fronte d'onda

Le prestazioni ottiche degli obiettivi influiscono direttamente sulla qualità delle immagini osservate e sui risultati dell'analisi. Gli obiettivi Olympus UIS2 ad alto ingrandimento sono studiati per ridurre le aberrazioni del fronte d'onda per offrire prestazioni ottiche affidabili.

> Cliccare qui per dettagli informazioni sugli obiettivi UIS2 

Colore temperatura costante: Illuminazione a LED bianco ad alta intensità

La serie MX63 utilizza un generatore di luce a LED bianco a lata intensità per un'illuminazione a luce riflessa e trasmessa. Il LED mantiene una temperatura del colore costante indipendentemente dall'intensità per assicurare una qualità dell'immagine e una riproduzione del colore fedele. Il sistema LED assicura un'illuminazione efficiente e di prolungata durata per le applicazioni nelle scienze dei materiali

Il colore varia con l'intensità luminosa.

Il colore rimane invariato con l'intensità luminosa e appare più chiaro rispetto all'illuminazione con luce alogena.
* Tutte le immagini acquisite utilizzano l'esposizione automatica

Misure precise: Taratura automatica

In modo simile alla microscopia digitale, la taratura automatica è disponibile quando si usa il software OLYMPUS Stream. La taratura automatica aiuta a eliminare la variabilità derivata dalla soggettività dell'operatore nel realizzare il processo di taratura, permettendo di ottenere misure più affidabili. La taratura automatica utilizza un algoritmo che calcola automaticamente la corretta taratura in base a una media di diversi punti di misura. Questo permette di minimizzare la variabilità originata da operatori diversi e di mantenere un livello di precisione ottimale, migliorando l'affidabilità.

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Immagini completamente chiare: Correzione dell'ombreggiatura dell'immagine

Il software OLYMPUS Stream integra la funzione di correzione dell'ombreggiatura per rimuovere le ombreggiature presenti negli angoli di un'immagine. Questa funzione permette di ottenere delle analisi più precise quando viene combinata con la definizione delle configurazioni dell'intensità delle soglie.

Wafer semiconduttore (immagine binarizzata)

Immagine ottimale: La correzione delle ombreggiature produce un'illuminazione uniforme nel campo visivo.

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Fully Customizable

The MX63 series is designed to enable the customer to choose a variety of optical components to suit individual inspections and application needs. The system can utilize all observation methods. Users can also select from a variety of OLYMPUS Stream image analysis packages to suit individual image acquisition and analysis needs.

Two Systems Accommodate Diverse Sample Sizes 

The MX63 system can accommodate wafers up to 200 mm while the MX63L system can handle wafers up to 300 mm with the same small footprint as the MX63 system. The modular design makes it easy to customize the microscope for your specific requirements

IR compatibility

Infrared observation can be conducted with the IR objective lenses, which enable the operators to nondestructively inspect the inside of IC chips packed and mounted on a PCB, utilizing the characteristics of silicon that transmit infrared light. 5X to 100X IR objectives are available with chromatic aberration correction from visible light wavelengths through the near infrared. Especially with an objective lens of 20X or more, the aberration caused by the silicon layer covering the observation object can be corrected by the correction collar to obtain a clear image.

La serie MX63 è usata in diverse applicazioni di microscopia a luce riflessa. Queste applicazioni sono un esempio di modalità con cui il sistema è usato per le ispezioni industriali.

Immagine IR di una sezione di elettrodo

Gli infrarossi (IR) vengono utilizzati per la ricerca di difetti all'interno dei chip IC e di altri dispositivi con strato di silicio.

Pellicola
(A sinistra: Campo chiaro / A destra: Luce polarizzata)

La luce polarizzata è usata per evidenziare la tessitura del materiale e le condizioni dei cristalli. È adatto per le ispezioni di wafer e strutture LCD.

Un disco rigido
(A sinistra: Campo chiaro / A destra: DIC)

Il Contrasto interferenziale (DIC) è usato per osservare i campioni con differenze minime di altezza. Risulta ideale per le ispezioni di campioni con differenze minime di altezza come testine magnetiche, dischi rigidi e wafer sottoposte a planarizzazione.

Schema IC su un wafer semiconduttore
(A sinistra: Campo scuro / A destro: MIX (Campo chiaro + Campo scuro))

Il campo chiaro è utilizzato per rilevare graffi o difetti di lieve entità nei campioni o per eseguire un controllo dei campioni su superfici a specchio, ad esempio i wafer. Grazie all'illuminazione MIX, gli utenti possono visualizzare sia gli schemi che i colori.

Residuo fotoresistente su un wafer semiconduttore
(A sinistra: Fluorescenza / A destra: MIX (Fluorescenza + Campo scuro))

La fluorescenza è impiegata per i campioni che emettono luce se illuminati con un filtro appositamente progettato. Questo è usato per il rilevamento di contaminazioni e residui fotoresistenti. L'illuminazione MIX permette l'osservazione dei residui fotoresistenti e dello schema IC. 

Filtro a colori LCD
(A sinistra: Luce trasmessa / A destra: MIX (Luce trasmessa + Campo chiaro)

Questa tecnica di osservazione è adatta per campioni trasparenti come LCD, plastiche e materiali vetrosi.  L'illuminazione MIX permette l'osservazione sia del colore del filtro sia del pattern del circuito.