Herramientas de observación y análisis

• Herramientas de análisis vanguardistas
• Diseño avanzado para cumplir con la normativa de sala blanca

Herramientas de análisis vanguardistas

Las versátiles capacidades de observación de la serie de microscopios MX63 permiten adquirir imágenes claras y nítidas para que los usuarios puedan detectar defectos en sus muestras de manera fiable. Las nuevas técnicas de iluminación y opciones de adquisición de imágenes que alberga el software de análisis de imágenes OLYMPUS Stream facilitan a los usuarios más opciones para evaluar sus muestras y documentar sus hallazgos.

Lo invisible se hace visible: Observación y adquisición MIX

La tecnología de observación MIX produce imágenes excepcionales mediante la combinación del campo oscuro con otro método de observación, como el campo claro, la fluorescencia o la polarización. La observación combinada (MIX) permite que los usuarios visualicen defectos difíciles de detectar con los microscopios convencionales. En el caso de la observación de campo claro, el iluminador circular LED actúa en modo direccional para habilitar la iluminación exclusiva de un cuadrante en determinado momento. Esto reduce los problemas de halo en las muestras y es útil para distinguir sus texturas superficiales.

Estructura en oblea (plaqueta) semiconductora

Residuo fotorresistente en una oblea (plaqueta) semiconductora

Condensador

Fácil creación de imágenes panorámicas: MIA instantánea

Gracias a la alineación de imágenes múltiples (MIA), los usuarios pueden unir imágenes con rapidez y facilidad al girar solamente las perillas KY en la platina manual; no es necesaria una platina motorizada. El software Stream de Olympus Software usa un reconocimiento de patrones para generar una imagen panorámica, lo que ofrece a los usuarios un campo de visión más amplio.

Imagen instantánea de una moneda tratada con la función MIA.

Creación de imágenes totalmente enfocadas: EFI

La función de imágenes de foco extendido (EFI) del software Stream de Olympus captura imágenes de muestras cuya altura se extiende más allá de la profundidad de enfoque del objetivo y las apila juntas para crear una que esté totalmente enfocada. La función EFI puede ejecutarse bien con el eje Z manual o motorizado; además, crea un mapa para una disfrutar de una visualización de estructura clara. También es posible construir una imagen EFI, estando fuera de línea, con la función Stream Desktop.

Golpe de perno en un chip IC

Captura tanto de áreas claras como oscuras: HDR

Al usar el procesamiento de imágenes avanzado, el alto rango dinámico (HDR, siglas en inglés) ajusta las diferencias en el brillo dentro de una imagen para reducir los destellos (o deslumbramiento). El HDR mejora la calidad visual de las imágenes digitales y por lo tanto ayuda a generar informes de aspecto profesional.

De la medición básica al análisis avanzado

La medición es esencial en la inspección y el control de calidad y procesos. Conscientes de ello, el paquete Entry del software OLYMPUS Stream alberga un menú completo dotado de funciones de medición interactivas y cuyos resultados se almacenan junto a los archivos de imagen para una documentación más completa o adicional. Cabe agregar también que la solución para la ciencia de materiales del software OLYMPUS Stream ofrece una interfaz intuitiva y orientada al flujo de trabajo para análisis de imágenes complejos. Con un clic de botón, las tareas analíticas de imágenes pueden ejecutarse de forma rápida y precisa. Es más, la reducción significativa en el tiempo de procesamiento para tareas repetidas, permite a los operadores concentrarse en la inspección en cuestión.

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Eficiente creación de informes

A menudo, la creación de un informe puede llevar más tiempo que capturar la imagen y adquirir las medidas. El software OLYMPUS Stream ofrece una herramienta intuitiva para la creación de informes a fin de generar informes sofisticados y detallados basados en plantillas predeterminadas. La edición es sencilla y los informes pueden exportarse a los softwares Microsoft Word o PowerPoint. La función de generación de informes del software OLYMPUS Stream permite el aumento digital y la magnificación en las imágenes adquiridas. Asimismo, el tamaño de los informes es razonable para su fácil distribución por correo electrónico.

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Opción de cámara independiente

Mediante el uso de una cámara microscópica DP22 o DP27, la serie MX63 se convierte en un sistema avanzado e independiente. Las cámaras pueden ser controladas a través de una caja de control compacta que ocupa muy poco espacio, lo que ayuda a los usuarios a maximizar el área libre de su laboratorio al mismo tiempo que se capturan imágenes claras y adquieren medidas básicas.

Caja de control de la cámara

> Haga clic aquí para obtener detalles sobre la cámara microscópica DP27

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Configuración avanzada para cumplir con la normativa de la sala blanca

Los microscopios de la serie MX63 están desarrollados para funcionar en salas blancas; tienen características y funciones que permiten minimizar el riesgo de contaminación o daño en las muestras. El sistema posee un diseño ergonómico que ayuda a mantener a los usuarios cómodos, incluso durante un uso prolongado. La serie de microscopios MX63 cumple con las especificaciones y los estándares internacionales, como SEMI S2/S8, CE y UL.

