Vue d’ensemble
Composants de microscope compacts de haute qualitéLa série BXC propose des composants de microscope de haute qualité qui suppriment les variations et garantissent une qualité d’imagerie constante. Ces microscopes compacts peuvent être intégrés rapidement et facilement à votre système de plusieurs façons. Vous pouvez télécharger les informations relatives à l’intégration de ces équipements à partir de notre centre de ressources sur la gamme BXC. |
Objectifs haute performance
Amélioration de la planéité de l’image Nous avons amélioré la planéité d’image des objectifs MPLFLN 2,5X, 5X et 5X en fond clair/fond noir, ce qui accélère l’obtention d’images assemblées à de faibles grossissements. Pour améliorer la cadence d’observation en fond noir, nous avons ajouté à la série un objectif 2,5X pour observations en fond clair/fond noir, soit l’objectif MPLFLN2.5XBD.
Contrôle de l’aberration du front d’onde Des processus haut de gamme sont utilisés lors de la fabrication des objectifs de la série MXPLFLN, comme la sélection de systèmes de lentilles dont l’aberration du front d’onde est contrôlée. Ce processus réduit au minimum la variation des performances de ces objectifs.
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Quelle configuration allez-vous créer ?La gamme BXC de notre série de microscopes BX™ offre de nombreuses variantes pour chaque composant, y compris l’objectif, les tourelles porte-objectifs rotatives et les illuminateurs. Cette gamme a été conçue pour s’adapter à vos différents besoins d’utilisation. La polyvalence et la modularité de ces composants leur permettent de s’adapter à des opérations d’inspection ou d’imagerie, comme la vérification de l’alignement de wafers, la mesure de bosses et l’assemblage d’images. Exemples de configuration de la série BXC
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Options avancées pour la conception et l’automatisation des systèmesFond noir directionnel polyvalent Le fond noir est utilisé pour observer la lumière qui est diffusée ou diffractée à partir d’un échantillon, comme lorsqu’il y a des rayures ou des défauts sur une surface miroir ou un wafer de semi-conducteur. Le module coulissant MIX permet d’améliorer les observations en fond noir, et ce, sans grands composants optiques spécialisés, grâce à 16 LED individuellement réglables qui vous permettent de contrôler la direction de la lumière éclairant l’échantillon. En outre, ce mode d’observation en fond noir directionnel obtenu au moyen d’un module coulissant MIX peut être combiné à une observation en fond clair, en lumière polarisée simple ou en fluorescence.
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Caractéristiques techniques
Caractéristiques techniques de la série BXC
Système BXC-CBRML | Système BXC-CBB | |||
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Entrée de gamme Économie d’espace avec un seul objectif d’observation en fond clair | Polyvalent Systèmes de base compacts | Avancé Assemblages entièrement motorisés pour salles blanches | ||
Exemples de configuration |
BXFM-F, BXFM-ILHS,
U-SWATLU, U-KMAS, BX3M-LEDR, CMP-LLHECBL, BXC-CBRML, STM7-MMOBAD BD-M-AD, SLMPLN20X |
BXFM-F, BXFM-ILHS,
U-SWATLU, U-KMAS, BX3M-LEDR, CMP-LLHECBL, U-D5BDREMC, BXC-REMECBL, U-MIXR-2, U-MIXRECBL, BXC-CBRML, MPLFLN5XBD2, LMPLFLN20XBD, LMPLFLN50XBD |
BXC-FSU, BXC-RLI, U-SWATLU, BX3M-LEDR,
U-D5BDREMC-VA, BXC-CBB, BXC-CBE1, BXC-LCBL1M, BXC-LCBL3M, MPLFLN2.5XBD, MPLFLN5XBD2, MPLFLN10XBD-2, MXPLFLN20XBD, MXPLFLN50XBD | |
Objectif |
20X
(ON : 0,25, DF : 25 mm) |
5X
(ON : 0,15, DF : 12 mm) 20X (ON : 0,4, DF : 12 mm) 50X (ON : 0,5, DF : 10,6 mm) |
2.5X
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Résolution minimale à λ = 550 nm | 1,34 µm (objectif 20X) | 0,67 µm (objectif 50X) | 0,42 µm (objectif 50X) | |
Profondeur de champ maximale à λ = 550 nm | ± 4,4 µm (objectif 20X) | ± 12,2 µm (objectif 5X) | ± 43 µm (objectif 2,5X) | |
Poids – sans module BXFM-F, support, ni contrôleur | 3,4 kg (7,5 lb) | 4 kg (8,8 lb) | 8,3 kg (18,3 lb) | |
Modes d’observation | BF (fond clair) |
BF (fond clair),
DF (fond noir), MIX | BF (fond clair), DF (fond noir) | |
Course sur l’axe Z | 30 mm (manuelle) | 30 mm (manuelle) | Matériel fourni par l’intégrateur | |
Prise en charge de la mise au point automatique | — | — | Disponible | |
Fentes de glissière à filtres | 3 | 3 | 1 | |
Tourelle porte-objectifs | Motorisée | — | Disponible | Disponible |
Option sous vide | — | — | Disponible | |
Nombre max. d’objectifs | 1 | 5 | 5 | |
Indice de champ optique (mm) | 26,5 | 26,5 | 26,5 | |
Diaphragme d’ouverture | — | — | Disponible | |
Dimensions – sans module BXFM-F, support, ni contrôleur (L × P × H) |
108 × 249 × 215 mm
(4,3 × 9,8 po × 8,5 po) |
108 × 249 × 230 mm
(4,3 × 9,8 po × 9 po) |
132 × 404 × 277 mm
(5,2 × 15,9 po × 10,9 po) |
* Il s’agit d’exemples de configurations. Veuillez contacter votre représentant local pour qu’il vous aide à choisir les composants qui répondent à vos besoins. |