The MX63 and MX63L microscope systems are optimized for high-quality inspections of wafers as large as 300 mm, flat panel displays, circuit boards, and other large samples. Their modular design enables you to choose the components you need to tailor the system to your application.
These ergonomic and user-friendly microscopes help increase throughput while keeping inspectors comfortable while they do their work. Combined with OLYMPUS Stream image analysis software, your entire workflow, from observation to report creation, can be simplified.
Designed to meet the ergonomic and safety requirements of the electronics industry with added functionality to enhance analysis capabilities.
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Simplified microscope settings makes it easier for users to make adjustments and reproduce system settings.
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Our proven optics and exceptional imaging technology deliver clear images and reliable inspections.
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Users can customize their system with the components that suit their application.
Our advanced image management capability shows what you really want to observe.
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Las versátiles capacidades de observación de la serie de microscopios MX63 permiten adquirir imágenes claras y nítidas para que los usuarios puedan detectar defectos en sus muestras de manera fiable. Las nuevas técnicas de iluminación y opciones de adquisición de imágenes que alberga el software de análisis de imágenes OLYMPUS Stream facilitan a los usuarios más opciones para evaluar sus muestras y documentar sus hallazgos.
La tecnología de observación MIX produce imágenes excepcionales mediante la combinación del campo oscuro con otro método de observación, como el campo claro, la fluorescencia o la polarización. La observación combinada (MIX) permite que los usuarios visualicen defectos difíciles de detectar con los microscopios convencionales. En el caso de la observación de campo claro, el iluminador circular LED actúa en modo direccional para habilitar la iluminación exclusiva de un cuadrante en determinado momento. Esto reduce los problemas de halo en las muestras y es útil para distinguir sus texturas superficiales.
Estructura en oblea (plaqueta) semiconductora
El patrón de CI no está claro. | El color de la oblea es invisible. | Tanto el color de la oblea como el patrón IC están claramente representados. |
Residuo fotorresistente en una oblea (plaqueta) semiconductora
La muestra en sí es invisible. | El residuo no es claro. | Tanto el patrón de CI como el residuo están claramente representados. |
Condensador
La superficie se refleja. | Varias imágenes con campo oscuro direccional desde diferentes ángulos. | Al unir imágenes claras sin halo mediante la aplicación mosaico, se crea una única imagen nítida de la muestra. |
Gracias a la alineación de imágenes múltiples (MIA), los usuarios pueden unir imágenes con rapidez y facilidad al girar solamente las perillas KY en la platina manual; no es necesaria una platina motorizada. El software Stream de Olympus Software usa un reconocimiento de patrones para generar una imagen panorámica, lo que ofrece a los usuarios un campo de visión más amplio.
Imagen instantánea de una moneda tratada con la función MIA.
La función de imágenes de foco extendido (EFI) del software Stream de Olympus captura imágenes de muestras cuya altura se extiende más allá de la profundidad de enfoque del objetivo y las apila juntas para crear una que esté totalmente enfocada. La función EFI puede ejecutarse bien con el eje Z manual o motorizado; además, crea un mapa para una disfrutar de una visualización de estructura clara. También es posible construir una imagen EFI, estando fuera de línea, con la función Stream Desktop.
Golpe de perno en un chip IC
Al usar el procesamiento de imágenes avanzado, el alto rango dinámico (HDR, siglas en inglés) ajusta las diferencias en el brillo dentro de una imagen para reducir los destellos (o deslumbramiento). El HDR mejora la calidad visual de las imágenes digitales y por lo tanto ayuda a generar informes de aspecto profesional.