Integración opcional del cargador de obleas (plaquetas): Sistema AL120* 

Es posible conectar un cargador de obleas (plaquetas) opcional a la serie de microscopios MX63 para transferir de manera segura obleas (plaquetas) de semiconductores compuestos y de silicio desde un casete a la platina del microscopio sin usar pinzas o varillas. El rendimiento y la fiabilidad reconocidos permiten macro inspecciones frontales y posteriores seguras y eficientes, mientras que el cargador ayuda a mejorar la productividad en el laboratorio.

Microscopio MX63 en combinación con el cargador de obleas (plaquetas) AL120 (versión de 200 mm)

* AL120 no está disponible en EMEA.

Inspecciones rápidas y limpias

La serie de microscopios MX63 permite la inspección de obleas (plaquetas) sin contaminación. Todos los componentes motorizados se alojan en una estructura blindada y el procesamiento antiestático se aplica al estativo del microscopio, los tubos, la protección para la respiración y otras partes. La velocidad de rotación del portaobjetos es más rápida y segura que la de los portaobjetos manuales, lo que reduce el tiempo entre inspecciones y mantiene las manos del operador debajo de la oblea, lo que reduce cualquier contaminación potencial.

Configuración de sistema para observaciones eficientes

La platina XY es capaz de efectuar desplazamientos gruesos o finos gracias a la combinación de un embrague incorporado y perillas XY. La platina permite que las observaciones sean eficientes, incluso en muestras grandes, como las obleas (plaquetas) de 300 mm.
La amplia gama del tubo de observación inclinable permite a los operadores sentarse frente al microscopio manteniendo una postura cómoda.

Soporta todos los tamaños de obleas (plaquetas)

Controles microscópicos intuitivos: Uso cómodo y fácil

La configuración del microscopio es fácil de determinar, lo que facilita a los usuarios el ajuste y la reproducción de los parámetros del sistema.

Halle el enfoque con rapidez: Ayuda en el enfoque

La ayuda de enfoque integrada en una trayectoria óptica permite un enfoque fácil y preciso en muestras de bajo contraste, como obleas (plaquetas) básicas.

Imagen izquierda: Cuadrícula que indica desenfoque en la imagen. / Imágenes del centro: Cuadrícula que ayuda a enfocar. / Imagen derecha: Se puede obtener una imagen enfocada con facilidad.

Fácil recuperación de la configuración del microscopio: Hardware (instrumentación codificada)

Las funciones codificadas se integran a la configuración del hardware de la serie MX63 mediante el software de análisis de imágenes OLYMPUS Stream. El software registra automáticamente el método de observación, la intensidad de iluminación y la magnificación, y almacena todos estos parámetros con las imágenes asociadas. Debido a que los parámetros pueden reproducirse con facilidad, cualquier nivel de operador puede efectuar las mismas inspecciones de calidad con una formación mínima previa.

Controles ergonómicos para una operación más rápida y cómoda

Los controles para alternar el objetivo y ajustar el tope de apertura están ubicados en la parte baja y en la parte frontal del microscopio para que los usuarios no tengan que soltar los tornillos (o perillas) de enfoque o alejar el cabezal de los oculares durante el uso.

Observaciones más rápidas a través del administrador de intensidad de luz y el control automático de apertura

En los microscopios convencionales, los usuarios deben ajustar la intensidad de la luz y la apertura en función del tipo de observación. La serie de microscopios MX63 permite a los usuarios configurar la intensidad de la luz y las condiciones de apertura con respecto a las diferentes magnificaciones y los métodos de observación. Estos ajustes pueden recuperarse con facilidad, lo que ayuda a los usuarios a ahorrar tiempo y mantener una óptima calidad de imagen.

Control de intensidad de luz

Control automático de apertura

Excelente óptica e imágenes digitales para inspecciones de calidad

Los episodios históricos de Olympus en el desarrollo de tecnologías ópticas de alta calidad y la capacidad avanzada para procesamientos de imágenes digitales ha creado el reconocimiento mundial de sus dispositivos ópticos y microscopios comprobados, lo cuales ofrecen una excelente precisión de medición.

Rendimiento óptico superior: Control de aberración en frentes de onda

El rendimiento óptico de las lentes de objetivo afecta directamente la calidad de imágenes de observación y los resultados de los análisis. Los objetivos de alta magnificación UIS2 de Olympus están desarrollados para minimizar las aberraciones del frente de onda, lo que brinda un rendimiento óptico fiable.

