Überblick
Kompakte Mikroskop-Einheiten von hoher QualitätDie BXC-Serie bietet hochwertige Mikroskopkomponenten, die Variationen unterdrücken und eine stabile Bildqualität gewährleisten. Diese kompakten Mikroskop-Einheiten können mit einer Vielzahl von Optionen schnell und einfach in jedes System integriert werden. Bitte laden Sie die für die Geräteintegration erforderlichen Informationen von unserem BXC Series Resource Center herunter. |
Leistungsstarke Objektive
Verbesserte Bildplanität Die Bildplanität der MPLFLN 2,5X-, 5X- und 5X- Hellfeld-/Dunkelfeld-Objektive wurde verbessert, sodass Bilder bei niedrigen Vergrößerungen schneller zusammengesetzt werden können. Für einen höheren Durchsatz bei der Dunkelfeldmikroskopie wurde ein 2,5X-Hellfeld-/Dunkelfeld-Objektiv eingeführt: das MPLFLN2.5XBD.
Wellenfront-Aberrationsteuerung Für die Objektive der MXPLFLN-Serie werden High-End-Fertigungsverfahren eingesetzt, wie z. B. die Wellenfront-aberrationsgesteuerte Auswahl der Objektiveinheiten. Durch dieses Verfahren werden Variationen der Geräteleistung auf ein Minimum reduziert.
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Welche Konfiguration benötigen Sie?Als Teil unserer BX™ Mikroskopserie bietet die BXC-Serie eine breite Palette von Optionen für jedes Teil, einschließlich Objektiv, Objektivrevolver und Beleuchtungen. Die Serie ist so konzipiert, dass die Komponenten je nach Anwendungsfall frei kombiniert werden können. Dank ihrer Vielseitigkeit und Modularität sind sie eine gute Wahl für Prüf- oder Bildgebungsanwendungen, wie z. B. für Geräte zur Waferausrichtung, Bump-Höhenmessung und das Zusammenfügen von Bildern. Konfigurationsbeispiele der BXC-Serie
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Erweiterte Optionen für die Produktentwicklung und AutomatisierungVielseitiges gerichtetes Dunkelfeld Dunkelfeld wird verwendet, um gestreutes oder gebeugtes Licht von einer Probe (durch Kratzer oder Fehler) auf einer reflektierenden Oberfläche oder einem Halbleiter-Wafer zu beobachten. Der MIX-Schieberegler ermöglicht Dunkelfeldbetrachtungen ohne große Spezialoptiken und erweitert das herkömmliche Dunkelfeld durch 16 einzeln steuerbare LEDs, mit denen die Richtung des Lichts, das auf die Probe fällt, gesteuert werden kann. Zudem kann diese gerichtete Dunkelfeldtechnik, die durch Verwendung des MIX-Schiebereglers erreicht wird, zur Betrachtung mit Hellfeld, einfach polarisiertem Licht oder Fluoreszenz kombiniert werden.
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Spezifikationen
Spezifikationen der BXC-Serie
BXC-CBRML-System | BXC-CBB-System | |||
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Einstiegsmodell Mehr Platz durch ein HF-Objektiv | Vielseitiges Modell Einfache und kompakte Einheiten | Erweitertes Modell Vollständig motorgesteuerte Baugruppen für Reinräume | ||
Beispielkonfigurationen | BXFM-F, BXFM-ILHS, U-SWATLU, U-KMAS, BX3M-LEDR, CMP-LLHECBL, BXC-CBRML, STM7-MMOBAD BD-M-AD, SLMPLN20X | BXFM-F, BXFM-ILHS, U-SWATLU, U-KMAS, BX3M-LEDR, CMP-LLHECBL, U-D5BDREMC, BXC-REMECBL, U-MIXR-2, U-MIXRECBL, BXC-CBRML, MPLFLN5XBD2, LMPLFLN20XBD, LMPLFLN50XBD | BXC-FSU, BXC-RLI, U-SWATLU, BX3M-LEDR, U-D5BDREMC-VA, BXC-CBB, BXC-CBE1, BXC-LCBL1M, BXC-LCBL3M, MPLFLN2.5XBD, MPLFLN5XBD2, MPLFLN10XBD-2, MXPLFLN20XBD, MXPLFLN50XBD | |
Objektiv | 20X (NA: 0,25, AA: 25 mm) |
5X NA: 0,15, AA: 12 mm
20X NA: 0,4, AA: 12 mm 50X NA: 0,5, AA: 10,6 mm |
2,5X NA: 0,08, AA: 8,7 mm
5X NA: 0,15, AA: 12 mm 10X NA: 0,3, AA: 6,5 mm 20X NA: 0,55, AA: 3 mm 50X NA: 0,8, AA: 3 mm | |
Minimale Auflösung bei λ=550 nm | 1,34 µm (20X-Objektiv) | 0,67 µm (50X-Objektiv) | 0,42 µm (50X-Objektiv) | |
Maximale Schärfentiefe bei λ=550 nm | ± 4,4 µm (20X-Objektiv) | ±12,2 µm (5X-Objektiv) | ± 43 µm (2,5X-Objektiv) | |
Gewicht—ohne BXFM-F, Stativ, Controller | 3,4 kg | 4 kg | 8,3 kg | |
Mikroskopieverfahren | HF | HF, DF, MIX | HF, DF | |
Z-Hub | 30 mm (manuell) | 30 mm (manuell) | Vom Integrator bereitgestellte Hardware | |
Autofokus-Unterstützung | — | — | Verfügbar | |
Filter-Leerschieber-Schlitze | 3 | 3 | 1 | |
Objektivrevolver | Motorgesteuert | — | Verfügbar | Verfügbar |
Vakuum | — | — | Verfügbar | |
Max. Anzahl Objektive | 1 | 5 | 5 | |
Optische Sehfeldzahl (mm) | 26,5 | 26,5 | 26,5 | |
Aperturblende | — | — | Verfügbar | |
Abmessungen (B × T × H) – ohne BXFM-F, Stativ, Controller |
108 mm × 249 mm × 215 mm
(4,3 Zoll × 9,8 Zoll × 8,5 Zoll) |
108 mm × 249 mm × 230 mm
(4,3 Zoll × 9,8 Zoll × 9 Zoll) |
132 mm × 404 mm × 277 mm
(5,2 Zoll × 15,9 Zoll × 10,9 Zoll) |
* Dies sind Beispielkonfigurationen. Kontaktieren Sie Ihren zuständigen Vertreter, um die Komponenten entsprechend zu Ihren Anforderungen auszuwählen. |