Algunas áreas son deslumbrantes. | Tanto las áreas oscuras como las brillantes están claramente expuestas mediante el HDR. | La matriz del transistor de película fina (TFT) se oscurece debido al brillo del filtro de color. | La matriz del TFT es expuesta mediante el HDR. |
La medición es esencial en la inspección y el control de calidad y procesos. Conscientes de ello, el paquete Entry del software OLYMPUS Stream alberga un menú completo dotado de funciones de medición interactivas y cuyos resultados se almacenan junto a los archivos de imagen para una documentación más completa o adicional. Cabe agregar también que la solución para la ciencia de materiales del software OLYMPUS Stream ofrece una interfaz intuitiva y orientada al flujo de trabajo para análisis de imágenes complejos. Con un clic de botón, las tareas analíticas de imágenes pueden ejecutarse de forma rápida y precisa. Es más, la reducción significativa en el tiempo de procesamiento para tareas repetidas, permite a los operadores concentrarse en la inspección en cuestión.
Medida básica (patrón en una placa de circuito impreso) | Solución de poder de penetración (corte transversal de un agujero pasante de una tarjeta de circuito impreso de PCB) | Solución de medición automática (estructura de oblea [plaqueta]) |
> Haga clic aquí para obtener más información sobre el software OLYMPUS Stream
A menudo, la creación de un informe puede llevar más tiempo que capturar la imagen y adquirir las medidas. El software OLYMPUS Stream ofrece una herramienta intuitiva para la creación de informes a fin de generar informes sofisticados y detallados basados en plantillas predeterminadas. La edición es sencilla y los informes pueden exportarse a los softwares Microsoft Word o PowerPoint. La función de generación de informes del software OLYMPUS Stream permite el aumento digital y la magnificación en las imágenes adquiridas. Asimismo, el tamaño de los informes es razonable para su fácil distribución por correo electrónico.
> Haga clic aquí para obtener más información sobre el software OLYMPUS Stream
Mediante el uso de una cámara microscópica DP22 o DP27, la serie MX63 se convierte en un sistema avanzado e independiente. Las cámaras pueden ser controladas a través de una caja de control compacta que ocupa muy poco espacio, lo que ayuda a los usuarios a maximizar el área libre de su laboratorio al mismo tiempo que se capturan imágenes claras y adquieren medidas básicas.
Caja de control de la cámara
> Haga clic aquí para obtener detalles sobre la cámara microscópica DP27
> Haga clic aquí para obtener detalles sobre la cámara microscópica DP22
Los microscopios de la serie MX63 están desarrollados para funcionar en salas blancas; tienen características y funciones que permiten minimizar el riesgo de contaminación o daño en las muestras. El sistema posee un diseño ergonómico que ayuda a mantener a los usuarios cómodos, incluso durante un uso prolongado. La serie de microscopios MX63 cumple con las especificaciones y los estándares internacionales, como SEMI S2/S8, CE y UL.
Es posible conectar un cargador de obleas (plaquetas) opcional a la serie de microscopios MX63 para transferir de manera segura obleas (plaquetas) de semiconductores compuestos y de silicio desde un casete a la platina del microscopio sin usar pinzas o varillas. El rendimiento y la fiabilidad reconocidos permiten macro inspecciones frontales y posteriores seguras y eficientes, mientras que el cargador ayuda a mejorar la productividad en el laboratorio.
Microscopio MX63 en combinación con el cargador de obleas (plaquetas) AL120 (versión de 200 mm)
* AL120 no está disponible en EMEA.
La serie de microscopios MX63 permite la inspección de obleas (plaquetas) sin contaminación. Todos los componentes motorizados se alojan en una estructura blindada y el procesamiento antiestático se aplica al estativo del microscopio, los tubos, la protección para la respiración y otras partes. La velocidad de rotación del portaobjetos es más rápida y segura que la de los portaobjetos manuales, lo que reduce el tiempo entre inspecciones y mantiene las manos del operador debajo de la oblea, lo que reduce cualquier contaminación potencial.
Protección antiestática para la respiración | Portaobjetivos motorizado |
La platina XY es capaz de efectuar desplazamientos gruesos o finos gracias a la combinación de un embrague incorporado y perillas XY. La platina permite que las observaciones sean eficientes, incluso en muestras grandes, como las obleas (plaquetas) de 300 mm.
La amplia gama del tubo de observación inclinable permite a los operadores sentarse frente al microscopio manteniendo una postura cómoda.
