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MX63 / MX63L

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MX63/MX63L brochure
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  • Overview
  • Funzionamento
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  • Qualità dell'immagine
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Overview

Streamline Your Large Sample Inspection Workflow

The MX63 and MX63L microscope systems are optimized for high-quality inspections of wafers as large as 300 mm, flat panel displays, circuit boards, and other large samples. Their modular design enables you to choose the components you need to tailor the system to your application.

These ergonomic and user-friendly microscopes help increase throughput while keeping inspectors comfortable while they do their work. Combined with OLYMPUS Stream image analysis software, your entire workflow, from observation to report creation, can be simplified.

Streamline Your Large Sample Inspection Workflow


Functional

Designed to meet the ergonomic and safety requirements of the electronics industry with added functionality to enhance analysis capabilities.

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User-Friendly

Simplified microscope settings makes it easier for users to make adjustments and reproduce system settings.

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Advanced Imaging Technology

Our proven optics and exceptional imaging technology deliver clear images and reliable inspections. 

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Modular

Users can customize their system with the components that suit their application.

Modular

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Application Image Gallery

Our advanced image management capability shows what you really want to observe.

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Funzionamento

Strumenti di osservazione e analisi

  • Strumenti di analisi all'avanguardia
  • Progettazione all'avanguardia per supportare la conformità alla camera sterile

Strumenti di analisi all'avanguardia

Le versatili funzionalità di osservazione della serie MX63 permettono di ottenere delle immagini chiare e nitide in modo che gli utenti possano rilevare in modo affidabile i difetti nei propri campioni. Le nuove tecniche di illuminazione e le opzioni di acquisizione delle immagini del software di analisi delle immagini OLYMPUS Stream offrono agli utenti maggiori possibilità per la valutazione dei campioni e la documentazione dell'esito dell'analisi.


L'invisibile diventa visibile: Osservazione e acquisizione MIX

La tecnologia di osservazione MIX produce delle eccezionali immagini delle osservazioni combinando un altro metodo di osservazione come il campo chiaro, la fluorescenza o la polarizzazione. L'osservazione MIX permette agli utenti di osservare i difetti che sono difficili da vedere con microscopi convenzionali. L'illuminatore circolare a LED usato per l'osservazione a campo scuro ha una funzione direzionale a campo scuro dove viene illuminato solamente un quadrante alla volta. Questo permette di ridurre l'alone del campione, risultando utile per la visualizzazione della tessitura superficiale del campione.

Struttura su wafer semiconduttore

Struttura su wafer semiconduttore - Campo chiaro

Più

Struttura su wafer semiconduttore - Campo scuro

Freccia

Struttura su wafer semiconduttore - MIX

Lo schema IC non è chiaro.

Il colore del wafer non è visibile.

Il colore del wafer e lo schema IC sono chiaramente rappresentati.

Residuo fotoresistente su un wafer semiconduttore

Residuo fotoresistente su un wafer semiconduttore - Fluorescenza

Più

Residuo fotoresistente su un wafer semiconduttore - Campo scuro

Freccia

Residuo fotoresistente su un wafer semiconduttore - MIX

Il campione non è visibile.

Il residuo non è chiaro

Lo schema IC e il residuo sono chiaramente rappresentati.

Condensatore

Condensatore - Campo scuro

Freccia

Condensatore - Immagine composta

Freccia

Condensatore - MIX

La superficie è riflessa.

Alcune immagini con campo scuro direzionale da diversi angoli.

Unendo insieme delle immagini chiare senza aloni viene creata una nitida singola immagine del campione.


Facile creazione di immagini panoramiche: MIA istantanea

Attraverso la funzionalità Multiple image alignment (MIA) gli utenti possono unire insieme immagini in modo facile e veloce, semplicemente spostando le manopole KY sul tavolino manuale (un tavolino motorizzato non è necessario). Il software OLYMPUS Stream utilizza la funzione di riconoscimento dello schema per generare un'immagine panoramica fornendo agli utenti un campo visivo più ampio.

Facile creazione di immagini panoramiche: MIA istantanea

Immagine MIA istantanea di una moneta


Creazione di immagini completamente a fuoco

La funzione Extended Focus Imaging (EFI) di OLYMPUS Stream permette di acquisire immagini di campioni con altezze che superano la profondità di campo dell'obiettivo e di unirle insieme per creare un'immagine completamente a fuoco. La funzione EFI può essere eseguita mediante un asse Z manuale o motorizzato, inoltre crea una mappatura delle altezze facilitando la visualizzazione strutturale. In aggiunta è possibile costruire un'immagine EFI mentre si è offline con Stream Desktop.

