Grand support-pont pour OLS5100 : stabilité élevée pour la mesure d’échantillons particulièrement grands

La stabilité est un facteur clé pour l’inspection en haute résolution de composants tels que wafers de silicium, composants électroniques ou grandes pièces d’automobile. Le grand support-pont personnalisable est conçu pour garantir la précision des mesures prises avec le microscope LEXT OLS5100. Il présente les caractéristiques suivantes :

• Les propriétés d’amortissement des vibrations du granit pour une stabilité exceptionnelle
• Des platines motorisées jusqu’à 400 × 400 mm permettent l’inspection de grands échantillons pesant jusqu’à 20 kg
• L’entraînement Z manuel de 150 mm augmente le nombre d’objets volumineux et hauts qui peuvent être inspectés

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Postes de travail personnalisables très stables pour une optimisation de la précision des mesures

L’obtention d’une précision optimale des mesures lors de l’inspection à l’échelle nanométrique d’échantillons comme des composants électroniques nécessite un équipement capable de minimiser l’effet des vibrations externes.

Nos stations de travail de haute stabilité permettent une inspection à l’échelle du nanomètre. Les postes de travail comprennent :

• Des supports de microscope stables
• Des unités antivibrations actives – unités intégrées ou de bureau
• Boîtiers de contrôle de l’environnement
• Supports distincts pour les PC et les moniteurs afin d’éliminer la transmission des vibrations du PC au microscope

Ces composants pour postes de travail peuvent être utilisés pour personnaliser une solution clé en main complète ou achetés individuellement en fonction de vos besoins.

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Socle stable en pierre pour un environnement de travail optimisé

Il peut être difficile d’obtenir des conditions environnementales adaptées à une précision optimale lors de l’inspection à l’échelle nanométrique de composants électroniques ou d’autres objets.

Le socle en pierre permet aux opérateurs d’obtenir des mesures fiables à haute résolution.

• Spécialement conçu pour le microscope OLS51000 CUS TM pour offrir une grande stabilité au microscope lors de l’inspection d’objets volumineux et lourds
• Les pieds de réglage de l’horizontalité permettent un réglage facile de la hauteur de 0 à 50 mm pour les surfaces irrégulières
• Le châssis en acier inoxydable et la surface résistante aux rayures protègent contre les dommages

Les unités antivibrations actives peuvent être intégrées facilement dans le socle du microscope pour une solution très compacte, ou équipées d'une unité antivibrations pour bureau, selon vos besoins d’inspection.

Unité antivibrations active pour bureau : élimination des petites vibrations pour une plus grande précision

Pour les utilisations nécessitant une résolution à l’échelle du nanomètre, telles que l’inspection de wafers, le simple bruit de pas discrets dans la pièce ou des bruits légers peuvent affecter la précision des mesures.

L’unité antivibrations active pour bureau est conçue pour éliminer les vibrations externes et assure de nombreuses fonctionnalités qui augmentent la stabilité et la précision des mesures :

• Largeur de bande active entre 0,6 et 200 Hz
• Des performances d’isolation minimales de 25 dB à 5 Hz ou 40 dB à > 10 Hz assurent une excellente stabilité
• Capacité de charge jusqu’à 150 kg, ce qui assure la stabilité du microscope lors de l’inspection d’objets lourds comme des pièces automobiles

Boîtiers de contrôle de l’environnement – Un outil puissant pour les opérations d’inspection en salles blanches

Le blindage du microscope fournit un environnement de travail ambiant qui améliore la précision des mesures et réduit le bruit lié à l’analyse lors de l’utilisation de systèmes LEXT standard. Pour aider les utilisateurs à conserver un processus d’inspection efficace avec le blindage, le boîtier de contrôle de l’environnement dispose de plusieurs fonctionnalités innovantes :

• Les grandes portes avant et latérales permettent d’accéder facilement au LEXT EAF, pour permettre un réglage manuel rapide du déplacement sur l’axe Z ou du bloc vertical et un positionnement efficace des échantillons
• Ce modèle élégant et profilé est doté de fenêtres transparentes en plexiglas pour un contrôle efficace du flux opérationnel
• Le boîtier de contrôle de l’environnement protège le LEXT de la poussière, ce qui le rend extrêmement utile pour l’inspection en salle blanche
• Le boîtier peut être vissé directement sur la table dédiée, ce qui améliore la stabilité du microscope et la précision des mesures
• Compatible avec tous les modèles LEXT standard
• Une solution similaire est également disponible pour le LEXT OLS5100 CUS TM, de plus grand format

Mandrin à vide microporeux : fixation optimale adaptée aux échantillons délicats

L’inspection précise d’échantillons fins et flexibles tels que les films RFID, les panneaux solaires et les wafers de silicium nécessite des porte-échantillons offrant une force de serrage uniforme et une déformation minimale des échantillons.

Le mandrin à vide microporeux maintient la planéité et l’intégrité des échantillons délicats lors de l’inspection. Ceci grâce à une aspiration uniforme par le biais de micropores au lieu de trous ou de sillons d’aspiration.

• Le mandrin à vide microporeux minimise le mouvement des échantillons, ce qui augmente la répétabilité des mesures
• Spécialement conçu pour l’inspection de wafers de silicium
• Permet une inspection efficace des substrats à parois minces, tels que les papiers, les feuilles métalliques, les wafers et les circuits imprimés

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Support rotatif à vide pour wafer : fixation stable et sûre des wafers

Les porte-échantillons doivent permettre de naviguer facilement entre les échantillons et d’assurer une fixation stable pour garantir une inspection efficace des wafers de silicium.

Le support de wafer à vide présente de nombreuses caractéristiques qui optimisent la procédure d’inspection de wafer :

• La force d’aspiration uniformément répartie garantit une stabilité maximale des wafers et une précision de mesure optimale
• La rotation des wafers facilite et accélère la navigation entre les échantillons
• Modèle à étages avec rainures de 30 mm de large pour un positionnement pratique des échantillons
• Le porte-échantillon peut être fixé directement sur une platine de 300 mm ou sur une platine de 200 mm à l’aide d’une plaque-adaptateur
• Conçu pour l’inspection de wafer de 4 po, 6 po, 8 po, et 12 po

Support de wafer rotatif : simplification de l’inspection de wafers

Le support de wafer rotatif constitue une alternative simple et économique pour la fixation des échantillons lorsque l’aspiration sous vide n’est pas nécessaire.

• La rotation des wafers améliore la navigation entre les échantillons et accélère le processus d’inspection
• La conception à étages avec des rainures de 30 mm de large simplifie le positionnement des échantillons
• Le support de wafer peut accueillir des wafers de 4 po, 6 po, et 8 po
• Nous proposons également un support de wafer de 8 po pour les microscopes DSX

Fixations à trous filetés : inspection facile avec des fixations personnalisées

Des fixations personnalisées sont souvent nécessaires pour maintenir des tuyaux, des cubes ou d’autres objets irréguliers au cours de l’inspection.

Doté de 68 trous à filetage M3 uniformément répartis, de dimension 150 mm × 110 mm × 5,5 mm, l’insert à trous filetés peut accueillir un large éventail de fixations personnalisées pour la fixation polyvalente des échantillons