> Haga clic aquí para obtener detalles acerca de las lentes de objetivo UIS2 

Temperatura de color uniforme: Iluminación con LED blanco de alta intensidad 02

La serie de microscopios MX63 utiliza una fuente de luz LED blanca de alta intensidad dedicada a la iluminación reflejada y transmitida. El LED mantiene una temperatura de color constante de forma independiente a la intensidad a fin de proporcionar una calidad de imagen y reproducción del color fiables. El sistema LED proporciona una iluminación eficiente y prolongada que es idónea para aplicaciones en el campo de la ciencia de los materiales. 

El color varía con la intensidad de luz.

El color es consecuente con la intensidad de luz y más claro que con la luz halógena.
* Todas las imágenes capturadas con la exposición automática

Medidas precisas: Calibración automática

De la misma forma que con los microscopios digitales, la calibración automática está disponible al usar el software OLYMPUS Stream. La calibración automática ayuda a eliminar la variabilidad en el proceso de calibración, lo que se traduce en mediciones más fiables. Este tipo de calibración usa un algoritmo que calcula automáticamente la calibración correcta de un promedio de múltiples puntos de medición. De esta forma, se minimiza la variación introducida por diferentes operadores y se mantiene una precisión uniforme para mejorar la fiabilidad de la verificación regular.

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Imagen totalmente clara: Corrección del sombreado en la imagen

El software OLYMPUS Stream presenta una corrección de tono que permite adaptar este último alrededor de los ángulos (esquinas) de una imagen. A usarlo con ajustes de umbral de intensidad, la corrección de sombreado proporciona un análisis más preciso.

Oblea (plaqueta) semiconductora (imagen binarizada)

Oblea (plaqueta) semiconductora (imagen binarizada): La corrección de sombreado produce una iluminación uniforme a lo largo del campo de visión.

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Fully Customizable

The MX63 series is designed to enable the customer to choose a variety of optical components to suit individual inspections and application needs. The system can utilize all observation methods. Users can also select from a variety of OLYMPUS Stream image analysis packages to suit individual image acquisition and analysis needs.

Two Systems Accommodate Diverse Sample Sizes 

The MX63 system can accommodate wafers up to 200 mm while the MX63L system can handle wafers up to 300 mm with the same small footprint as the MX63 system. The modular design makes it easy to customize the microscope for your specific requirements

IR compatibility

Infrared observation can be conducted with the IR objective lenses, which enable the operators to nondestructively inspect the inside of IC chips packed and mounted on a PCB, utilizing the characteristics of silicon that transmit infrared light. 5X to 100X IR objectives are available with chromatic aberration correction from visible light wavelengths through the near infrared. Especially with an objective lens of 20X or more, the aberration caused by the silicon layer covering the observation object can be corrected by the correction collar to obtain a clear image.

La serie de microscopios MX63 está destinada a una variedad de aplicaciones de microscopía de luz reflejada. Las siguientes aplicaciones son un ejemplo de las formas de uso que puede llevar el sistema en las inspecciones industriales.

Imagen de luz infrarroja en una sección de electrodo

La luz infrarroja es usada para observar defectos internos en los chips de circuitos integrados y otros dispositivos fabricados con silicio sobre vidrio.

Películas
Izquierda: Campo claro. Derecha: Luz polarizada.

La luz polarizada es usada para desvelar la textura de un material y el estado de los cristales. Es adecuada en la inspección de estructuras de obleas (plaquetas) y paneles LCD.

Disco duro
Izquierda: Campo claro. Derecha: DIC

El contraste de interferencia diferencial (DIC) se usa para ver muestras con diferencias sutiles de altura. El método es idóneo para inspeccionar muestras con diferencias minúsculas de altura, como cabezales magnéticos, discos duros, obleas (plaquetas) pulidas.

Patrón de circuito integrado en una oblea (plaqueta) de semiconductor
Izquierda: Campo oscuro. Derecha: MIX (campo oscuro + campo claro)

El campo oscuro se usa para detectar rasguños o defectos minúsculos en una muestra o para inspeccionar muestras dotadas de superficies con efecto espejo, como las obleas (también denominadas plaquetas). La iluminación MIX permite a los usuarios visualizar tanto los patrones como los colores.

Residuo fotorresistente en una oblea (plaqueta) semiconductora
Izquierda: Fluorescencia. Derecha: MIX (campo oscuro + fluorescencia)

La fluorescencia es usada en el caso de muestras que emiten luz cuando son iluminadas con un cubo de filtros especialmente desarrollado. Esta técnica permite detectar la contaminación y los residuos fotorresistentes. La iluminación combinada (MIX) permite la observación tanto de residuos fotorresistentes como de patrones de circuito integrado. 

Filtro de color LCD
Izquierda: Luz transmitida. Derecha: MIX (luz transmitida + campo claro)

Esta técnica de observación es apropiada para muestras transparentes, tales como los LCD o materiales de plástico y vidrio.  La iluminación combinada (MIX) permite la observación tanto del color de filtro como el patrón de circuito.