Empuñadura de platina con embrague incorporado | Tubo de observación inclinable que proporciona una postura cómoda |
Porta obleas (plaquetas) y placas de vidrio | El sistema funciona con varios tipos de soportes para obleas (plaquetas) y placas de vidrio de 150 a 200 mm/ de 200 a 300 mm. Si el tamaño de las obleas (plaquetas) cambia en la línea de producción, el estativo del microscopio puede modificarse a un costo mínimo. Gracias a la serie de microscopios MX63, es posible usar diferentes platinas para acomodar obleas (plaquetas) de 75 mm, 100 mm, 125 mm y 150 mm en la línea de inspección. |
La configuración del microscopio es fácil de determinar, lo que facilita a los usuarios el ajuste y la reproducción de los parámetros del sistema.
La ayuda de enfoque integrada en una trayectoria óptica permite un enfoque fácil y preciso en muestras de bajo contraste, como obleas (plaquetas) básicas.
Imagen izquierda: Cuadrícula que indica desenfoque en la imagen. / Imágenes del centro: Cuadrícula que ayuda a enfocar. / Imagen derecha: Se puede obtener una imagen enfocada con facilidad.
Las funciones codificadas se integran a la configuración del hardware de la serie MX63 mediante el software de análisis de imágenes OLYMPUS Stream. El software registra automáticamente el método de observación, la intensidad de iluminación y la magnificación, y almacena todos estos parámetros con las imágenes asociadas. Debido a que los parámetros pueden reproducirse con facilidad, cualquier nivel de operador puede efectuar las mismas inspecciones de calidad con una formación mínima previa.
Los operadores usan diferentes parámetros. | Recupere la configuración del dispositivo con el software OLYMPUS Stream. | Todos los operadores pueden usar y aplicar la misma configuración. |
Los controles para alternar el objetivo y ajustar el tope de apertura están ubicados en la parte baja y en la parte frontal del microscopio para que los usuarios no tengan que soltar los tornillos (o perillas) de enfoque o alejar el cabezal de los oculares durante el uso.
Operación de microscopio centralizada | Interruptor manual | Botón de captura instantánea |
En los microscopios convencionales, los usuarios deben ajustar la intensidad de la luz y la apertura en función del tipo de observación. La serie de microscopios MX63 permite a los usuarios configurar la intensidad de la luz y las condiciones de apertura con respecto a las diferentes magnificaciones y los métodos de observación. Estos ajustes pueden recuperarse con facilidad, lo que ayuda a los usuarios a ahorrar tiempo y mantener una óptima calidad de imagen.
Control de intensidad de luz
Intensidad de luz convencional | La imagen se vuelve demasiado brillante u oscura al cambiar la magnificación o el método de observación. |
Control de intensidad de luz | La intensidad de la luz se define de forma automática para generar una imagen óptima cuando se modifica la magnificación o el método de observación. |
Control automático de apertura
Apertura máxima: Mayor resolución | Apertura mínima: Mayor contraste y mayor profundidad de campo |
Los episodios históricos de Olympus en el desarrollo de tecnologías ópticas de alta calidad y la capacidad avanzada para procesamientos de imágenes digitales ha creado el reconocimiento mundial de sus dispositivos ópticos y microscopios comprobados, lo cuales ofrecen una excelente precisión de medición.
El rendimiento óptico de las lentes de objetivo afecta directamente la calidad de imágenes de observación y los resultados de los análisis. Los objetivos de alta magnificación UIS2 de Olympus están desarrollados para minimizar las aberraciones del frente de onda, lo que brinda un rendimiento óptico fiable.
Frente de onda deficiente | Frente de onda correcto (objetivo de serie UIS2) |
> Haga clic aquí para obtener detalles acerca de las lentes de objetivo UIS2
La serie de microscopios MX63 utiliza una fuente de luz LED blanca de alta intensidad dedicada a la iluminación reflejada y transmitida. El LED mantiene una temperatura de color constante de forma independiente a la intensidad a fin de proporcionar una calidad de imagen y reproducción del color fiables. El sistema LED proporciona una iluminación eficiente y prolongada que es idónea para aplicaciones en el campo de la ciencia de los materiales.
