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USPM-RU-W

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USPM-RU-W
홈/ 제품/ 마이크로 분광광도계/ USPM-RU-W
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개요

Olympus' USPM-RU-W NIR Micro-Spectrophotometer 는 빠르게, 적합하게 분광 광도법을 작동시킵니다. 가시광선부터 근적외선 파장까지의 범위에서 작동됩니다. 극도로 작은 범위를 측정하며, 일반적인 분광광도계로는 측정할 수 없는 휘어진 표면도 측정 가능하게 하는 기능을 가지고 있습니다. 이 기능은 USPM-RU-W를 광학요소를 평가하거나 순간 전자 파트를 측정하는데 최적화 되어 있습니다 .

  • 근적외선 마이크로 분광광도계
  • 곡면과 좁은 영역의 빠른 측정
  • 다양한 어플리케이션

근적외선 마이크로 분광광도계

■ 수초 내에 측정되는 반사성, 필름 두께, 물체 색깔, 투과성
■ 380nm 부터 1050nm까지의 넓은 파장의 범위
■ 접촉 없이 곡면위의 반사성을 측정합니다.

반사도 측정

17um부터 70um의 반경 범위를 가진 미세 영역의 반사도를 측정하시오.

Optical Path of Reflectivity Measurement
반사도 측정의 광학적 경로
image008
반사도 측정의 예: 렌즈
image009
반사도 측정의 예: 렌즈 곡률

image002
필름 두께 측정, 스크린 샷

필름 두께를 측정하시오.

대략 50nm로 부터 10 um의 단층 또는 복층 필름의 두께를 측정 하려면 반사도 데이터를 사용하시오.


image004
물체 색깔 측정, 스크린 샷

물체 색깔을 측정하시오.

XY 색도 다이어그램, L*a*b*다이어그램, 반사 데이터를 기반으로한 관련된 수치를 구현합니다.


투과 수준을 측정하시오(선택사항).

분광광도계 acceptance elements 샘플을 통해 2mm 평행 빔을 투과 시킴으로서 평평한 샘플의 투과성을 측정합니다.

Optical Path of Transmittance Measurement
투과 측정의 광학 경로

45도 입사각에서 반사성을 측정하시오(선택사항).

분광광도계 acceptance 요소로 향하는 2mm 평행 빔 반사를 통해 45도의 입사각에서 반응성을 측정합니다.

Optical Path of 45-degree Reflectivity Measurement
45도 반사성 측정의 광학 경로

곡면과 좁은 영역의 빠른 측정


image010
광학 시스템 이미지

빠른 속도 측정이 가능

빠르고 높은 반복 측정은 두번째, 평평한 격자와 라인 센서, 그리고 높은 속도의 분광광도법의 두번째 사용에서 얻어집니다.


image011
반사도 측정 이미지

극도로 미세한 파트와 렌즈의 반사 측정에 최적화 되었습니다.

올림푸스는 반경 17um 부터 70um의 비접촉 측정을 가능하게 하는 전용 대물렌즈를 제작해왔습니다. 새로운 렌즈는 곡면 또는 미세 전자 파트에서 높은 반복성을 갖게 합니다.


image012
후면 반사 제거 원리

반사 방지 프로세싱은 샘플의 뒷부분에는 필요로 하지 않습니다.

표면 반사의 올바른 측정은 후면 반사를 막는데 필요한 단계적 비용없이 실시됩니다. 후면 반사광은 컨포칼 시스템과 유사한 초점외 out of focus 광 반사를 막는 특별 optics를 수단으로 인해 감소됩니다. 광학 요소들이 구형이든 비구면이든 평평하든, USPM-RU-W는 비반사 처리를 통해서 샘플 준비를 필요로 하지 않게 됩니다.


필름 두께 측정 방법이 가능합니다.

단층 또는 복층의 필름의 두께는 스펙트럼의 반사 데이터를 따라 평가됩니다. 당신은 어플리케이션을 휘해 최적화된 측정 방법을 석택할 수 있습니다 .


image013
Peak valley 필름의 두께는 결과를 평가합니다.

최고점, 최저점 방법

이 방법은 측정된 스펙트럼 반사 수치의 최고점 최저점 사이의 기간에 기반하여 필름 두께를 측정하는데 사용됩니다. 이는 단층 필름 측정에 효과적입니다. 어떤 복잡한 설정도 필요치 않으므로, 필름 두께 측정이 쉽습니다.


image014
푸리에 변환 필름 두께는 결과를 측정합니다.

푸리에 변환 방법

이 방법은 측정된 스펙트럼 반사 수치의 기간에 기반하여 필름 두께를 측정하는데 사용됩니다. 이는 단층 필름 측정에 효과적입니다. 푸리에 변혼 방법은 노이즈를 제거하므로, 최고점과 최저점 수치를 발견하기 어려울 때 평가를 가능하게 합니다.


image015
커브 피팅 필름 두께는 결과를 측정합니다.

Curve Fit 방법

이 방법은 측정된 스펙트럼 반사성과 구조측정을 위한 반사 사이의 최소의 차이점을 가진 구조를 평가함으로써 필름 두께를 측정하는데 사용됩니다. 또한 이는 단층, 복층 필름 측정에 효과적입니다. 곡면 핏 방법 또한 최고점, 최저점 수치가 명확하지 않은 필름을 평가하는 것을 가능하게 합니다.