Creazione di immagini completamente a fuoco

Stud bump su un chip IC


Acquisizione delle aree chiare e scure mediante HDR

Mediante operazioni di elaborazione di immagini avanzata, la funzione High Dynamic Range (HDR), cioè elevato campo dinamico, regola le differenze di luminosità di un'immagine per ridurre i riflessi. La funzione HDR migliora la qualità visiva delle immagini digitali aiutando perciò a generare report dall'aspetto professionale.

Acquisizione delle aree chiare e scure mediante HDR

Freccia

Acquisizione delle aree chiare e scure mediante HDR

Acquisizione delle aree chiare e scure mediante HDR

Freccia

Acquisizione delle aree chiare e scure mediante HDR

Alcune aree sono riflettenti.

Aree chiare e scure hanno un'esposizione ottimale mediante l'HDR.

La serie di TFT appare nera a causa della luminosità del filtro del colore.

La serie di TFT ha un'esposizione ottimale mediante l'HDR.


Dalla misura di base all'analisi avanzata

La misura è essenziale a fini di assicurazione qualità, gestione del processo e ispezione. Tenendo in considerazione questo aspetto, anche il pacchetto software di base OLYMPUS Stream include un menu completo di funzioni di misura interattive con tutti i risultati di misura salvati con file di immagini per successive operazioni di documentazione. Inoltre la soluzione OLYMPUS Stream Materials offre un'interfaccia intuitiva e orientata sul flusso di lavoro per l'analisi di immagini complesse. Cliccando su un pulsante le operazioni di analisi delle immagini possono essere eseguite in modo veloce e preciso. Con una riduzione significativa dei tempi per le operazioni ripetute, gli operatori possono concentrarsi sull'ispezione.

Dalla misura di base all'analisi avanzata 01

Misura di base (pattern o circuito stampato)

Dalla misura di base all'analisi avanzata 02

Soluzione Throwing power (sezione trasversale di un foro passante di un PCB)

Dalla misura di base all'analisi avanzata 03

Soluzione Automatic measurement (struttura Wafer)

> Cliccare qui per maggior informazioni sull'OLYMPUS Stream


Efficiente creazione di report

I tempi di creazione di un report possono risultare spesso maggiori rispetto a quelli necessari per l'acquisizione di immagini e la presa di misure. Il software OLYMPUS Stream permette la creazione intuitiva dei report per produrre in continuo dei report efficienti e avanzati basati su modelli predefiniti. La modifica risulta semplice e i report possono essere esportati nei software Microsoft Word o PowerPoint Inoltre la funzione di creazione di report del software OLYMPUS Stream permette di effettuare zoom digitali e ingrandimenti sulle immagini acquisite. I file dei report sono di dimensioni contenute per semplificare la condivisione dei dati per email.

Efficiente creazione di report

> Cliccare qui per maggior informazioni sull'OLYMPUS Stream


Opzione autonoma con fotocamera

Mediante una fotocamera per microscopio DP22 o DP27, la serie MX63 diventa un sistema autonomo avanzato. Le fotocamere possono essere controllate mediante un'unità compatta che richiede solamente spazi minimi, contribuendo a massimizzare lo spazio in laboratorio sempre assicurando l'acquisizione di immagini nitide e la realizzazione di misure di base.

Opzione con fotocamera autonoma

Unità di controllo della fotocamera

> Cliccare qui per maggior informazioni sul DP27

> Cliccare qui per maggior informazioni sul DP22


Progettazione all'avanguardia per supportare la conformità alla camera sterile

La serie MX63 è progettata per operare in una camera sterile e integra funzionalità che aiutano a minimizzare il rischio di campioni alterati o contaminati. Il sistema ha un design ergonomico che aiuta a assicurare agli utenti un'operatività confortevole, anche se prolungata. La serie MX63 è conforme con le specifiche e le norme internazionali, includendo SEMI S2/S8, CE, and UL.

