USPM-RU-W
개요
Olympus' USPM-RU-W NIR Micro-Spectrophotometer 는 빠르게, 적합하게 분광 광도법을 작동시킵니다. 가시광선부터 근적외선 파장까지의 범위에서 작동됩니다. 극도로 작은 범위를 측정하며, 일반적인 분광광도계로는 측정할 수 없는 휘어진 표면도 측정 가능하게 하는 기능을 가지고 있습니다. 이 기능은 USPM-RU-W를 광학요소를 평가하거나 순간 전자 파트를 측정하는데 최적화 되어 있습니다 .
근적외선 마이크로 분광광도계
■ 수초 내에 측정되는 반사성, 필름 두께, 물체 색깔, 투과성
■ 380nm 부터 1050nm까지의 넓은 파장의 범위
■ 접촉 없이 곡면위의 반사성을 측정합니다.
반사도 측정
17um부터 70um의 반경 범위를 가진 미세 영역의 반사도를 측정하시오.
 반사도 측정의 광학적 경로 | |
 반사도 측정의 예: 렌즈 |  반사도 측정의 예: 렌즈 곡률 |
 필름 두께 측정, 스크린 샷 | 필름 두께를 측정하시오.대략 50nm로 부터 10 um의 단층 또는 복층 필름의 두께를 측정 하려면 반사도 데이터를 사용하시오. |
 물체 색깔 측정, 스크린 샷 | 물체 색깔을 측정하시오.XY 색도 다이어그램, L*a*b*다이어그램, 반사 데이터를 기반으로한 관련된 수치를 구현합니다. |
투과 수준을 측정하시오(선택사항).
분광광도계 acceptance elements 샘플을 통해 2mm 평행 빔을 투과 시킴으로서 평평한 샘플의 투과성을 측정합니다.
 투과 측정의 광학 경로 |
45도 입사각에서 반사성을 측정하시오(선택사항).
분광광도계 acceptance 요소로 향하는 2mm 평행 빔 반사를 통해 45도의 입사각에서 반응성을 측정합니다.
 45도 반사성 측정의 광학 경로 |
곡면과 좁은 영역의 빠른 측정
 광학 시스템 이미지 | 빠른 속도 측정이 가능빠르고 높은 반복 측정은 두번째, 평평한 격자와 라인 센서, 그리고 높은 속도의 분광광도법의 두번째 사용에서 얻어집니다. |
 반사도 측정 이미지 | 극도로 미세한 파트와 렌즈의 반사 측정에 최적화 되었습니다.올림푸스는 반경 17um 부터 70um의 비접촉 측정을 가능하게 하는 전용 대물렌즈를 제작해왔습니다. 새로운 렌즈는 곡면 또는 미세 전자 파트에서 높은 반복성을 갖게 합니다. |
 후면 반사 제거 원리 | 반사 방지 프로세싱은 샘플의 뒷부분에는 필요로 하지 않습니다.표면 반사의 올바른 측정은 후면 반사를 막는데 필요한 단계적 비용없이 실시됩니다. 후면 반사광은 컨포칼 시스템과 유사한 초점외 out of focus 광 반사를 막는 특별 optics를 수단으로 인해 감소됩니다. 광학 요소들이 구형이든 비구면이든 평평하든, USPM-RU-W는 비반사 처리를 통해서 샘플 준비를 필요로 하지 않게 됩니다. |
필름 두께 측정 방법이 가능합니다.
단층 또는 복층의 필름의 두께는 스펙트럼의 반사 데이터를 따라 평가됩니다. 당신은 어플리케이션을 휘해 최적화된 측정 방법을 석택할 수 있습니다 .
 Peak valley 필름의 두께는 결과를 평가합니다. | 최고점, 최저점 방법이 방법은 측정된 스펙트럼 반사 수치의 최고점 최저점 사이의 기간에 기반하여 필름 두께를 측정하는데 사용됩니다. 이는 단층 필름 측정에 효과적입니다. 어떤 복잡한 설정도 필요치 않으므로, 필름 두께 측정이 쉽습니다. |
 푸리에 변환 필름 두께는 결과를 측정합니다. | 푸리에 변환 방법이 방법은 측정된 스펙트럼 반사 수치의 기간에 기반하여 필름 두께를 측정하는데 사용됩니다. 이는 단층 필름 측정에 효과적입니다. 푸리에 변혼 방법은 노이즈를 제거하므로, 최고점과 최저점 수치를 발견하기 어려울 때 평가를 가능하게 합니다. |
 커브 피팅 필름 두께는 결과를 측정합니다. | Curve Fit 방법이 방법은 측정된 스펙트럼 반사성과 구조측정을 위한 반사 사이의 최소의 차이점을 가진 구조를 평가함으로써 필름 두께를 측정하는데 사용됩니다. 또한 이는 단층, 복층 필름 측정에 효과적입니다. 곡면 핏 방법 또한 최고점, 최저점 수치가 명확하지 않은 필름을 평가하는 것을 가능하게 합니다. |
다양한 어플리케이션
높은 속도와 정확도는 다양하고 필요한 측정을 만족시킵니다.
