Stativo a ponte grande - Elevata stabilità per le misure di campioni di dimensioni molto grandi

La stabilità rappresenta il fattore principale per l'ispezione ad alta risoluzione di componenti come i wafer in silicio, le parti elettroniche o le grandi componenti di automobili. Lo stativo a ponte grande personalizzabile è progettato per assicurare la precisione e l'accuratezza delle misure acquisite con il microscopio OLS5100. Le caratteristiche includono:

• Elevata capacità di ammortizzazione delle vibrazioni per assicurare un'eccezionale stabilità
• Tavolini motorizzati fino a 400 × 400 mm per l'ispezione di campioni di grandi dimensioni fino ad un massimo di 20 kg di peso
• Controllo Z manuale di 150 mm per gestire oggetti alti e di grandi dimensioni da ispezionare

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Workstation personalizzabili a elevata stabilità – Massimizzazione della precisione di misura

Per ottenere una precisione di misura ottimale durante l'ispezione a scala nanometrica di campioni come le componenti elettroniche occorre un'apparecchiatura che minimizzi l'effetto di vibrazioni esterne.

Le nostre workstation a stabilità elevata permettono l'ispezione precisa a scala nanometrica. Le workstation includono:

• Stabili stativi di microscopi
• Unità a antivibrazione attiva – integrate o da banco
• Unità di controllo ambientale
• Stativi separati per computer e monitor per evitare che le vibrazioni del computer si trasmettano al microscopio.

Queste componenti delle workstation possono essere usate per personalizzare una soluzione completa all'avanguardia o possono essere acquistate singolarmente in base alle proprie esigenze.

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Stabile piano in pietra - Ambiente operativo ottimizzato

Può risultare complesso assicurare delle condizioni ambientali adeguate per avere una precisione ottimale quando si effettuano delle ispezioni a scala nanometrica di componenti elettroniche o di altri oggetti.

Il piano in pietra assicura che gli operatori possano acquisire delle misure affidabili ad alta risoluzione.

• Progettato specificatamente per il microscopio OLS51000 CUS TM, assicura un'elevata stabilità del microscopio durante l'ispezione di oggetti voluminosi e pesanti
• I piedini regolabili permettono una facile regolazione dell'altezza di 0-50 mm nel caso di superfici irregolari
• Lo stativo in acciaio inossidabile e un piano resistente ai graffi assicurano una protezione da alterazioni

Le unità a antivibrazione attiva possono essere integrate facilmente nello stativo del microscopio, per una soluzione molto compatta, oppure implementate nell'unità a antivibrazione da banco, in funzione delle proprie necessità di ispezione.

Unità da banco a antivibrazione attiva - Elimina le piccole vibrazioni per assicurare una maggiore precisione

Per le applicazioni che richiedono una risoluzione a scala nanometrica, come l'ispezione di wafer, perfino una leggera vibrazione o un minimo rumore possono influenzare la precisione di misura.

L'unità da banco a antivibrazione attiva è progettata per eliminare le vibrazioni esterne e ha diverse caratteristiche che possono aumentare la stabilità e la precisione di misura:

• Larghezza di banda attiva di 0,6-200 Hz
• Minime prestazioni di isolamento di 25 dB a 5 Hz o 40 dB a >10 Hz che assicurano un'eccellente stabilità
• Capacità di carico massima di 150 kg per una stabilità del microscopio durante l'ispezione di oggetti pesanti come componenti di automobili

Unità di controllo ambientale – Un efficiente strumento per l'ispezione in camera bianca

La schermatura del microscopio assicura un ambiente operativo in grado di migliorare la precisione di misura e riduce il rumore della scansione quando si utilizzano i sistemi LEXT standard. Per aiutare gli utenti a assicurare degli efficienti flussi di lavoro di ispezione con la schermatura, l'unità di controllo ambientale integra diverse caratteristiche strutturali innovative:

• Gli ampi sportellini frontali e laterali assicurano una facile accessibilità al LEXT EAF, permettendo un rapido movimento Z manuale o una regolazione del blocco dell'altezza, oltre a un efficiente posizionamento del campione
• La struttura ricercata e semplificata presenta degli sportellini trasparenti per un efficiente monitoraggio del flusso di lavoro
• L'unità di controllo ambientale protegge il sistema LEXT dalla polvere, rendendola estremamente utile per l'ispezione in camera bianca
• L'unità può essere fissata direttamente al piano dedicato, aumentando la stabilità del microscopio e la precisione di misura
• Compatibile con tutti i modelli LEXT standard
• Una soluzione simile è disponibile anche per i sistemi LEXT OLS5100 CUS TM più grandi

Piastra a depressione con micropori - Ottimale fissaggio per campioni delicati

Un'accurata ispezione di campioni sottili e flessibili come le pellicole RFID, i pannelli solari e i wafer in silicio richiede dei supporti di campioni che forniscano un'uniforme forza di bloccaggio e una minima deformazione del campione.

La piastra a depressione con micropori mantiene la planarità e l'integrità del campioni delicati durante l'ispezione. Questo si ottiene mediante una depressione uniforme mediante i micropori invece di fori o scanalature a depressione.

• La piastra a depressione con micropori minimizza il movimento dei campioni, aumentando la ripetibilità delle misure
• Specificatamente progettata per l'ispezione di wafer in silicio
• Permette un'efficiente ispezione di substrati sottili come fogli, pellicole, wafer e schede PCB

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Supporto per wafer a depressione rotante – Fissaggio di wafer saldo e stabile

I supporti dei campioni devono assicurare una facile osservazione e un fissaggio stabile del campione per assicurare un'efficiente ispezione dei wafer in silicio.

Il supporto per wafer a depressione possiede diverse caratteristiche che semplificano i flussi di lavoro dei wafer:

• Distribuendo uniformemente la forza depressiva assicura la massima stabilità del wafer e un'ottimale precisione di misura
• La rotazione dei wafer rende più facile e veloce l'osservazione dei campioni
• Design scalare con scanalature larghe 30 mm per un pratico posizionamento del campione
• Il supporto può essere fissato direttamente in un tavolino da 300 mm o in un tavolino da 200 mm mediante un piattello adattatore
• Progettato per l'ispezione di wafer da 10 cm (4 in.), 15 cm (6 in.), 20 cm (8 in.) e 30 cm (12 in.).

Supporto per wafer rotante – Semplificazione dell'ispezione di wafer

Il supporto per wafer rotante rappresenta una semplice e economica alternativa per il fissaggio del campione dove la depressione non è richiesta.

• La rotazione dei wafer migliora l'osservazione del campione e velocizza l'ispezione
• Il design scalare con scanalature larghe 30 mm semplifica il posizionamento del campione
• Il supporto può accogliere wafer da 15 cm (6 in.) e 20 cm (8 in.)
• Inoltre è disponibile anche un supporto dedicato per wafer da 20 cm (8 in.) per i microscopi DSX

Fissaggi con fori filettati - Semplificazione dell'ispezione con fori personalizzati

I fissaggi personalizzati sono spesso richiesti per bloccare tubazioni, cubi o altri oggetti irregolari durante l'ispezione.

Dotato di 68 fori filettati M3 distribuiti uniformemente e aventi una misura di 150 mm × 110 mm × 5,5 mm, l'inserto può integrare numerosi tipi di elementi personalizzati per assicurare un versatile fissaggio dei campioni