Integrazione di opzionale caricatore di wafer ― Sistema AL120* 

Alla serie MX63 può essere fissato un opzionale caricatore di wafer per trasferire, in modo sicuro, dei wafer semiconduttori, in silicio e composti, da un caricatore al tavolino del microscopio, senza l'uso di pinzette o bacchette. Prestazioni e affidabilità riconosciute permettono di eseguire delle ispezioni macroscopiche anteriori e posteriori in modo sicuro e efficiente, mentre il caricatore aiuta a migliorare la produttività in laboratorio.

Integrazione di opzionale caricatore di wafer ― Sistema AL120

MX63 combinato con il caricatore di wafer AL120 (versione da 200 mm)

* AL120 non è disponibile in EMEA.


Ispezioni veloci e pulite

La serie MX63 permette di effettuare delle ispezioni senza contaminazione. Tutte le componenti motorizzate sono integrate in una struttura protetta e un trattamento antistatico viene applicato allo stativo, ai tubi, al breath shield e a altre componenti. La velocità di rotazione del revolver motorizzato è più veloce e sicura rispetto ai revolver manuali. Questo consente una diminuzione del tempo tra ispezioni e il mantenimento delle mani dell'operatore sotto al wafer, riducendo quindi la contaminazione potenziale.

Ispezioni veloci e pulite 01

Breath shield antistatico

Ispezioni veloci e pulite 02

Revolver motorizzato


Design del sistema per delle efficienti osservazioni

Il tavolino XY è in grado di effettuare spostamenti del tavolino micrometrici e macrometrici, grazie alla frizione integrata e alle manopole XY. Il tavolino aiuta a svolgere osservazioni in modo efficiente, anche per campioni di grandi dimensioni come i wafer da 300 mm.
L'ampio angolo applicabile del tubo di osservazione inclinabile permette agli operatori di sedersi davanti al microscopio in una postura confortevole.

Design del sistema per delle efficienti osservazioni 01

Impugnatura del tavolino con frizione integrata

Design del sistema per delle efficienti osservazioni 02

Tubo di osservazione inclinabile per una postura confortevole


Compatibilità di tutte le dimensioni dei wafer

Compatibilità di tutte le dimensioni dei wafer

Supporti del wafer e piattelli in vetro

Il sistema funziona con diversi tipi di supporti per wafer da 150-200 m/200-300 mm e piattelli in vetro. Nel caso in cui nella linea di produzione cambino le dimensioni dei wafer, lo stativo può essere modificato con costi minimi. Con la serie MX63, possono essere usati diversi tavolini per accogliere wafer da 75 mm, 100 mm, 125 mm e 150 mm sulla linea di ispezione.

Facile uso

Intuitivi comandi del microscopio: Confortevoli e di facile uso

Le configurazioni del microscopio sono semplici da applicare, facilitando per gli utenti la realizzazione delle regolazioni e la riproduzione delle configurazioni del sistema.


Veloce messa a fuoco: Ausilio per la messa a fuoco

Inserendo un ausilio per la messa a fuoco nel percorso ottico è possibile realizzare, in modo veloce e preciso, una messa a fuoco sui campioni a basso contrasto, come wafer nudi.

Veloce messa a fuoco: Ausilio per la messa a fuoco

Immagine a sinistra: La griglia evidenzia che l'immagine non è a fuoco. / Immagine al centro: La griglia rappresenta un ausilio per la messa a fuoco. / Immagine a destra: È facilmente ottenuta un'immagine a fuoco.


Facile ripristino delle configurazioni del microscopio: Hardware codificato

Le funzioni codificate integrano le configurazioni hardware della serie MX63 con il software di analisi delle immagini OLYMPUS Stream Il metodo di osservazione, l'intensità di illuminazione e l'ingrandimento vengono automaticamente registrati dal software e salvati con le immagini associate. Visto che le configurazioni possono essere facilmente riprodotte, qualunque operatore può eseguire le ispezioni con lo stesso livello qualitativo con una formazione minima.

Facile ripristino delle configurazioni del microscopio: Hardware codificato 01

Facile ripristino delle configurazioni del microscopio: Hardware codificato 02

Facile ripristino delle configurazioni del microscopio: Hardware codificato 03

Facile ripristino delle configurazioni del microscopio: Hardware codificato 04

Facile ripristino delle configurazioni del microscopio: Hardware codificato 05

Diversi operatori usano diverse configurazioni.

Recuperare le configurazioni del dispositivo con il software OLYMPUS Stream.

