Olympus' USPM-RU-W NIR Micro-Spectrophotometer 는 빠르게, 적합하게 분광 광도법을 작동시킵니다. 가시광선부터 근적외선 파장까지의 범위에서 작동됩니다. 극도로 작은 범위를 측정하며, 일반적인 분광광도계로는 측정할 수 없는 휘어진 표면도 측정 가능하게 하는 기능을 가지고 있습니다. 이 기능은 USPM-RU-W를 광학요소를 평가하거나 순간 전자 파트를 측정하는데 최적화 되어 있습니다 .
■ 수초 내에 측정되는 반사성, 필름 두께, 물체 색깔, 투과성
■ 380nm 부터 1050nm까지의 넓은 파장의 범위
■ 접촉 없이 곡면위의 반사성을 측정합니다.
17um부터 70um의 반경 범위를 가진 미세 영역의 반사도를 측정하시오.
반사도 측정의 광학적 경로 | |
반사도 측정의 예: 렌즈 | 반사도 측정의 예: 렌즈 곡률 |
필름 두께 측정, 스크린 샷 | 필름 두께를 측정하시오.대략 50nm로 부터 10 um의 단층 또는 복층 필름의 두께를 측정 하려면 반사도 데이터를 사용하시오. |
물체 색깔 측정, 스크린 샷 | 물체 색깔을 측정하시오.XY 색도 다이어그램, L*a*b*다이어그램, 반사 데이터를 기반으로한 관련된 수치를 구현합니다. |
분광광도계 acceptance elements 샘플을 통해 2mm 평행 빔을 투과 시킴으로서 평평한 샘플의 투과성을 측정합니다.
투과 측정의 광학 경로 |
분광광도계 acceptance 요소로 향하는 2mm 평행 빔 반사를 통해 45도의 입사각에서 반응성을 측정합니다.
45도 반사성 측정의 광학 경로 |
광학 시스템 이미지 | 빠른 속도 측정이 가능빠르고 높은 반복 측정은 두번째, 평평한 격자와 라인 센서, 그리고 높은 속도의 분광광도법의 두번째 사용에서 얻어집니다. |
반사도 측정 이미지 | 극도로 미세한 파트와 렌즈의 반사 측정에 최적화 되었습니다.올림푸스는 반경 17um 부터 70um의 비접촉 측정을 가능하게 하는 전용 대물렌즈를 제작해왔습니다. 새로운 렌즈는 곡면 또는 미세 전자 파트에서 높은 반복성을 갖게 합니다. |
후면 반사 제거 원리 | 반사 방지 프로세싱은 샘플의 뒷부분에는 필요로 하지 않습니다.표면 반사의 올바른 측정은 후면 반사를 막는데 필요한 단계적 비용없이 실시됩니다. 후면 반사광은 컨포칼 시스템과 유사한 초점외 out of focus 광 반사를 막는 특별 optics를 수단으로 인해 감소됩니다. 광학 요소들이 구형이든 비구면이든 평평하든, USPM-RU-W는 비반사 처리를 통해서 샘플 준비를 필요로 하지 않게 됩니다. |
단층 또는 복층의 필름의 두께는 스펙트럼의 반사 데이터를 따라 평가됩니다. 당신은 어플리케이션을 휘해 최적화된 측정 방법을 석택할 수 있습니다 .
Peak valley 필름의 두께는 결과를 평가합니다. | 최고점, 최저점 방법이 방법은 측정된 스펙트럼 반사 수치의 최고점 최저점 사이의 기간에 기반하여 필름 두께를 측정하는데 사용됩니다. 이는 단층 필름 측정에 효과적입니다. 어떤 복잡한 설정도 필요치 않으므로, 필름 두께 측정이 쉽습니다. |
푸리에 변환 필름 두께는 결과를 측정합니다. | 푸리에 변환 방법이 방법은 측정된 스펙트럼 반사 수치의 기간에 기반하여 필름 두께를 측정하는데 사용됩니다. 이는 단층 필름 측정에 효과적입니다. 푸리에 변혼 방법은 노이즈를 제거하므로, 최고점과 최저점 수치를 발견하기 어려울 때 평가를 가능하게 합니다. |
커브 피팅 필름 두께는 결과를 측정합니다. | Curve Fit 방법이 방법은 측정된 스펙트럼 반사성과 구조측정을 위한 반사 사이의 최소의 차이점을 가진 구조를 평가함으로써 필름 두께를 측정하는데 사용됩니다. 또한 이는 단층, 복층 필름 측정에 효과적입니다. 곡면 핏 방법 또한 최고점, 최저점 수치가 명확하지 않은 필름을 평가하는 것을 가능하게 합니다. |
높은 속도와 정확도는 다양하고 필요한 측정을 만족시킵니다.