 | 반사성, 컬러, 그리고 필름 두께를 위한 렌즈 코팅 평가
휴대폰 카메라 렌즈
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 | 반사도와 미체 전자 부분의 필름 두께 측정
LED 팩키지
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 | 평면 광학 요소의 반사성, 필름 두께, 투과성 측정
LCD 컬러 필터
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 | 45도의 입사각에서의 광학 원료의 반사성
프리즘
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사양
USPM-RU-W NIR Micro-Spectrophotometer：Specifications
| Reflectivity measurement | Transmittance Measurement*1 | Reflectivity Measurement for 45-Degrees*1 | |||
| Name | NIR Micro-Spectrophotometer |
Transmittance measurement set for
NIR Micro-Spectrophotometer |
45-degree reflectance measurement set for
NIR Micro-Spectrophotometer | ||
| Model | USPM-RU-W | ||||
| Measured wavelength | 380 to 1050 nm | ||||
| Measurement method | Compared with a reference sample for measurement | Transmissivity is measured with 100% as standard | Compared with a reference sample for measurement | ||
| Measurement range | See the specifications of the objective lens below | Approx. 2.0 mm in diameter | |||
| Measurement repeatability(3σ) *2 | Reflectivity measurement | During use of 10x and 20x objective lenses |
±0.02% or less (430 to 1010 nm)
±0.2% or less (Except as described above) |
±0.3% or less (430 to 1010 nm)
±1.0% or less (Except as described above) | |
| During use of a 40x objective lens |
±0.05% or less (430 to 950 nm)
±0.5% or less (Except as described above) | ||||
| Film thickness measurement | ±1% | - | |||
| Wavelength display resolution | 1nm | ||||
| Lighting accessory | Dedicated halogen light source, JC12V 55W (Average life: 700 hours) | ||||
| Shift stage |
Loading surface size: 200 (W) x 200 (D) mm
With stand load: 3 kg Operating range: (XY) ±40 mm, (Z) 125 mm | ||||
| Tilt stage | － |
Loading surface size: 140 (W) x 140 (D) mm
Withstand load: 1 kg Operating range: (XT) ±1*, (YT) ±1* | |||
| Weight | Main body: Approx. 26 kg (not including PC) | Main body: Approx. 31 kg (not including PC)*3 | |||
| Control power box: Approx. 6.7 kg | |||||
| Dimensions | Main body: 360 (W) x 446 (D) x 606 (H) mm | Main body: 360 (W) x 631 (D) x 606 (H) mm | |||
| Control power box: 250 (W) x 270 (D) x 125 (H) mm (Protruding parts are not included) | |||||
| Power specifications | Input specifications: AC 100-240V (110V) 50/60Hz | ||||
| Operating environment |
Horizontal place not subject to vibration
Temperature: 15 ºC to 30 ºC Humidity: 15% to 60% RH (Free from dew condensation) | ||||
*1 Optional unit *2 Measured under the measurement conditions of our company. *3 The total weight of both the transmissivity measurement set and 45-degrees reflectivity measurement set installed is approx. 33 kg.
Objective lens
| Model | USPM-OBL10X | USPM-OBL20X | USPM-OBL40X |
| Magnification | 10x | 20x | 40x |
| Measurement NA*4 | 0.12 | 0.24 | 0.24 |
| Measurement range*5 | 70μm | 35μm | 17.5μm |
| Operating distance | 14.3mm | 4.2mm | 2.2mm |
| Operating distance | ±5 mm or more | ±1 mm or more | ±1 mm or more |
*4 It differs from objective lens' NA.
*5 Spot diameter
소프트웨어
사용하기 쉬운 사용자 인터페이스와 스펙트럼 분석 소프트웨어
 GUI 레이아웃 | 사용하고 이해하기 쉬운 화면측정 목적과 사용자의 필요에 따라 레이아웃과 각 윈도우의 위치, 크기 및 가시성을 변경합니다. |
 반사율 / 투과율 그래프, 반사율 / 투과율 텍스트, XY / L * a * b * 색도 다이어그램 | 다양한 측정 결과분광 반사율 / 투과율 그래프와 텍스트, 색상 측정 (XY 및 L * a * b * 색도 다이어그램), 및 필름 두께 측정 값은 쉽게 이해하고 한 화면에 표시할 수 있습니다. |
쉬운 위치 조정 및 초점 조정
Z 축 정렬 및 X 및 Y 축 정렬을위해 센터링 (CT) 창과 초점 창을 사용하여 간단합니다.
 초점 |  위치 조정 |
 작업 설정, 레이어 설정, 그래프 설정, 파라미터 설정 | 모든 응용 프로그램에 대한 유연성USPM-RU-W 소프트웨어는 특정 시료에 대한 최적의 성능을 달성하도록 구성할 수 있습니다. |
 공차 설정 기능과 반사율 측정의 예 | 자동의 공차 설정 기능은 합격 / 불량을 결정합니다.시스템이 자동으로 GOOD/ NO GOOD 상태를 결정할 수 있습니다. |
Resources
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