El color varía con la intensidad de luz.
El color es consecuente con la intensidad de luz y más claro que con la luz halógena.
* Todas las imágenes capturadas con la exposición automática
De la misma forma que con los microscopios digitales, la calibración automática está disponible al usar el software OLYMPUS Stream. La calibración automática ayuda a eliminar la variabilidad en el proceso de calibración, lo que se traduce en mediciones más fiables. Este tipo de calibración usa un algoritmo que calcula automáticamente la calibración correcta de un promedio de múltiples puntos de medición. De esta forma, se minimiza la variación introducida por diferentes operadores y se mantiene una precisión uniforme para mejorar la fiabilidad de la verificación regular.
> Haga clic aquí para obtener más información sobre el software OLYMPUS Stream
El software OLYMPUS Stream presenta una corrección de tono que permite adaptar este último alrededor de los ángulos (esquinas) de una imagen. A usarlo con ajustes de umbral de intensidad, la corrección de sombreado proporciona un análisis más preciso.
Oblea (plaqueta) semiconductora (imagen binarizada)
Oblea (plaqueta) semiconductora (imagen binarizada): La corrección de sombreado produce una iluminación uniforme a lo largo del campo de visión.
> Haga clic aquí para obtener más información sobre el software OLYMPUS Stream
The MX63 series is designed to enable the customer to choose a variety of optical components to suit individual inspections and application needs. The system can utilize all observation methods. Users can also select from a variety of OLYMPUS Stream image analysis packages to suit individual image acquisition and analysis needs.
The MX63 system can accommodate wafers up to 200 mm while the MX63L system can handle wafers up to 300 mm with the same small footprint as the MX63 system. The modular design makes it easy to customize the microscope for your specific requirements
MX63 | MX63L |
Infrared observation can be conducted with the IR objective lenses, which enable the operators to nondestructively inspect the inside of IC chips packed and mounted on a PCB, utilizing the characteristics of silicon that transmit infrared light. 5X to 100X IR objectives are available with chromatic aberration correction from visible light wavelengths through the near infrared. Especially with an objective lens of 20X or more, the aberration caused by the silicon layer covering the observation object can be corrected by the correction collar to obtain a clear image.
IR objective lenses | Without aberration correction | With aberration correction |
La serie de microscopios MX63 está destinada a una variedad de aplicaciones de microscopía de luz reflejada. Las siguientes aplicaciones son un ejemplo de las formas de uso que puede llevar el sistema en las inspecciones industriales.
Imagen de luz infrarroja en una sección de electrodo
La luz infrarroja es usada para observar defectos internos en los chips de circuitos integrados y otros dispositivos fabricados con silicio sobre vidrio.
Películas
Izquierda: Campo claro. Derecha: Luz polarizada.
La luz polarizada es usada para desvelar la textura de un material y el estado de los cristales. Es adecuada en la inspección de estructuras de obleas (plaquetas) y paneles LCD.
Disco duro
Izquierda: Campo claro. Derecha: DIC
El contraste de interferencia diferencial (DIC) se usa para ver muestras con diferencias sutiles de altura. El método es idóneo para inspeccionar muestras con diferencias minúsculas de altura, como cabezales magnéticos, discos duros, obleas (plaquetas) pulidas.
Patrón de circuito integrado en una oblea (plaqueta) de semiconductor
Izquierda: Campo oscuro. Derecha: MIX (campo oscuro + campo claro)
El campo oscuro se usa para detectar rasguños o defectos minúsculos en una muestra o para inspeccionar muestras dotadas de superficies con efecto espejo, como las obleas (también denominadas plaquetas). La iluminación MIX permite a los usuarios visualizar tanto los patrones como los colores.
