Инструменты для наблюдения и анализа

• Передовые аналитические инструменты
• Усовершенствованная конструкция для обеспечения соответствия нормам чистого помещения

Передовые аналитические инструменты

Универсальные функциональные возможности оборудования серии MX63 позволяют получить четкие изображения, с помощью которых пользователь может точно определить дефекты в образцах. Новые технологии освещения и опции визуализации в ПО для анализа изображений PRECiV предоставляют пользователю больше инструментов для оценки образцов и регистрации обнаруженных несоответствий.

Невидимое становится видимым: получение изображений в смешанном режиме наблюдения (MIX)

Технология наблюдения в режиме MIX позволяет получать уникальные изображения за счет объединения метода темного поля со светлым полем, флуоресценцией или поляризацией. Наблюдение в режиме MIX обеспечивает пользователю возможность обнаружить дефекты, которые сложно определить с помощью обычного микроскопа. Круговая светодиодная лампа, которая используется для метода темного поля, обладает функцией направленного темного поля - в данный момент времени освещается только один участок. Это уменьшает ореолообразование вокруг образца и помогает рассмотреть текстуру поверхности.

Структура полупроводниковой пластины

Остаточный фоторезист на полупроводниковой пластине

Конденсор

Создание панорамных изображений: функция MIA

Благодаря совмещению нескольких изображений (MIA) пользователи могут легко и быстро склеивать изображения, просто перемещая ручки KY на ручном столике — моторизованный столик не нужен. ПО PRECiV использует технологию распознавания контуров для формирования панорамного изображения, обеспечивая более широкое поле обзора.

Изображение монеты, полученное с помощью функции MIA

Создание полностью сфокусированных изображений: EFI

Функция расширенного фокального изображения (EFI) в ПО PRECiV выполняет захват изображений образцов, высота которых выходит за пределы глубины резкости объектива, и соединяет все полученные изображения для формирования одного сверхчеткого изображения. Функция EFI может использоваться как с механическим, так и с моторизованным предметным столиком с возможностью перемещения по оси Z, и формирует карту высот для облегчения визуализации структуры образца. На рабочем столе ПО Stream EFI-изображение можно сформировать даже в автономном режиме.

Выпуклость стержня на интегральной микросхеме

HDR: Захват светлых и темных участков

С помощью усовершенствованной технологии обработки изображений функция расширенного динамического диапазона (HDR) корректирует перепады яркости на изображении для устранения бликов. HDR повышает визуальное качество цифровых изображений, способствуя таким образом созданию более профессиональных отчетов.

От базовых измерений к расширенным аналитическим функциям

Измерение имеет важное значение для обеспечения контроля качества. Именно поэтому даже базовый пакет программного обеспечения PRECiV включает полное меню интерактивных измерительных функций, и все результаты измерений сохраняются наряду с изображениями для обеспечения возможности составления документации в дальнейшем. Кроме того, решение PRECiV для исследований в области материаловедения предлагает интуитивно понятный, ориентированный на рабочий процесс интерфейс для комплексного анализа изображений. Аналитические задачи выполняются быстро и точно, одним нажатием клавиши. Значительное снижение времени обработки повторяющихся задач позволяет оператору сосредоточиться на самом исследовании.

> Подробнее о PRECiV

Быстрое создание отчетов

Создание отчета может занять больше времени, чем захват изображения и выполнение измерений. Программное обеспечение PRECiV имеет набор понятных функций для составления профессиональных отчетов на базе заданных шаблонов. Редактировать эти шаблоны легко, далее отчеты могут быть экспортированы в Microsoft Word или PowerPoint. Кроме того, функция составления отчетов в ПО PRECiV позволяет выполнять цифровое масштабирование и увеличивать полученные изображения. Размер файлов отчетов позволяет без особого труда отправлять их по электронной почте.

> Подробнее о PRECiV

Усовершенствованная конструкция для обеспечения соответствия нормам чистого помещения

Оборудование серии MX63 рассчитано на эксплуатацию в условиях чистого помещения и оснащено функциями, позволяющими снизить риск заражения и повреждения образцов. Эргономичная конструкция системы обеспечивает комфорт пользователя даже при длительной работе. Оборудование серии MX63 соответствует международным техническим требованиям и стандартам, включая нормы SEMI S2/S8, CE и UL.

Совместимость с дополнительным устройством ввода пластины — Система AL120* 

Оборудование серии MX63 позволяет подключить дополнительное устройство ввода пластины для безопасного перемещения как кремниевых, так и составных полупроводниковых пластин из кассеты в микроскоп без использования щипцов или зондов. Признанная производительность и надежность позволяют безопасно и эффективно выполнять контроль лицевой и задней поверхности образца на макро уровне, а устройство ввода повышает скорость работы в лаборатории.

MX63 с устройством ввода пластин AL120 (версия 200 мм)

* Устройство AL120 не доступно в регионе EMEA.

Быстрый контроль в условиях чистых помещений

Оборудование серии MX63 обеспечивает проведение контроля пластин с защитой от загрязнений. Все моторизованные компоненты заключены в защищенные корпусы; для рамы микроскопа, тубусов, защитного экрана и других деталей применяется антистатическая обработка. Скорость вращения и уровень безопасности моторизованных револьверных головок выше, чем у головок с ручным вращением, что снижает время простоя между процедурами контроля, устраняя необходимость касания пластины оператором и снижая вероятность загрязнения.