다양한 어플리케이션


높은 속도와 정확도는 다양하고 필요한 측정을 만족시킵니다.

image016

반사성, 컬러, 그리고 필름 두께를 위한 렌즈 코팅 평가

휴대폰 카메라 렌즈
프로젝터 렌즈
디지털 카메라 렌즈
안경 렌즈


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반사도와 미체 전자 부분의 필름 두께 측정

LED 팩키지
프린트된 서킷 보드


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평면 광학 요소의 반사성, 필름 두께, 투과성 측정

LCD 컬러 필터
광학 필름


image019

45도의 입사각에서의 광학 원료의 반사성

프리즘
거울


사양

USPM-RU-W NIR Micro-Spectrophotometer:Specifications

Reflectivity measurementTransmittance Measurement*1Reflectivity Measurement for 45-Degrees*1
Name NIR Micro-Spectrophotometer Transmittance measurement set for
NIR Micro-Spectrophotometer
45-degree reflectance measurement set for
NIR Micro-Spectrophotometer
Model USPM-RU-W
Measured wavelength 380 to 1050 nm
Measurement method Compared with a reference sample for measurement Transmissivity is measured with 100% as standard Compared with a reference sample for measurement
Measurement range See the specifications of the objective lens below Approx. 2.0 mm in diameter
Measurement repeatability(3σ) *2 Reflectivity measurement During use of 10x and 20x objective lenses ±0.02% or less (430 to 1010 nm)
±0.2% or less (Except as described above)
±0.3% or less (430 to 1010 nm)
±1.0% or less (Except as described above)
During use of a 40x objective lens ±0.05% or less (430 to 950 nm)
±0.5% or less (Except as described above)

Film thickness measurement ±1%  -
Wavelength display resolution 1nm
Lighting accessory Dedicated halogen light source, JC12V 55W (Average life: 700 hours)
Shift stage Loading surface size: 200 (W) x 200 (D) mm
With stand load: 3 kg
Operating range: (XY) ±40 mm, (Z) 125 mm
Tilt stage - Loading surface size: 140 (W) x 140 (D) mm
Withstand load: 1 kg
Operating range: (XT) ±1*, (YT) ±1*
Weight Main body: Approx. 26 kg (not including PC) Main body: Approx. 31 kg (not including PC)*3
Control power box: Approx. 6.7 kg
Dimensions Main body: 360 (W) x 446 (D) x 606 (H) mm Main body: 360 (W) x 631 (D) x 606 (H) mm
Control power box: 250 (W) x 270 (D) x 125 (H) mm (Protruding parts are not included)
Power specifications Input specifications: AC 100-240V (110V) 50/60Hz
Operating environment Horizontal place not subject to vibration
Temperature: 15 ºC to 30 ºC
Humidity: 15% to 60% RH (Free from dew condensation)

*1 Optional unit *2 Measured under the measurement conditions of our company. *3 The total weight of both the transmissivity measurement set and 45-degrees reflectivity measurement set installed is approx. 33 kg.


Objective lens

ModelUSPM-OBL10XUSPM-OBL20XUSPM-OBL40X
Magnification 10x 20x 40x
Measurement NA*4 0.12 0.24 0.24
Measurement range*5 70μm 35μm 17.5μm
Operating distance 14.3mm 4.2mm 2.2mm
Operating distance ±5 mm or more ±1 mm or more ±1 mm or more

*4 It differs from objective lens' NA.
*5 Spot diameter

소프트웨어

사용하기 쉬운 사용자 인터페이스와 스펙트럼 분석 소프트웨어


GUIレイアウト例
GUI 레이아웃

사용하고 이해하기 쉬운 화면

측정 목적과 사용자의 필요에 따라 레이아웃과 각 윈도우의 위치, 크기 및 가시성을 변경합니다.


反射率/透過率グラフ、反射率/透過率テキスト、XY/L*a*b*色度図、膜厚。
반사율 / 투과율 그래프, 반사율 / 투과율 텍스트, XY / L * a * b * 색도 다이어그램

다양한 측정 결과

분광 반사율 / 투과율 그래프와 텍스트, 색상 측정 (XY 및 L * a * b * 색도 다이어그램), 및 필름 두께 측정 값은 쉽게 이해하고 한 화면에 표시할 수 있습니다.


쉬운 위치 조정 및 초점 조정

Z 축 정렬 및 X 및 Y 축 정렬을위해 센터링 (CT) 창과 초점 창을 사용하여 간단합니다.

フォーカス(Z軸)調整画面
초점
センタリング(X軸・Y軸)調整画面
위치 조정

ワーク設定、レイヤ(膜厚)設定、グラフ設定、パラメータ設定。
작업 설정, 레이어 설정, 그래프 설정, 파라미터 설정

모든 응용 프로그램에 대한 유연성

USPM-RU-W 소프트웨어는 특정 시료에 대한 최적의 성능을 달성하도록 구성할 수 있습니다.


規格設定をした反射率測定例
공차 설정 기능과 반사율 측정의 예

자동의 공차 설정 기능은 합격 / 불량을 결정합니다.

시스템이 자동으로 GOOD/ NO GOOD 상태를 결정할 수 있습니다.


Resources

브로셔

USPM-RU-W
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