Residuo fotorresistente en una oblea (plaqueta) semiconductora
Izquierda: Fluorescencia. Derecha: MIX (campo oscuro + fluorescencia)
La fluorescencia es usada en el caso de muestras que emiten luz cuando son iluminadas con un cubo de filtros especialmente desarrollado. Esta técnica permite detectar la contaminación y los residuos fotorresistentes. La iluminación combinada (MIX) permite la observación tanto de residuos fotorresistentes como de patrones de circuito integrado.
Filtro de color LCD
Izquierda: Luz transmitida. Derecha: MIX (luz transmitida + campo claro)
Esta técnica de observación es apropiada para muestras transparentes, tales como los LCD o materiales de plástico y vidrio. La iluminación combinada (MIX) permite la observación tanto del color de filtro como el patrón de circuito.
MX63 | MX63L | ||
Sistema óptico | Sistema óptico UIS2 (con corrección infinita) | ||
Estativo del microscopio | Iluminación de luz reflejada |
LED blanco (con Control de intensidad de luz [Light Intensity Manager]), lámpara halógena de 100 W a 12 V y lámpara de mercurio de 100 W
Alternación manual de cubo de espejos entre campo claro y campo oscuro. El cubo de espejo es opcional. Unidades de espejo codificadas para tres posiciones y alternadas mediante operación manual Diafragma de apertura motorizado e integrado (preconfiguración para cada objetivo, apertura completa de forma automática para campo oscuro) Modo de observación: Campo claro, campo oscuro, contraste de interferencia diferencial (DIC)* 1, polarización simple * 1, fluorescencia* 1, infrarrojos* 1 y observación MIX [combinada] (campo oscuro en cuatro direcciones)* 2 *1 Cubo de espejos opcional; {*2 Se requiere configuración de observación MIX (combinación) | |
Iluminación de luz transmitida |
Unidad de iluminación de luz transmitida: Se requiere MX-TILLA o MX-TILLB.
Unidad MX-TILLA: Condensador (A. N. de 0.5) y tope de apertura Unidad MX-TILLB: Condensador (A. N. de 0.6), tope de apertura y tope de campo Fuente de luz: LG-LSLED (fuente de luz LED);{Guía de luz: LG-SF Modo de observación: Campo claro; polarización simple | ||
Enfoque |
Recorrido: 32 mm
Recorrido fino por rotación: 100 μm Graduación mínima: 1 μm Con tope de límite superior, ajuste de torsión para la empuñadura de enfoque grueso | ||
Máximo peso de carga (incluida la platina y el soporte) | 8 kg | 15 kg | |
Tubo de observación | Campo amplio (FN [número de campo] 22 mm) |
Vertical y trinocular: U-ETR4
Vertical, inclinable (basculante) y trinocular: U-TTR-2 Invertido y trinocular: U-TR30-2, U-TR30IR (para observación IR) Invertido y binocular: U-BI30-2 Invertido, inclinable (basculante) y binocular: U-TBI30 | |
Campo súper amplio (FN [número de campo] 26.5 mm) |
Erguido, inclinado (basculante) y trinocular: MX-SWETTR (cambio de trayectoria óptica 100% (ocular): 0 (cámara) o 0: 100%)
Erguido, inclinado (basculante) y trinocular: U-SWETTR (alternación de trayectoria óptica al 100 % [ocular]: 0 [cámara] o 20 %: 80 %) Invertido y trinocular: U-SWTR-3 | ||
Portaobjetivos motorizado | Campo claro Campo claro y campo oscuro | ||
Platina (X × Y) | Empuñadura derecha coaxial con accionamiento de embrague integrado: MX-SIC8R Empuñadura derecha coaxial con accionamiento de embrague integrado: MX-SIC6R2 |
Empuñadura derecha coaxial con accionamiento de embrague integrado: MX-SIC1412R2
Recorrido: 356 x 305 mm Área de iluminación de luz transmitida: 356 x 284 mm | |
Peso | Aproximadamente 35,6 kg (estativo del microscopio de 26 kg) | Aproximadamente 44 kg (estativo del microscopio de 28,5 kg) |
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