Diversi operatori possono usare le stesse configurazioni.


Comandi ergonomici per un'operatività più confortevole e veloce

I comandi per il cambio dell'obiettivo e la regolazione dello stop dell'apertura sono posizionati nella parte inferiore e frontale del microscopio, in modo che gli utenti non sono obbligati a lasciare la presa dalle manopole di messa a fuoco o allontanare la testa dagli oculari durante l'uso.

Funzionamento centralizzato del microscopio

Funzionamento centralizzato del microscopio

Console di regolazione

Console di regolazione

Pulsante di snapshot

Pulsante di snapshot


Osservazioni più veloci attraverso le funzionalità Light Intensity Manager e Automatic Aperture Control

Nei normali microscopi, gli utenti devono regolare l'intensità luminosa e l'apertura per ogni osservazione. La serie MX63 permette agli utenti di configurare l'intensità luminosa e le condizioni di apertura per diversi ingrandimenti e metodi di osservazione. Queste configurazioni possono essere facilmente richiamate, contribuendo a risparmiare tempo e mantenere un'ottimale qualità delle immagini.

Light Intensity Manager

Light Intensity Manager 01

Intensità luminosa convenzionale

Light Intensity Manager 02

L'immagine diventa eccessivamente chiara o scura quando si modifica l'ingrandimento o il metodo di osservazione.

Light Intensity Manager

Light Intensity Manger 03

L'intensità luminosa è automaticamente regolata per produrre l'immagine ottimale quando si cambia il metodo di osservazione o l'ingrandimento.


Automatic Aperture Control

Automatic Aperture Control 01

Massima apertura: Maggiore risoluzione

Minima apertura: Maggiore contrasto e profondità di campo

Automatic Aperture Control 02

Qualità dell'immagine

Eccezionali ottiche e immagini digitali per delle ispezioni di qualità

La storia Olympus nello sviluppo di ottiche di alta qualità e di funzionalità avanzate di acquisizione di immagini digitali ha permesso di ottenere una qualità ottica collaudata e dei microscopi che offrono un'eccellente precisione di misura.


Prestazioni ottiche di qualità superiore: Controllo dell'aberrazione del fronte d'onda

Le prestazioni ottiche degli obiettivi influiscono direttamente sulla qualità delle immagini osservate e sui risultati dell'analisi. Gli obiettivi Olympus UIS2 ad alto ingrandimento sono studiati per ridurre le aberrazioni del fronte d'onda per offrire prestazioni ottiche affidabili.

Prestazioni ottiche di qualità superiore: Controllo dell'aberrazione del fronte d'onda 01

Fronte d'onda non ottimale

Prestazioni ottiche di qualità superiore: Controllo dell'aberrazione del fronte d'onda 02

Fronte d'onda ottimale (obiettivo UIS2)

> Cliccare qui per dettagli informazioni sugli obiettivi UIS2 


Colore temperatura costante: Illuminazione a LED bianco ad alta intensità

La serie MX63 utilizza un generatore di luce a LED bianco a lata intensità per un'illuminazione a luce riflessa e trasmessa. Il LED mantiene una temperatura del colore costante indipendentemente dall'intensità per assicurare una qualità dell'immagine e una riproduzione del colore fedele. Il sistema LED assicura un'illuminazione efficiente e di prolungata durata per le applicazioni nelle scienze dei materiali

Colore temperatura costante:  Illuminazione a LED bianco ad alta intensità 01

Il colore varia con l'intensità luminosa.

Colore temperatura costante:  Illuminazione a LED bianco ad alta intensità 02

Il colore rimane invariato con l'intensità luminosa e appare più chiaro rispetto all'illuminazione con luce alogena.
* Tutte le immagini acquisite utilizzano l'esposizione automatica


Misure precise: Taratura automatica

In modo simile alla microscopia digitale, la taratura automatica è disponibile quando si usa il software OLYMPUS Stream. La taratura automatica aiuta a eliminare la variabilità derivata dalla soggettività dell'operatore nel realizzare il processo di taratura, permettendo di ottenere misure più affidabili. La taratura automatica utilizza un algoritmo che calcola automaticamente la corretta taratura in base a una media di diversi punti di misura. Questo permette di minimizzare la variabilità originata da operatori diversi e di mantenere un livello di precisione ottimale, migliorando l'affidabilità.

