Stativo a ponte grande OLS5100 — Elevata stabilità per le misure di campioni di dimensioni molto grandi

La stabilità rappresenta il fattore principale per l'ispezione a alta risoluzione di componenti come i wafer in silicio, le componenti elettroniche o le grandi componenti di automobili. Lo stativo a ponte grande personalizzabile è progettato per assicurare la precisione e l'accuratezza delle misure acquisite con il microscopio LEXT OLS5100. Integra le seguenti funzionalità:

• Elevata capacità di ammortizzazione delle vibrazioni per assicurare un'eccezionale stabilità
• Tavolini motorizzati fino a 400 × 400 mm per un'ispezione di campioni di grandi dimensioni fino ad un massimo di 20 kg di peso
• Controllo Z manuale di 150 mm per gestire oggetti alti e di grandi dimensioni da ispezionare

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Workstation personalizzabili a elevata stabilità – Massimizzazione della precisione di misura

Ottenere una precisione di misura ottimale durante l'ispezione a scala nanometrica di campioni come le componenti elettroniche richiedono un'apparecchiatura che minimizzi l'effetto di vibrazioni esterne.

Le nostre workstation permettono l'ispezione precisa a una scala nanometrica. Le workstation comprendono:

• Stabili stativi di microscopi
• Unità a antivibrazione attiva – unità integrate o da banco
• Unità di controllo ambientale
• Stativi separati per computer e monitor per eliminare le vibrazioni del computer che potrebbero essere trasmessi al microscopio.

Queste componenti delle workstation possono essere usate per personalizzare una soluzione completa all'avanguardia o possono essere acquistate singolarmente in base alle proprie esigenze.

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Stabile piano in pietra — Ambiente operativo ottimizzato

Può risultare complesso assicurare delle condizioni ambientali adeguate per avere una precisione ottimale quando si effettuano delle ispezioni a scala nanometrica di componenti elettroniche o di altri oggetti.

Il piano in pietra assicura che gli operatori possano acquisire delle misure affidabili a alta risoluzione.

• Progettato specificatamente per il microscopio OLS51000 CUS TM, assicura un'elevata stabilità del microscopio durante l'ispezione di oggetti voluminosi e pesanti.
• I piedini regolabili permettono una facile regolazione dell'altezza di 0−50 mm nel caso di superfici irregolari
• Lo stativo in acciaio inossidabile e un piano resistente ai graffi assicura una protezione da alterazioni

Le unità a antivibrazione attiva possono essere integrate facilmente nello stativo del microscopio, il quale rappresenta una soluzione molto compatta, oppure implementate in un unità antivibrazioni da banco, in funzione delle proprie necessità di ispezione.

Unità da banco a antivibrazione attiva — Elimina le piccole vibrazioni per assicurare una maggiore precisione

Per le applicazioni che richiedono una risoluzione a scala nanometrica, come l'ispezione di wafer, perfino una leggera vibrazione o un minimo rumore possono influenzare la precisione di misura.

L'unità da banco a antivibrazione attiva è progettata per eliminare le vibrazioni esterne e ha diverse caratteristiche che possono aumentare la stabilità e la precisione di misura:

• Larghezza di banda attiva di 0,6−200 Hz
• Delle minime prestazioni di isolamento di 25 dB a 5 Hz o 40 dB a >10 Hz assicurano un'eccellente stabilità
• Capacità di carico massima di 150 kg per una stabilità del microscopio durante l'ispezione di oggetti pesanti come componenti di automobili

Unità di controllo ambientale – Un efficiente strumento per l'ispezione in camera bianca

La schermatura del microscopio assicura un ambiente operativo in grado di migliorare la precisione di misura e riduce il rumore della scansione quando si utilizzano gli standard sistemi LEXT. Per aiutare gli utenti a assicurare degli efficienti flussi di lavoro di ispezione con la schermatura, l'unità di controllo ambientale integra diverse caratteristiche innovative strutturali:

• Gli ampi sportellini frontale e laterale assicura una facile accessibilità al LEXT EAF, permettendo un rapido movimento Z manuale o una regolazione del blocco dell'altezza, oltre a un efficiente posizionamento del campione
• La struttura ricercata e semplificata possiede degli sportellini in plexiglass trasparenti per un efficiente monitoraggio del flusso di lavoro
• L'unità di controllo ambientale protegge il LEXT dalla polvere, rendendola estremamente utile per l'ispezione in camera bianca
• L'unità può essere fissata direttamente al piano dedicato, aumentando la stabilità del microscopio e la precisione di misura
• Compatibile con tutti i modelli LEXT standard
• Una soluzione simile è disponibile anche per i più grandi LEXT OLS5100 CUS TM

Piastra a depressione con micropori — Ottimale fissaggio per campioni delicati

Un'accurata ispezione di campioni sottili e flessibili come le pellicole RFID, i pannelli solari e i wafer in silicio richiedono dei supporti di campioni che forniscano un'uniforme forza di bloccaggio e una minima deformazione del campione.

La piastra a depressione con micropori mantiene la planarità e l'integrità del campioni delicati durante l'ispezione. Questo si ottiene mediante una depressione uniforme mediante i micropori invece di fori o scanalature a depressione.

• La piastra a depressione con micropori minimizza il movimento dei campioni, aumentando la ripetibilità delle misure
• Specificatamente progettato per l'ispezione di wafer in silicio
• Permette un'efficiente ispezione di substrati sottili come fogli, pellicole, wafer e schede PCB

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Supporto per wafer a depressione rotante – Fissaggio di wafer saldo e stabile

I supporti dei campioni devono assicurare una facile osservazione e un fissaggio stabile del campione per assicurare un'efficiente ispezione dei wafer in silicio.

Il supporto per wafer a depressione possiede diverse caratteristiche che semplificano i flussi di lavoro dei wafer:

• Distribuendo uniformemente la forza depressiva assicura la massima stabilità del wafer e un'ottimale precisione di misura
• La rotazione dei wafer rende più facile e veloce l'osservazione dei campioni
• Design scalare con scanalature larghe 30 mm per un pratico posizionamento del campione
• Il supporto può essere fissato direttamente in un tavolino da 300 mm o in un tavolino da 200 mm mediante un piattello adattatore.
• Progettato per l'ispezione di wafer da 10 cm (4 in.), 15 cm (6 in.), 20 cm (8 in.) e 30 cm (12 in.).

Supporto per wafer rotante – Semplificazione dell'ispezione di wafer

Il supporto per wafer rotante rappresenta una semplice e economica alternativa per il fissaggio del campione dove la depressione non è richiesta.

• La rotazione dei wafer migliora l'osservazione del campione e velocizza l'ispezione
• Il design scalare con scanalature larghe 30 mm semplifica il posizionamento del campione
• Il supporto può accogliere wafer da 15 cm (6 in.) e 20 cm (8 in.).
• Inoltre è disponibile anche un dedicato supporto per wafer da 20 cm (8 in.)

Fissaggi con fori filettati — Semplificazione dell'ispezione con fori personalizzati

I fissaggi personalizzati sono spesso richiesti per bloccare tubazioni, cubi o altri oggetti irregolari durante l'ispezione.

Dotato di 68 fori filettati M3 distribuiti uniformemente e aventi una misura di 150 mm × 110 mm × 5,5 mm, l'inserto può integrare numerosi tipi di elementi personalizzati per assicurare un versatile fissaggio dei campioni