Applicazioni

La serie MX63 è usata in diverse applicazioni di microscopia a luce riflessa. Queste applicazioni sono un esempio di modalità con cui il sistema è usato per le ispezioni industriali.

Immagine IR di una sezione di elettrodo

Gli infrarossi (IR) vengono utilizzati per la ricerca di difetti all'interno dei chip IC e di altri dispositivi con strato di silicio.

Pellicola
(A sinistra: Campo chiaro / A destra: Luce polarizzata)

La luce polarizzata è usata per evidenziare la tessitura del materiale e le condizioni dei cristalli. È adatto per le ispezioni di wafer e strutture LCD.

Un disco rigido
(A sinistra: Campo chiaro / A destra: DIC)

Il Contrasto interferenziale (DIC) è usato per osservare i campioni con differenze minime di altezza. Risulta ideale per le ispezioni di campioni con differenze minime di altezza come testine magnetiche, dischi rigidi e wafer sottoposte a planarizzazione.

Schema IC su un wafer semiconduttore
(A sinistra: Campo scuro / A destro: MIX (Campo chiaro + Campo scuro))

Il campo chiaro è utilizzato per rilevare graffi o difetti di lieve entità nei campioni o per eseguire un controllo dei campioni su superfici a specchio, ad esempio i wafer. Grazie all'illuminazione MIX, gli utenti possono visualizzare sia gli schemi che i colori.

Residuo di fotoresist su un wafer semiconduttore
(A sinistra: Fluorescenza / A destra: MIX (Fluorescenza + Campo scuro))

La fluorescenza è impiegata per i campioni che emettono luce se illuminati con un filtro appositamente progettato. Questo è usato per il rilevamento di contaminazioni e residui fotoresistenti. L'illuminazione MIX permette l'osservazione dei residui fotoresistenti e dello schema IC. 

Filtro a colori LCD
(A sinistra: Luce trasmessa / A destra: MIX (Luce trasmessa + Campo chiaro)

Questa tecnica di osservazione è adatta per campioni trasparenti come LCD, plastiche e materiali vetrosi.  L'illuminazione MIX permette l'osservazione sia del colore del filtro sia del pattern del circuito.