Misure precise: Taratura automatica

> Cliccare qui per maggior informazioni sull'OLYMPUS Stream


Immagini completamente chiare: Correzione dell'ombreggiatura dell'immagine

Il software OLYMPUS Stream integra la funzione di correzione dell'ombreggiatura per rimuovere le ombreggiature presenti negli angoli di un'immagine. Questa funzione permette di ottenere delle analisi più precise quando viene combinata con la definizione delle configurazioni dell'intensità delle soglie.

Wafer semiconduttore (immagine binarizzata)

Immagini completamente chiare: Correzione dell'ombreggiatura dell'immagine

Immagine ottimale: La correzione delle ombreggiature produce un'illuminazione uniforme nel campo visivo.

> Cliccare qui per maggior informazioni sull'OLYMPUS Stream

Modularity

Fully Customizable

The MX63 series is designed to enable the customer to choose a variety of optical components to suit individual inspections and application needs. The system can utilize all observation methods. Users can also select from a variety of OLYMPUS Stream image analysis packages to suit individual image acquisition and analysis needs.


Two Systems Accommodate Diverse Sample Sizes 

The MX63 system can accommodate wafers up to 200 mm while the MX63L system can handle wafers up to 300 mm with the same small footprint as the MX63 system. The modular design makes it easy to customize the microscope for your specific requirements

MX63

MX63

MX63L

MX63L


IR compatibility

Infrared observation can be conducted with the IR objective lenses, which enable the operators to nondestructively inspect the inside of IC chips packed and mounted on a PCB, utilizing the characteristics of silicon that transmit infrared light. 5X to 100X IR objectives are available with chromatic aberration correction from visible light wavelengths through the near infrared. Especially with an objective lens of 20X or more, the aberration caused by the silicon layer covering the observation object can be corrected by the correction collar to obtain a clear image.

IR compatibility 01

IR objective lenses

IR compatibility 02

Without aberration correction

IR compatibility 03

With aberration correction

Applicazioni

La serie MX63 è usata in diverse applicazioni di microscopia a luce riflessa. Queste applicazioni sono un esempio di modalità con cui il sistema è usato per le ispezioni industriali.


Immagine IR di una sezione di elettrodo

Immagine IR di una sezione di elettrodo

Gli infrarossi (IR) vengono utilizzati per la ricerca di difetti all'interno dei chip IC e di altri dispositivi con strato di silicio.


Pellicola (A sinistra: Campo chiaro / A destra: Luce polarizzata)

Pellicola
(A sinistra: Campo chiaro / A destra: Luce polarizzata)

La luce polarizzata è usata per evidenziare la tessitura del materiale e le condizioni dei cristalli. È adatto per le ispezioni di wafer e strutture LCD.


Un disco rigido (A sinistra: Campo chiaro / A destra: DIC)

Un disco rigido
(A sinistra: Campo chiaro / A destra: DIC)

Il Contrasto interferenziale (DIC) è usato per osservare i campioni con differenze minime di altezza. Risulta ideale per le ispezioni di campioni con differenze minime di altezza come testine magnetiche, dischi rigidi e wafer sottoposte a planarizzazione.


Schema IC su un wafer semiconduttore  (A sinistra: Campo scuro / A destra: MIX (Campo chiaro + Campo scuro))

Schema IC su un wafer semiconduttore
(A sinistra: Campo scuro / A destro: MIX (Campo chiaro + Campo scuro))

Il campo chiaro è utilizzato per rilevare graffi o difetti di lieve entità nei campioni o per eseguire un controllo dei campioni su superfici a specchio, ad esempio i wafer. Grazie all'illuminazione MIX, gli utenti possono visualizzare sia gli schemi che i colori.


Residuo fotoresistente su un wafer semiconduttore (A sinistra: Fluorescenza / A destra: MIX (Fluorescenza + Campo scuro))

Residuo fotoresistente su un wafer semiconduttore
(A sinistra: Fluorescenza / A destra: MIX (Fluorescenza + Campo scuro))

La fluorescenza è impiegata per i campioni che emettono luce se illuminati con un filtro appositamente progettato. Questo è usato per il rilevamento di contaminazioni e residui fotoresistenti. L'illuminazione MIX permette l'osservazione dei residui fotoresistenti e dello schema IC. 