Конструкция системы создана для эффективного наблюдения

Для предметного столика XY доступны опции как грубого, так и точного перемещения, благодаря сочетанию встроенной муфты и рукояток управления движением по осям XY. Строение столика позволяет повысить эффективность наблюдения даже крупных образцов, например, 300-мм полупроводниковых пластин.
Наклонный тубус с возможностью телескопического удлинения дает оператору возможность расположиться в удобной для работы позе.

Совместимость со всеми размерами пластин

Интуитивно понятное управление микроскопом: удобство и простота использования

Настройками микроскопа легко управлять, что позволяет регулировать систему и воспроизводить настройки.

Быстрая настройка фокуса: помощь при фокусировке

Использование средств вспомогательной фокусировки в оптическом тракте позволяет легко и точно настраивать фокус на образцах с низкой контрастностью, таких как полупроводниковые пластины без покрытия.

Изображение слева: сетка обозначает что изображение не сфокусировано. / Изображения по центру: сетка помогает настроить фокусировку. / Изображение справа: простое получение изображения с полным фокусом. 

Быстрое восстановление настроек микроскопа: запрограммированное аппаратное обеспечение

Запрограммированные функции интегрируют настройки аппаратного обеспечения MX63 с ПО для анализа изображений PRECiV. Метод наблюдения, интенсивность подсветки и коэффициент увеличения автоматически фиксируются программным обеспечением и сохраняются в привязке с полученными изображениями. Возможность быстрого восстановления настроек позволяет любому оператору использовать одни и те же параметры и выполнять высокоточный анализ.

Эргономичные элементы управления для более быстрой и удобной работы

Элементы управления для смены объектива и регулировки диафрагмы расположены в нижней и передней части микроскопа, поэтому пользователям не нужно отпускать ручки фокусировки или отводить голову от окуляров.

Более быстрые наблюдения с помощью диспетчера интенсивности света и автоматического управления диафрагмой

При использовании обычных микроскопов пользователям приходится регулировать интенсивность освещения и диафрагму для каждого наблюдения. Серия MX63 позволяет пользователям настраивать интенсивность света и условия диафрагмы для различных увеличений и методов наблюдения. Эти настройки можно легко вызвать, что существенно экономит время и оптимизирует качество изображения.

Диспетчер интенсивности света

Автоматический контроль диафрагмы

Полностью настраиваемый

Оборудование серии MX63 разработано для предоставления оператору возможности выбора из широкого диапазона оптических компонентов, которые подойдут для конкретных типов наблюдения и требований применения. Система рассчитана на использования любых методов наблюдения. Пользователи также могут выбрать из множества аналитических пакетов PRECiV, которые будут соответствовать индивидуальным требованиям для визуализации и анализа.

Две системы обеспечивают исследование образцов различных размеров 

Система MX63 способна обеспечить наблюдение пластин до 200 мм, а система MX63L позволяет исследовать пластины до 300 мм, занимая при этом такую же малую площадь, как и MX63. Модульная конструкция позволяет легко настроить микроскоп под конкретные нужды заказчика

Совместимость с ИК-режимом

Наблюдения в инфракрасном свете проводятся с помощью ИК-объективов, которые позволяют операторам неразрушающим методом исследовать внутреннее пространство ИС, установленных на печатной плате, благодаря свойствам кремния, который пропускает инфракрасный свет. Доступны ИК объективы от 5X до 100X с коррекцией хроматической аберрации от видимого до ближнего инфракрасного диапазона длин волн.В частности, с объективом 20X или более аберрация, вызванная слоем кремния, покрывающим объект наблюдения, может быть отрегулирована с помощью корректирующего кольца для получения четкого изображения.

Микроскопы серии MX63 используются для микроскопического исследования самых разных образцов методом отраженного света. Далее приведено несколько примеров использования прибора для выполнения промышленного контроля.

ИК-изображение отсека электрода

Инфракрасный режим (ИК) используется для выявления дефектов внутри кристаллов ИС и других устройств, выполненных из кремния, нанесенного на стекло.

Пленка
(слева: светлое поле; справа: пляризованный свет)

Поляризованный свет используется для исследования структуры материала и состояния кристаллов. Этот метод подходит для контроля полупроводниковых пластин и светодиодных структур.

Жесткий диск
(слева: светлое поле; справа: ДИК)

Дифференциально-интерференционный контраст (ДИК) используется для анализа образцов, имеющих мельчайшие перепады высот. Такая технология идеально подходит для контроля образцов с очень незначительными различиями по высоте, например, магнитных головок, жестких дисков и отполированных полупроводниковых пластин.

Структура ИС на полупроводниковой пластине
(слева: темное поле; справа: режим MIX (светлое поле + темное поле))

Режим темного поля используется для выявления мельчайших царапин или дефектов на образце или для исследования образцов, имеющих зеркальные поверхности, например, полупроводниковых пластин. В режиме смешанного освещения (MIX) пользователь может исследовать фактуры и цвета образцов.

Остаточный фоторезист на полупроводниковой пластине
(слева: флуоресценция; справа: режим MIX (флуоресценция + темное поле))

Режим флуоресценции используется для образцов, которые излучают свет при их освещении с помощью специализированного фильтровального куба. Используется для обнаружения загрязнений и остаточного фоторезиста. Смешанный режим (MIX) позволяет проводить исследование остаточного фоторезиста и структуры ИС. 

Цветной ЖК-фильтр
(слева: проходящий свет; справа: режим MIX (проходящий свет + темное поле))

Такой метод наблюдения подходит для прозрачных образцов, таких как ЖК-дисплеи, пластиковые и стеклянные материалы.  Смешанный режим позволяет проводить исследование цвета фильтра и рельефа съем.