반사성, 컬러, 그리고 필름 두께를 위한 렌즈 코팅 평가
휴대폰 카메라 렌즈
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반사도와 미체 전자 부분의 필름 두께 측정
LED 팩키지
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평면 광학 요소의 반사성, 필름 두께, 투과성 측정
LCD 컬러 필터
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45도의 입사각에서의 광학 원료의 반사성
프리즘
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반사율 측정 | 투과율 측정*1 | 45도 반사율 측정*1 | |||
명칭 | NIR 마이크로 분광 광도계 |
NIR 마이크로 분광 광도계용
투과율 측정 세트 |
NIR 마이크로 분광 광도계용
45도 반사율 측정 세트 | ||
모델 | USPM-RU-W | ||||
측정되는 파장 | 380-1050nm | ||||
측정 기법 | 측정을 위해 참조 샘플과 비교했습니다 | 투과율은 기본적으로 100%로 측정됩니다 | 측정을 위해 참조 샘플과 비교했습니다 | ||
측정 범위 | 아래 나와 있는 대물 렌즈 사양을 참고하십시오 | 직경 약 2.0mm | |||
측정 반복성(3σ) *2 | 반사율 측정 | 10x 및 20x 대물 렌즈 사용 시 |
±0.02% 이하(430-1010nm)
±0.2% 이하(앞서 설명된 경우는 제외) |
±0.3% 이하(430-1010nm)
±1.0% 이하(앞서 설명된 경우는 제외) | |
40x 대물 렌즈 사용 시 |
±0.05% 이하(430-950 nm)
±0.5% 이하(앞서 설명된 경우는 제외) | ||||
필름 두께 측정 | ±1% | - | |||
파장 디스플레이 해상도 | 1nm | ||||
조명 액세서리 | 전용 할로겐 광원, JC12V 55W(평균 수명: 700시간) | ||||
시프트 스테이지 |
하중 표면 크기: 200(W) x 200(D)mm
내하중: 3kg 작동 범위: (XY) ±40mm, (Z) 125mm | ||||
틸트 스테이지 | - |
하중 표면 크기: 140(W) x 140(D)mm
내하중: 1kg 작동 범위: (XT) ±1*, (YT) ±1* | |||
무게 | 본체: 약 26kg(PC 제외) | 본체: 약 31kg(PC 제외)*3 | |||
제어 전원 박스: 약 6.7kg | |||||
치수 | 본체: 360(W) x 446(D) x 606(H)mm | 본체: 360(W) x 631(D) x 606(H)mm | |||
제어 전원 박스: 250(W) x 270(D) x 125(H)mm (돌출된 부품은 제외) | |||||
전원 사양 | 입력 사양: AC 100-240V (110V) 50/60Hz | ||||
작동 환경 |
진동이 발생하지 않는 수평 장소
온도: 15ºC-30ºC 습도: 15%-60% RH(결로 없음) | ||||
*1 옵션 장치 *2 당사의 측정 조건에 따라 측정. *3 투과율 측정 세트와 45도 반사율 측정 세트를 모두 설치했을 때 총 무게는 약 33kg입니다.
모델 | USPM-OBL10X | USPM-OBL20X | USPM-OBL40X |
배율 | 10x | 20x | 40x |
측정 NA*4 | 0.12 | 0.24 | 0.24 |
측정 범위*5 | 70μm | 35μm | 17.5μm |
동작 거리 | 14.3mm | 4.2mm | 2.2mm |
동작 거리 | ±5mm 이상 | ±1mm 이상 | ±1mm 이상 |
*4 대물 렌즈의 NA와는 다릅니다.
*5 스폿 직경
GUI 레이아웃 | 사용하고 이해하기 쉬운 화면측정 목적과 사용자의 필요에 따라 레이아웃과 각 윈도우의 위치, 크기 및 가시성을 변경합니다. |
반사율 / 투과율 그래프, 반사율 / 투과율 텍스트, XY / L * a * b * 색도 다이어그램 | 다양한 측정 결과분광 반사율 / 투과율 그래프와 텍스트, 색상 측정 (XY 및 L * a * b * 색도 다이어그램), 및 필름 두께 측정 값은 쉽게 이해하고 한 화면에 표시할 수 있습니다. |
Z 축 정렬 및 X 및 Y 축 정렬을위해 센터링 (CT) 창과 초점 창을 사용하여 간단합니다.
초점 | 위치 조정 |
작업 설정, 레이어 설정, 그래프 설정, 파라미터 설정 | 모든 응용 프로그램에 대한 유연성USPM-RU-W 소프트웨어는 특정 시료에 대한 최적의 성능을 달성하도록 구성할 수 있습니다. |
공차 설정 기능과 반사율 측정의 예 | 자동의 공차 설정 기능은 합격 / 불량을 결정합니다.시스템이 자동으로 GOOD/ NO GOOD 상태를 결정할 수 있습니다. |
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