Filtro a colori LCD (A sinistra: Luce trasmessa / A destra: MIX (Luce trasmessa + Campo chiaro))

Filtro a colori LCD
(A sinistra: Luce trasmessa / A destra: MIX (Luce trasmessa + Campo chiaro)

Questa tecnica di osservazione è adatta per campioni trasparenti come LCD, plastiche e materiali vetrosi.  L'illuminazione MIX permette l'osservazione sia del colore del filtro sia del pattern del circuito.

Specifiche tecniche

MX63 MX63L
Sistema ottico Sistema ottico UIS2 (infinito corretto)
Stativo Illuminazione a luce riflessa LED bianco (con Light Intensity Manager) /12 V, lampada alogena da 100 W, lampada al mercurio da 100 W
Cambio manuale del cubo filtro/Campo chiaro/Campo scuro (cubo filtro è opzionale).
Cubo filtro codificato a 3 posizioni modificabili manualmente
Integrato diaframma di apertura motorizzato (predefinizione per ogni obiettivo, apertura completa automatica per il campo scuro)
Modalità di osservazione: campo chiaro, campo scuro, contrasto interferenziale (DIC)*1, polarizzazione semplice*1, fluorescenza*1, infrarosso*1 e MIX (4 campo scuro direzionale)*2
*1 Opzionale cubo filtro, *2 Richiesta la configurazione con osservazione MIX
Illuminazione a luce trasmessa Unità con illuminazione a luce trasmessa: Richiesta MX-TILLA o MX-TILLB.
- MX-TILLA: Un condensatore (NA 0,5) e uno stop di apertura
- MX-TILLB: Un condensatore (NA 0,6), uno stop di apertura e uno stop di campo
Generatore di luce: LG-LSLED (luce a LED) Guida luce: LG-SF    
Modalità di osservazione: Campo chiaro e semplice polarizzazione
Messa a fuoco Corsa: 32 mm
Corsa precisa per rotazione: 100 μm
Graduazione minima: 1 μm
Finecorsa superiore, regolazione della coppia per il sistema di regolazione macrometrico
Peso massimo di carico (incluso tavolino e supporto) 8 kg 15 kg
Tubo di osservazione Campo ampio (FN 22 mm) Dritto e trioculare: U-ETR4
Dritto, inclinabile e trioculare: U-TTR-2
Invertito e trioculare: U-TR30-2, U-TR30IR (per osservazione IR)
Invertito e binoculare: U-BI30-2
Invertito, inclinabile e binoculare: U-TBI30
Super wide field (FN 26,5 mm) Dritto, inclinabile e trioculare: MX-SWETTR (percorso ottico 100% (oculare) : 0 (fotocamera) o 0 : 100%)
Dritto, inclinabile e trioculare: U-SWETTR (commutazione del percorso ottico 100% (oculare) : 0 (fotocamera) o 20% : 80%)
Invertito e trioculare: U-SWTR-3
Revolver motorizzato

Campo chiaro
Sestuplo motorizzato con un'apertura di inserimento della slitta DIC: U-D6REMC
Centrabile motorizzato quintuplo con un'apertura di inserimento della slitta DIC: U-P5REMC

Campo chiaro e campo scuro
Sestuplo motorizzato con un'apertura di inserimento della slitta DIC: U-D6BDREMC
Quintuplo motorizzato con un'apertura di inserimento della slitta DI: U-D5BDREMC
Centrabile motorizzato quintuplo con un'apertura di inserimento della slitta DIC: U-P5BDREMC

Tavolino (X × Y)

Coassiale con manopola destra con frizione integrata: MX-SIC8R
Corsa: 210 x 210 mm
Area di illuminazione a luce trasmessa: 189 x 189 mm

Coassiale con manopola destra con frizione integrata: MX-SIC6R2
Corsa: 158 x 158 mm
(solamente uso di luce riflessa)

Coassiale con manopola destra con frizione integrata: MX-SIC1412R2
Corsa: 356 x 305 mm
Area di illuminazione a luce trasmessa: 356 x 284 mm
Peso Circa 35,6 kg (stativo 26 kg) Circa 44 kg (stativo 28,5 kg)

Resources

Note delle applicazioni

Ispezione del pattern del circuito su wafer campione
Misurazione del rapporto dell'area per le superfici adesive dopo il distacco bump

Cataloghi

Olympus Infrared Microscopy Solutions
MX63/MX63L brochure
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